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公开(公告)号：KR100940812B1
公开(公告)日：2010-02-04
申请号：KR1020090107645
申请日：2009-11-09
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C01F7/00 , C01F17/00 , H01L21/205 , C23C4/10
Abstract: 반도체 장비용 열용사 코팅막의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 일 싱ㄹ시예에 따른 반도체 제조 장비에 사용되는 열용사 코팅막의 제조 방법은, i) (Al
x Y
1-x )
2 O
3 (x는 0.05 내지 0.95) 조성을 가지는 열용사 코팅물질을 준비하는 단계, ii) 열용사 코팅물질을 플라즈마 불꽃을 향하여 주입하여 가열하는 단계, 및 iii) 가열에 의해 완전 용융 또는 반용융된 상태의 열용사 코팅물질을 반도체 제조장비에 사용되는 부품의 표면에 적층하여 비정질 구조를 갖는 코팅막을 형성하는 단계를 포함한다.
열용사 코팅, 비정질 세라믹, 반도체 제조 장비, 보호 코팅막-
公开(公告)号：KR100939256B1
公开(公告)日：2010-01-29
申请号：KR1020070060758
申请日：2007-06-20
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C01F7/00 , C01F17/00 , H01L21/205 , C23C4/10
Abstract: 반도체 장비용 열용사 코팅물질의 제조방법을 제공한다. 코팅 물질은 (Al
x Y
1-x )
2 O
3 (x 는 0.05 내지 0.95 범위)의 조성을 가지며, 직경 1-100㎛ 크기의 분말로 형성될 수 있다. 또한, 상기 분말을 사용하여 열용사법에 의해 코팅한 코팅막은 비정질 구조를 가진다.
열용사 코팅, 비정질 세라믹, 반도체 제조 장비, 보호 코팅막Abstract translation: 提供了一种制造用于半导体器件的热喷涂涂层材料的方法。 涂层材料可以包括（Al
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公开(公告)号：KR100854794B1
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：KR1020070140359
申请日：2007-12-28
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C01B3/503 , B01D53/04 , B01D61/58 , C01B3/0005 , C01B2203/0405
Abstract: An apparatus for separating hydrogen is provided to purify a large amount of hydrogen at a low energy cost from a mixed gas containing argon, hydrocarbons, methane, oxygen, nitrogen, carbon monoxide, hydrogen, and carbon dioxide. An apparatus(100) for separating hydrogen comprises: a temperature control unit(10) for controlling temperature of mixed gas containing hydrogen to a range of 200 to 800 °C; a hydrogen separation unit(20) including a plurality of hydrogen permeation membranes which are stacked in multistage within a housing for flowing in and out the mixed gas, and which are spaced apart from one another, and a hydrogen adsorption part and a hydrogen desorption part alternately formed between the hydrogen permeation membranes; and pressure control units(40) for controlling the pressure such that a pressure of the hydrogen adsorption part is higher than that of the hydrogen desorption part. The hydrogen permeation membrane is a metal membrane, a ceramic film, or a polymer film. The temperature control unit comprises a heater for heating the mixed gas. The hydrogen separation unit includes a hydrogen collector(50) for collecting desorbed hydrogen. The hydrogen separation unit includes an insulating member(30) for insulating the housing from the external air. Further, the insulating member comprises an insulating bed mounted on the housing and an insulating cover for insulating from external air.
