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公开(公告)号：KR100453973B1
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：KR1020020022331
申请日：2002-04-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B26/08
Abstract: PURPOSE: A micro optical switch using a micro piezoelectric actuator is provided, which enables to obtain information as to driving range of a driving actuator with a sensing actuator, and control a mirror accurately with the above information, and perform a repetitive driving. CONSTITUTION: The micro optical switch comprises a supporting part(10), and a supporting plate(48) floated by being connected to the above supporting part. The first - fourth actuator(101,102,103,104) are formed on the supporting plate respectively, and includes a piezoelectric capacitor respectively. And a mirror(50) is formed on the upper part of the supporting plate, and has a movement displacement by driving at least a pair of actuators among the above four actuators.
Abstract translation: 目的：提供一种使用微型压电致动器的微型光学开关，其能够利用感测致动器获得关于驱动致动器的驱动范围的信息，并且利用上述信息精确地控制镜子，并且执行重复驱动。 构成：微型光开关包括支撑部分（10）和通过连接到上述支撑部分而浮动的支撑板（48）。 第一至第四致动器（101,102,103,104）分别形成在支撑板上，并且分别包括压电电容器。 并且在支撑板的上部形成有镜子（50），并通过驱动上述四个致动器中的至少一对致动器而具有移动位移。
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公开(公告)号：KR1020040067323A
公开(公告)日：2004-07-30
申请号：KR1020030004367
申请日：2003-01-22
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G03F1/22
Abstract: PURPOSE: Provided is an X-ray mask, which uses a BN sheet as a substrate to remarkably increase an area having the function as a window and thus is suitable for an X-ray electrophotographic etching process requiring a large window area. CONSTITUTION: The X-ray mask is manufactured by the method comprising the steps of: (a) depositing a plating base layer(21) on the top surface of a BN sheet(20); (b) applying a photoresist on the top surface of the plating base layer deposited in step (a) and patterning the photoresist layer so that the plating base layer is partially exposed; (c) forming an X-ray absorbent(23) on the top surface of the plating base layer(21) exposed in step (b); (d) removing the patterned photoresist to expose the plating base layer(21) disposed under the removed photoresist; and (e) removing the plating base layer(21) exposed in step (d).
Abstract translation: 目的：提供一种使用BN片作为基板的X射线掩模，显着增加具有窗口功能的区域，因此适合于需要大的窗口面积的X射线电子照相蚀刻工艺。 构成：通过包括以下步骤的方法制造X射线掩模：（a）在BN片材（20）的顶表面上沉积镀覆层（21）; （b）在步骤（a）中沉积的镀覆基底层的顶表面上施加光致抗蚀剂，并对光致抗蚀剂层进行图案化以使电镀底层部分露出; （c）在步骤（b）中暴露的电镀底层（21）的顶表面上形成X射线吸收剂（23）; （d）去除图案化的光致抗蚀剂以暴露设置在去除的光致抗蚀剂下面的电镀基层（21）; 和（e）去除步骤（d）中暴露的电镀底层（21）。
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公开(公告)号：KR1020010045525A
公开(公告)日：2001-06-05
申请号：KR1019990048845
申请日：1999-11-05
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a low temperature sintering piezoelectric composition is provided to improve a physical property of a piezoelectric material composed of a substituted piezoelectric composition and to decrease a sintering temperature. CONSTITUTION: Mass regarding a composition of either a substituted low temperature sintering PZT-based piezoelectric material or composite 3-component low temperature sintering PZT-based piezoelectric material, is measured. The low temperature sintering PZT-based piezoelectric compositions of which mass is measured, are mixed while calcined. Mass of BaO-CuO as a low temperature sintering agent is measured and mixed with the calcined low temperature sintering PZT-based piezoelectric composition. The low temperature piezoelectric composition is heated to a predetermined temperature and sintered. An electrode is formed on the sintered low temperature piezoelectric material, and an electric field is applied to perform a polarization process. Power is applied to the electrode to determine a physical property of the low temperature piezoelectric material.
Abstract translation: 目的：提供一种制造低温烧结压电组合物的方法，以改善由取代的压电组合物构成的压电材料的物理性能并降低烧结温度。 组成：测量取代的低温烧结PZT基压电材料或复合三组分低温烧结PZT基压电材料的组成的质量。 测量质量的低温烧结PZT基压电组合物在煅烧时混合。 测量作为低温烧结剂的BaO-CuO的质量，并与煅烧的低温烧结PZT基压电组合物混合。 将低温压电组合物加热到预定温度并烧结。 在烧结的低温压电材料上形成电极，施加电场以进行极化处理。 对电极施加功率以确定低温压电材料的物理性质。
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公开(公告)号：KR1020000031872A
公开(公告)日：2000-06-05
申请号：KR1019980048123
申请日：1998-11-11
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B41J2/045
Abstract: PURPOSE: A printer head is provided to reduce the size of the device a half when trying to obtain the same displacement since the displacement can be improved more than two times with the same material and driving voltage. CONSTITUTION: A printer head unit including an ink chamber and a nozzle is composed of a diaphragm covered with the ink chamber of the printer head unit, a piezoelectric film repeatedly arranged on the upper part of the diaphragm at a regular interval to form polarization in the same direction as a diaphragm face and an electrode repeatedly formed in a space between the both ends of the piezoelectric film. Herein, an electrode material(113) is sprayed in an empty space of a photo register by using a metal mask, and the remaining photo register is removed after spraying the electrode material. Then the electrode(113) is repeatedly formed in a series along with the piezoelectric film(107) and a silicon film(101).
