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公开(公告)号：KR1020050067894A
公开(公告)日：2005-07-05
申请号：KR1020030098927
申请日：2003-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/01
CPC classification number: B01F5/0646 , B01F5/0647 , B01F13/0059 , B01L3/502707 , B01L2300/0654 , B01L2300/0816 , B01L2300/0867 , B01L2300/0887 , B01L2300/1827 , G01N2201/08
Abstract: 본 발명은 용액 성분 분석을 위한 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 혼합채널, 반응채널과 측정채널을 연속적인 미세한 홈으로 하나의 기판에 형성시켜 용액 성분 분석을 위한 소자를 구현함으로써, 소형화시킬 수 있으며, 이동하여 신속히 시료를 분석할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 용액 성분 분석을 위한 소자의 측정채널과 광섬유 사이에 투명한 실리콘 산화막을 형성함으로써, 광섬유 삽입이 용이하게 되어 시료 분석을 위한 광학계 구성을 단순화할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020040036387A
公开(公告)日：2004-04-30
申请号：KR1020020065396
申请日：2002-10-25
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B01F13/00
Abstract: PURPOSE: A micro mixer is provided to inhibit flow of reagent and sample flow by comprising a structure to change laminar flow into turbulence flow in micro channel, to increase interface area between the reagent and the sample. CONSTITUTION: The micro mixer comprises a lower base(100); a first and a second inlets(110,120) spaced each other on the lower base(100); an auxiliary micro channel(130) formed on top portion of the lower base(100); a main micro channel(140) having grooves formed on top portion of the lower base(100) and a structure formed on surface of the groove; and an outlet(150) having grooves connected at the other side of the micro channel(140) formed on top portion of the micro channel(140).
Abstract translation: 目的：提供一种微型混合器，通过包括将层流转化为微通道中的湍流的结构来抑制试剂和样品流的流动，增加试剂与样品之间的界面面积。 构成：微型混合器包括下部基座（100）; 在下基座（100）上彼此间隔开的第一和第二入口（110,120）; 形成在下基座（100）的顶部上的辅助微通道（130）; 具有形成在所述下基座（100）的顶部上的槽和形成在所述槽的表面上的结构的主微通道（140） 以及在微通道（140）的另一侧连接有形成在微通道（140）的顶部上的凹槽的出口（150）。
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公开(公告)号：KR1020170014668A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：KR1020150108396
申请日：2015-07-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01R27/26 , G01R19/252 , G01R19/165
Abstract: 정전용량변화측정장치는외부환경에따라정전용량을변경하는커패시터, 상기커패시터와전기적으로연결되고, 상기변경된정전용량에따라결정된외부환경센싱기울기를가지는톱니파를생성하는톱니파발생기및 기준시점에서상기톱니파의전압을측정하고, 상기측정된톱니파의전압을이용하여상기외부환경센싱기울기에의하여결정된외부환경센싱값을출력하는마이컴을포함한다. 따라서, 정전용량변화측정장치는커패시터의충전곡선기울기를크게하여측정정밀도를향상시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160080320A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020140191244
申请日：2014-12-28
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L9/0073 , G01L7/08
Abstract: 내구성이우수하고, 정밀도가높으며불량률이낮은신뢰성높은차동형압력센서가제공된다. 본발명에따른차동형압력센서에서는, 제1압력전달부가형성된제1실리콘기판; 제2압력전달부가형성된제2실리콘기판; 및제1실리콘기판및 제2실리콘기판과유리지지부에의해이격되고, 제1 압력전달부및 제2압력전달부중 적어도하나로부터전달된압력에의해변형되는제3실리콘기판;을포함한다.