Abstract translation: 提供了一种用于分离氢气的装置，从含有氩气，烃，甲烷，氧气，氮气，一氧化碳，氢气和二氧化碳的混合气体中以较低的能源成本净化大量的氢气。 用于分离氢的装置（100）包括：用于将含氢气的混合气体的温度控制在200至800℃范围内的温度控制单元（10）; 氢分离单元（20），其包括多个氢渗透膜，所述多个氢透过膜在壳体内多层堆叠以流入和流出所述混合气体，并且彼此间隔开;以及氢吸附部分和氢解吸部分 交替形成在氢渗透膜之间; 以及用于控制压力使得氢吸附部分的压力高于氢解吸部件的压力的压力控制单元（40）。 氢渗透膜是金属膜，陶瓷膜或聚合物膜。 温度控制单元包括用于加热混合气体的加热器。 氢分离单元包括用于收集解吸的氢的氢收集器（50）。 氢分离单元包括用于将壳体与外部空气绝缘的绝缘构件（30）。 此外，绝缘构件包括安装在壳体上的绝缘床和用于与外部空气绝缘的绝缘盖。
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公开(公告)号：KR100756367B1
公开(公告)日：2007-09-10
申请号：KR1020050084067
申请日：2005-09-09
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C22C45/02
Abstract: 본 발명은 바이폴라 플레이트용 비정질 합금 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 바이폴라 플레이트용 비정질 합금은 일반식 Fe
100-abcdefg Cr
a Mo
b C
c B
d Y
e M
f I
g 의 조성을 가진다. 여기서, M은 Al, Co, N 및 Ni 중에서 선택된 하나 이상의 원소이고, I는 불순물로서 Mn, P, S 및 O 중에서 선택된 하나 이상의 원소이며, a, b, c, d, e, f, g는 각각 16.0wt%≤a≤22.0wt%, 15.0wt%≤b≤27.0wt%, 2.0wt%≤c≤3.5wt%, 1.0wt%≤d≤1.5wt%, 1.0wt%≤e≤3.5wt%, 0.25wt%≤f≤3.0wt%, 0.01wt%≤g≤0.5wt% 이다.
비정질 합금, 연료전지, 바이폴라 플레이트-
公开(公告)号：KR1020060124480A
公开(公告)日：2006-12-05
申请号：KR1020050046432
申请日：2005-05-31
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B22F9/00
Abstract: A method for inexpensively preparing flake-shaped amorphous powder obtained by flaking an amorphous alloy, and the flake-shaped amorphous powder prepared by the same are provided. A preparation method of amorphous powder flakes comprises: a first step of rapidly solidifying an amorphous alloy to obtain amorphous powder; and a second step of milling the amorphous powder using a high energy mill to obtain amorphous powder flakes. The amorphous powder in the first step is at least one selected from Fe, Si, B, Cr, C, Nb and Cu. The amorphous powder in the first step comprises 88.5 to 90.5 wt.% of Fe, 6.0 to 9.0 wt.% of Si and 2.0 to 3.5 wt.% of B. The amorphous powder in the first step is obtained by milling the atomized or spun alloy melt after gas atomizing, centrifugal atomizing, water atomizing or melt spinning melt of an alloy comprising constituents composing the amorphous powder. The amorphous powder in the first step has a particle size of 200 mum or less.
Abstract translation: 提供了通过剥离非晶态合金而获得的片状无定形粉末及其制备的片状无定形粉末的廉价制备方法。 无定形粉末薄片的制备方法包括：快速固化非晶合金以获得无定形粉末的第一步骤; 以及使用高能磨机研磨无定形粉末以获得无定形粉末薄片的第二步骤。 第一步中的无定形粉末是选自Fe，Si，B，Cr，C，Nb和Cu中的至少一种。 第一步中的无定形粉末包含88.5-90.5重量％的Fe，6.0-9.0重量％的Si和2.0-3.5重量％的B.第一步中的无定形粉末是通过研磨雾化的或旋转的 含有构成无定形粉末的成分的合金的气体雾化，离心雾化，水雾化或熔融纺丝熔融后的合金熔体。 第一步中的无定形粉末的粒径为200μm以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100590810B1
公开(公告)日：2006-06-19
申请号：KR1020040025517
申请日：2004-04-13
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B22D23/00
Abstract: 본 발명은 2개 이상의 가스토출구와, 상기 가스토출구와 동일한 개수의 오리피스를 구비하는 턴디쉬를 포함하는 주 분무시스템과; 적어도 1개 이상의 가스토출구와, 상기 가스토출구와 동일한 개수의 오리피스를 구비하는 턴디쉬를 포함하는 부 분무시스템;을 포함하여 구성되며, 상기 주 분무시스템과 부 분무시스템은 서로 독립적으로 제어되는 것을 특징으로 하는 다중 분무성형 장치를 제공한다.