Abstract translation: 目的：提供打印头，以便在尝试获得相同的位移时将设备的尺寸减小一半，因为在相同的材料和驱动电压下，位移可以提高两倍以上。 构成：包括墨水室和喷嘴的打印头单元由覆盖有打印头单元的墨室的隔膜组成，压电膜以规则的间隔重复地布置在隔膜的上部，以形成偏振 与膜面相同的方向和在压电膜的两端之间的空间中重复形成的电极。 这里，通过使用金属掩模将电极材料（113）喷射到照相寄存器的空的空间中，并且在喷射电极材料之后去除剩余的照片寄存器。 然后，与压电膜（107）和硅膜（101）一起重复形成电极（113）。
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公开(公告)号：KR1019980069646A
公开(公告)日：1998-10-26
申请号：KR1019970006806
申请日：1997-02-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/28
Abstract: 본 발명의 접촉연소식 마이크로 가스 감지 소자는 메사형의 기판과, 상기 메사형의 실리콘 기판 상에 형성된 물질막과, 상기 물질막 상에 형성된 접촉향상막과, 상기 접촉향상막 상에 형성된 가열부용 제1 백금 패턴과 상기 제1 백금 패턴의 양측에 형성된 패드용 제2 백금 패턴과, 상기 접촉향상막 상에 상기 제1 백금 패턴들 사이를 매몰하면서 형성된 보호층과, 상기 보호층 상에 형성된 촉매층을 포함하여 이루어진다. 상기 접착향상막은 (Al, Si)O
x 막으로 이루어져 있으며, 상기 촉매층은 백금/알루미늄 산화막(Pt/Al
2 O
3 )으로 이루어져 있다. 본 발명의 접촉연소식 마이크로 가스 감지 소자는 700℃까지 온도저항계수의 열화고 백금저항체의 TCR(temperature coefficient resistance)을 높이기 위해 (Al, Si)O
x 막으로 이루어진 접착향상층 상에 백금 저항 패턴이 형성되어 있고, 백금/알루미늄 산화막(Pt/Al
2 O
3 )으로 이루어진 촉매층을 구비하여 감도를 높일 수 있다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170114590A
公开(公告)日：2017-10-16
申请号：KR1020160041807
申请日：2016-04-05
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/414 , G01N25/32 , H01L23/053 , C23C16/34 , C23C16/40 , C23C16/30
Abstract: 본발명은브리지형마이크로가스센서및 그제조방법에관한것으로, 보다상세하게본 발명은기판; 상기기판상에설치되며, 복수의관통구멍을구비하여브리지형태를형성하는멤브레인; 브리지형태를형성하는상기멤브레인상부의일부에형성되는마이크로히터; 상기마이크로히터상부에설치되며, 복수의관통구멍을구비하여브리지형태를형성하는절연막; 브리지형태를형성하는상기절연막상부의일부에형성되는감지전극; 및상기감지전극위에형성된감지물질을포함하는것을특징으로하는브리지형마이크로가스센서에관한것이다. 본발명의브리지형마이크로가스센서및 그제조방법에따르면, 종래의마이크로가스센서에비하여, 브리지형이열효율측면에서유리하여저소비전력구동이가능하다. 또한, 종래기술과같은배면공정이없이상부면에서모든설계와공정이진되므로, 배면식각에사용되는양면노광기나식각지그가불필요하다는장점이있다. 또한, 배면을통한 KOH나 TMAH용액을이용한실리콘(Si) 식각공정이생략되며, 상부에서 XeF가스를이용하여실리콘(Si) 만을선택적으로식각할수 있으므로실리콘(Si) 이외에 Photoresist(PR), 금속, 산화막, 질화막과는전혀반응하지않는다는점에서공정수율의향상이가능하다.