Abstract translation: 提供了具有优异的耐久性，高精度，低缺陷率和高可靠性的差压传感器。 根据本发明，差压传感器包括：形成第一压力传递部分的第一硅衬底; 第二硅衬底，其上形成有第二压力传递部分; 以及第三硅衬底，其通过玻璃支撑部分与第一硅衬底和第二硅衬底间隔开并且通过从第一压力传递部分和第二压力传递部分中的至少一个传递的压力而变形。
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公开(公告)号：KR101617164B1
公开(公告)日：2016-05-03
申请号：KR1020140190206
申请日：2014-12-26
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L13/06 , G01L7/08 , G01L9/0073 , G01L13/025
Abstract: 하나의고정전극과가동전극으로하나의커패시턴스를형성하여가해진압력의차이를검출하는차압센서에관한것이다. 차압센서는제1 관통홀이형성되며한 쌍의제1 및제2 단자들이배치된베이스몸체; 상기베이스몸체에배치되며상기제1 관통홀과대응하는제2 관통홀이형성되고상면에고정전극이형성된기판; 상기기판상에접속되며상기고정전극과이격되며압력차이에의하여상기고정전극과이루는간격이변경되는가동전극; 및상기제1 단자및 상기고정전극을전기적으로연결하는제1 도전성와이어및 상기제2 단자및 상기가동전극을전기적으로연결하는제2 도전성와이어를포함하는도전성와이어를포함한다.
Abstract translation: 差压传感器技术领域本发明涉及一种用一个固定电极和一个移动电极形成一个电容来检测施加压力差的差压传感器。 差压传感器包括：具有第一通孔的基体，具有一对第一和第二端子; 布置在所述基体中的基板，具有与所述第一通孔对应的第二通孔，并且在上表面上具有固定电极; 连接在基板上的与固定电极分离的移动电极，由于压力差而改变与固定电极形成的间隙; 以及导线，其包括将第一端子固定到固定电极的第一导线和将第二端子电连接到移动电极的第二导线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020120016426A
公开(公告)日：2012-02-24
申请号：KR1020100078776
申请日：2010-08-16
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L9/06 , G01L9/0042 , G01L9/0051 , H01L29/84
Abstract: PURPOSE: A piezo-resistance pressure sensor and a manufacturing method thereof are provided to easily control the size of a cavity by forming the cavity through an etching process with xenon fluoride gas, which has an excellent etching selection ratio. CONSTITUTION: A piezo-resistance pressure sensor comprises a substrate(110), an etching barrier layer(118), a cavity(121), a sealing film, an upper electrode(115), and a first electrode terminal(125). The substrate holds a first semiconductor layer working as a lower electrode, a dielectric layer and a second semiconductor layer. The etching barrier layer is expanded into the first semiconductor layer through the second semiconductor layer and the dielectric layer. The cavity is defined by the etching barrier layer to be formed in the first semiconductor layer. The sealing film buries an opening expanded to the cavity through the second semiconductor layer and the dielectric layer.
Abstract translation: 目的：提供一种压电阻压力传感器及其制造方法，通过利用具有优异的蚀刻选择比的氙氟化物气体的蚀刻工艺形成空腔来容易地控制空腔的尺寸。 构成：压电阻压力传感器包括基板（110），蚀刻阻挡层（118），空腔（121），密封膜，上电极（115）和第一电极端子（125）。 衬底保持用作下电极，电介质层和第二半导体层的第一半导体层。 蚀刻阻挡层通过第二半导体层和电介质层扩展到第一半导体层。 空腔由要在第一半导体层中形成的蚀刻阻挡层限定。 密封膜通过第二半导体层和电介质层埋入扩大到空腔的开口。
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公开(公告)号：KR1020120015859A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：KR1020100078350
申请日：2010-08-13
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L9/12 , G01L9/0073 , H01L21/20 , H01L29/84
Abstract: PURPOSE: A capacitive pressure sensor and a manufacturing method thereof are provided to simplify a process by forming first and second lower electrodes inside a silicon substrate and forming an upper electrode on a glass substrate. CONSTITUTION: A capacitive pressure sensor comprises a glass substrate(20), an upper electrode(30), a silicon substrate(10a), and first and second lower electrodes(12,14). The glass substrate has a groove. The upper electrode is formed in the groove of the glass substrate. A membrane is formed on the rear surface of the silicon substrate. The first and second lower electrodes formed inside the silicon substrate to be separated from each other. The silicon substrate is welded to the glass substrate through anodic bonding.