다중분무성형장치, 고속 주조, 주 분무시스템, 부 분무 시스템-
公开(公告)号：KR1020060041394A
公开(公告)日：2006-05-12
申请号：KR1020040090469
申请日：2004-11-08
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 , 한국과학기술연구원 , 주식회사 서머텍 코리아
IPC: B22F9/24
Abstract: 본 발명은 용사코팅용 나노구조 텅스텐 카바이드-코발트계 분말, 그 제조 방법 및 이를 이용한 나노구조 용사 코팅에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명에 따른 용사코팅용 나노구조 텅스텐 카바이드-코발트계 분말의 제조 방법은, 텅스텐 카바이드-코발트 혼합물, 분산제 및 용매를 혼합한 혼합물을 준비하는 단계, 혼합물에 결합제 및 가소제를 첨가하여 부분 응집된 슬러리를 제조하는 단계, 부분 응집된 슬러리를 분무 건조하여 구형 과립을 제조하는 단계, 및 구형 과립을 열처리하여 구형 과립에 함유된 유기물을 제거하는 단계를 포함한다. 이러한 본 발명을 통하여 용사 코팅의 내마모 특성을 크게 향상시킬 수 있다.
용사코팅, 텅스텐 카바이드, 코발트, 슬러리, 부분 응집-
公开(公告)号：KR1020060031136A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：KR1020040080035
申请日：2004-10-07
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: C23C4/04
Abstract: 본 발명은 반도체/LCD 제조 시 사용되는 진공 플라즈마 챔버 및 그 내부 부품의 보호막으로서 열용사에 의한 금속 및 세라믹 혼합 코팅막을 제공한다. 상기 혼합층은 열용사에 의해 형성되는 코팅막의 균열발생, 기공 발생, 코팅막의 박리 현상 등이 방지되어 진공 플라즈마 챔버 및 그 내부 부품의 내식성을 향상시키고, 수명을 연장시켜 제품 신뢰성을 더욱 확보할 수 있게 한다.
열용사, 혼합 코팅층, 균열, 박리-
公开(公告)号：KR100453518B1
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：KR1020010067891
申请日：2001-11-01
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L23/29
CPC classification number: B22F1/0003 , B22F2998/00 , B22F2999/00 , C22C2001/1073 , H01L23/06 , H01L2924/01079 , H01L2924/16195 , B22F3/14 , C22C1/1036 , B22F3/105
Abstract: Si 분말에 Al-Si 합금 분말을 첨가한 후 가압 성형하거나, Si 분말 또는 Si 분말의 예비 성형체에 Al-Si 합금 용탕을 가압 충진시키는 것으로 이루어지는 박스형 구조재용 Si-Al 합금의 제조방법을 제공한다.
Abstract translation: 在制造Si-Al合金包装材料的方法中，通过向Si粉末中加入Al-Si合金粉末并对其进行加压成型，或者通过用Al-Si合金熔体加压填充Si粉末或Si粉末的预成型体， 可以获得具有良好特性的Si-Al合金包装材料。
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公开(公告)号：KR1020010077145A
公开(公告)日：2001-08-17
申请号：KR1020000004730
申请日：2000-01-31
Applicant: 주식회사 대유플러스 , 한국과학기술연구원
IPC: C22C1/02
CPC classification number: F16C3/02 , B22D11/0405 , B22F3/115 , B22F2998/10 , B60K17/22 , C22F1/043 , C23C4/123 , Y10T29/49988 , B22F3/20
Abstract: PURPOSE: A process for preparing an Al-Si based alloy for motor vehicle propeller shaft by finely dispersing Si to be added in a large amount in an Al matrix structure is provided. Whereby, the alloy is expected to being highlighted as a new alloy composition capable of substituting conventional propeller shaft materials. CONSTITUTION: The Al-Si based alloy for motor vehicle propeller shaft is prepared by the process consisting of: preparing molten metal by heating 13 to 40% by weight of an Al-Si alloy; obtaining a molded body by maintaining the molten metal at 700 to 900deg.C, spraying inactive high pressure gas and quickly solidifying; and obtaining extruded material by extruding the sprayed molded body at 400 to 550deg.C.
Abstract translation: 目的：提供一种通过以大量分散在Al基体结构中分散Si来制备用于机动车辆传动轴的Al-Si基合金的方法。 因此，预计该合金将被强调为能够替代传统的螺旋桨轴材料的新型合金组合物。 构成：用于机动车辆传动轴的Al-Si基合金通过以下工艺制备，该方法包括：通过加热13至40重量％的Al-Si合金来制备熔融金属; 通过将熔融金属保持在700〜900℃，得到成型体，喷射惰性高压气体并快速固化; 通过在400〜550℃下挤压喷雾成形体而得到挤压材料。
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