Abstract translation: 桥式微型气体传感器及其制造方法技术领域本发明涉及桥式微型气体传感器及其制造方法，尤其涉及桥式微型气体传感器。 提供在基板上并具有多个通孔以形成桥形的膜; 微型加热器形成在膜的上部的一部分上，形成桥形; 设置在微型加热器上并具有多个通孔以形成桥形的绝缘层; 感测电极形成在形成桥形的绝缘膜的上部的一部分上; 并在感测电极上形成感测材料。 根据本发明的桥式微型气体传感器及其制造方法，与传统的微型气体传感器相比，桥式从热效率的观点来看是有利的并且可以驱动低功耗。 此外，由于所有的设计，并在没有二进制背面过程中的顶表面上，如在现有技术中的过程中，一个双面曝光机和不需要夹具蚀刻优点将被在背面蚀刻中使用。 此外，省略了使用KOH或TMAH溶液通过背面的硅（Si）蚀刻工艺，并且只有硅（Si）可以使用XeF气体在顶部选择性地蚀刻，因此，光致抗蚀剂（PR） 由于氧化膜根本不与氮化膜反应，所以可以提高工艺合格率。
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公开(公告)号：KR1020170058524A
公开(公告)日：2017-05-29
申请号：KR1020150162190
申请日：2015-11-19
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은생체신호측정가능한스마트밴드(SMART BAND)용유연기판(FPCB) 모듈에관한것으로, 전원공급용초소형배터리와, 적어도피부습도, 체온, 맥박신호를각각검출하기위한생체신호검출센서들과, 동적움직임신호를검출하기위한움직임검출센서와, 상기센서들에서각각검출되는신호를증폭및 디지털변환하여센서검출신호로출력하기위한신호처리부와, 디지털변환된상기센서검출신호를무선통신규격에따라처리하여전송하는무선통신부를포함하되, 상기초소형배터리, 상기생체신호검출센서들, 상기움직임검출센서, 상기신호처리부및 상기무선통신부는유연기판에실장되어전기적배선을통해상호연결됨을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于能够测量生物信号的智能带的柔性基板（FPCB）模块，包括：用于供电的微电池;生物信号检测传感器，用于至少检测皮肤湿度，体温， 信号处理器，用于放大并数字转换由每个传感器检测到的信号，并输出放大后的信号作为传感器检测信号; 其中，微电池，生物信号检测传感器，运动检测传感器，信号处理单元和无线通信单元安装在柔性基板上并通过电线 。
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公开(公告)号：KR1020150037129A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：KR1020130116420
申请日：2013-09-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은마이크로가스센서및 가스센서제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는대기환경, 실내환경을모니터링하며, 관리하기위한마이크로가스센서및 이를제조하는방법에관한것이다. 이를위해본 발명의마이크로가스센서는가스가접촉하며, 공급된전류에의해발열하는감지소자, 상기감지소자의양 측면에형성되며, 상기감지소자로전류를공급하는전극, 상기감지소자와전극의하단에형성되며, 상기감지소자가증착되는부분은요철구조를갖는멤브레인및 상기멤브레인의하단에형성된기판을포함하며, 상기감지소자요철구조임을특징으로한다.
Abstract translation: 微气体传感器及其制造方法技术领域本发明涉及微气体传感器及其制造方法，更具体地，涉及微气体传感器及其制造方法，用于监视和控制大气环境和室内环境。 为了实现这一点，微气体传感器包括：与气体接触的检测元件，使用供应给其的气体产生热量; 检测元件两侧的电极，用于向检测元件提供电流; 布置在电极和检测元件下方并且具有围绕要沉积有检测元件的区域的不均匀结构的膜; 以及布置在膜下方的基板。 检测元件具有不均匀的结构。
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公开(公告)号：KR101498594B1
公开(公告)日：2015-03-05
申请号：KR1020130068150
申请日：2013-06-14
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/16
Abstract: 본 발명은 가연성 가스 감지를 위한 접촉 연소식 가스센서 및 가스센서 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 구조가 간단하며, 낮은 소비전력으로도 저농도의 가스를 효율적으로 감지할 수 있는 가스센서 및 이를 제조하는 방안에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명의 접촉 연소식 가스센서는 가연성 가스가 접촉하며, 공급된 전류에 의해 발열하는 감지소자, 상기 감지소자의 양 측면에 형성되며, 상기 감지소자로 전류를 공급하는 전극, 상기 감지소자와 전극의 하단에 형성된 멤브레인 및 상기 멤브레인의 하단에 형성되며, 일부가 식각된 실리콘 기판을 포함한다.-
公开(公告)号：KR101447234B1
公开(公告)日：2014-10-07
申请号：KR1020120154197
申请日：2012-12-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/12
Abstract: 가스 센서 및 그 제조 방법이 개시된다.
본 발명의 실시 예에 따른 내구성이 향상된 가스 센서는, 기판상에 설치되며 복수의 관통 구멍이 형성되는 멤브레인; 상기 멤브레인의 상부와 하부에 형성되며 상기 복수의 관통 구멍을 통해 연결된 구조를 가지는 감지부; 상기 멤브레인 상부에 설치되어 상기 감지부를 가열시키는 가열부; 상기 감지부의 양단에 접촉되어 상기 감지부의 전기적 변화를 측정하는 감지 전극; 및 상기 가열부와 상기 감지 전극 사이의 전기적 절연을 위해 형성되는 절연막을 포함하여 이루어진다.
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