Abstract translation: 目的：提供一种电容式压力传感器及其制造方法，以通过在硅衬底内形成第一和第二下电极并在玻璃衬底上形成上电极来简化工艺。 构成：电容式压力传感器包括玻璃基板（20），上电极（30），硅基板（10a）以及第一和第二下电极（12,14）。 玻璃基板具有凹槽。 上部电极形成在玻璃基板的槽中。 在硅衬底的后表面上形成膜。 形成在硅衬底内的第一和第二下电极彼此分离。 硅衬底通过阳极接合焊接到玻璃衬底。
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公开(公告)号：KR101068035B1
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：KR1020080132102
申请日：2008-12-23
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은, 생체 내의 표재 질환 등의 목적 부위에 직접적으로 근접시킬 수 있는 캡슐형 투약 장치 및 이를 이용한 투약 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 약제 유지부 및 회로 유지부를 포함하고, 상기 약제 유지부와 회로 유지부 사이에 차단벽이 설치된 캡슐형 투약 장치에 있어서, 상기 회로 유지부는, 상기 회로에 전원을 공급하기 위한 전원공급부, 외부로부터 약제 방출 신호를 수신하기 위한 통신부, 및 상기 약제 방출을 제어하기 위한 제어부를 포함하고, 상기 약제 유지부에는 약제 방출을 위한 약제 방출구가 형성되어 있으며, 상기 차단벽의 제1 표면에는 가열부 및 상기 가열부에 적층된 기포생성막이 형성된 것을 특징으로 하는 캡슐형 투약 장치가 제공된다.
캡슐, 투약, 가열, 히터, 기포, 토출 헤드-
公开(公告)号：KR1020110056008A
公开(公告)日：2011-05-26
申请号：KR1020090112666
申请日：2009-11-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H05B3/20
CPC classification number: H05B3/20 , H05B3/03 , H05B2203/017
Abstract: PURPOSE: A micro heating device is provided to obtain uniform temperature distribution on a heating element by uniformly maintaining the heating amount in the center and the edge of the heating element. CONSTITUTION: A heating element(110) includes a plurality of hole patterns(110a). The resistance of the plurality of hole patterns becomes small from the edge to the center of the heating element. First and second electrodes(130a,130b) are connected to the heating element. The first and second electrodes apply the external power to the heating element.
Abstract translation: 目的：提供微加热装置，通过均匀地保持加热元件的中心和边缘的加热量，在加热元件上获得均匀的温度分布。 构成：加热元件（110）包括多个孔图案（110a）。 多个孔图案的电阻从加热元件的边缘到中心变小。 第一和第二电极（130a，130b）连接到加热元件。 第一和第二电极将外部电力施加到加热元件。
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公开(公告)号：KR100965837B1
公开(公告)日：2010-06-28
申请号：KR1020080050649
申请日：2008-05-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 플렉시블 기판에 형성된 트랜지스터 및 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 기존의 실리콘 기판에 제조된 트랜지스터를 플렉시블 기판 상에 일괄적으로 전사 내지는 이동시키는 플렉시블 기판에 형성된 트랜지스터 및 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 플렉시블 기판에 형성된 트랜지스터 및 제조 방법은 실리콘층, 산화막층 및 단결정 실리콘층으로 구성된 SOI 기판 상에 트랜지스터를 형성하는 제 1단계; 상기 트랜지스터가 형성된 상기 SOI 기판 상에 플렉시블 기판을 형성하는 제 2단계; 상기 SOI 기판의 상기 실리콘층 하부를 식각하여 상기 산화막층을 노출시키는 제 3단계; 및 상기 SOI 기판 하부의 가장자리에 남아있는 실리콘층, 산화막층 및 단결정 실리콘층을 제거하는 제 4단계를 포함하는 플렉시블 기판에 형성된 트랜지스터의 제조 방법에 기술적 특징이 있다.
플렉시블 트랜지스터, 전사, 폴리머 기판
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