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公开(公告)号：KR1019920009714B1
公开(公告)日：1992-10-22
申请号：KR1019880017976
申请日：1988-12-30
IPC: H01L21/00
Abstract: The multi-functional drive board providing a simple structure of semiconductor device for cost reduction comprises; 4 connectors connected to the power source and an external circuit; 6 schmitt trigger invertors inputting the signal of the respective connector to the drive module; 6 drive modules. Each module comprises; an inversion or non-inversion buffer; an optical coupler transfering the signal outputted from the buffer; a drive integrated circuit (IC) for driving the outer circuit by receiving the signal outputted from the optical coupler. The power source provides 12 V as the power source for logic and drive.
Abstract translation: 提供用于降低成本的半导体器件的简单结构的多功能驱动板包括： 连接到电源的4个连接器和外部电路; 6个施密特触发反相器将相应连接器的信号输入到驱动模块; 6个驱动模块。 每个模块包括 反转或非反转缓冲器; 光耦合器，传送从缓冲器输出的信号; 驱动集成电路（IC），用于通过接收从光耦合器输出的信号来驱动外部电路。 电源提供12 V电源作为逻辑和驱动器的电源。
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公开(公告)号：KR1019900006017B1
公开(公告)日：1990-08-20
申请号：KR1019870014516
申请日：1987-12-18
IPC: H01L21/677
CPC classification number: B25J15/00 , B25J9/041 , H01L21/68707 , Y10S414/141
Abstract: The carrier enables conveying the center of wafer with 2-8 inch diameter to the reactor center without a wafer supporting, simultaneously conveying wafer from a reactor to a vacuum load system. The carrier using linear motion of arm (30) mounted on turn table (12), includes wafer setting pins (44) (441-446) attached to leaf springs (45)(451-455) at the front of the arm; arm slide (3), compressed spring (53), shock absorbing plate (32), arm slide stopping pin (52) at the rear of the arm.
Abstract translation: 载体能够将具有2-8英寸直径的晶片的中心输送到反应器中心，而不需要晶片支撑，同时将晶片从反应器输送到真空负载系统。 使用安装在转台（12）上的臂（30）的线性运动的载体包括附接到臂前部的板簧（45）（451-455）的晶片固定销（441-446） 手臂滑块（3），压缩弹簧（53），减震板（32），手臂后部的手臂滑动止动销（52）。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR100258173B1
公开(公告)日：2000-06-01
申请号：KR1019970034952
申请日：1997-07-25
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01C19/56
Abstract: PURPOSE: A micro-gyroscope is provided to ensure detection electrodes easy in formation and excellent in sensitivity by using a micro-bridge stationary wave capable of being manufactured by micro-machining. CONSTITUTION: An anchor(17) is placed at both ends of a silicon beam(11) for fixing the beam(11). The first pseudo-vibration electrode(12) is positioned the upper center of the silicon beam(11). The second and third pseudo-vibration electrodes(15,16) are positioned at both ends of the silicon beam(11). The first and second detection electrodes(13,14) are positioned at inflection points of the first vibration mode due to the bending of the silicon beam(11). When the silicon beam(11) is resonated along the direction(A) perpendicular to the plane defined by the silicon beam(11) and a resonance mode is deformed by the Coriolis' force generated by a rotative angular velocity(B) perpendicular to the longitudinal direction and the vibration direction(B) of the silicon beam(11), the detection electrodes(13,14) detect the magnitude of the deformation.
Abstract translation: 目的：提供一种微型陀螺仪，通过使用能够通过微加工制造的微桥静止波，确保检测电极形成容易，灵敏度高。 构成：锚固件（17）被放置在用于固定梁（11）的硅梁（11）的两端。 第一伪振动电极（12）位于硅光束（11）的上部中心。 第二和第三伪振动电极（15,16）位于硅光束（11）的两端。 第一和第二检测电极（13,14）由于硅梁（11）的弯曲而位于第一振动模式的拐点处。 当硅光束（11）沿与垂直于由硅光束（11）限定的平面垂直的方向（A）共振时，共振模式由垂直于...的旋转角速度（B）产生的科里奥利力变形 长度方向和硅梁（11）的振动方向（B），检测电极（13,14）检测变形的大小。
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公开(公告)号：KR100236934B1
公开(公告)日：2000-01-15
申请号：KR1019970049653
申请日：1997-09-29
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/82
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
멤즈 소자의 형성 방법.
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
진공 밀봉이 요구되는 멤즈 소자의 형성시, 웨이퍼 위에 형성된 모든 소자를 한꺼번에 진공 밀봉하고 또한 진공 성능을 높일 수 있는 진공 밀봉 방법을 사용하여 제조된 멤즈 소자의 형성 방법을 제공하고자 함을 그 목적으로 한다.
3. 발명의 해결 방법의 요지
하부 기판 상에 절연막, 상부 기판을 형성한후, 상기 상부 기판 및 절연막의 선택적 식각으로 상기 하부 기판을 다수군데 노출시키는 단계; 상기 노출된 하부 기판을 메우는 희생막 패턴을 형성하되, 적어도 상기 노출된 하부 기판중 두군데를 연결하여 이루어지는 희생막 패턴을 형성하는 단계; 상기 희생막 패턴 상부에 제1밀봉 박막을 형성하는 단계; 상기 제1밀봉 박막에 상기 희생부 패턴의 끝부분과, 상기 상부 기판을 노출시키는 다수의 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 콘택홀을 통하여 상기 희생막 패턴을 완전히 제거하는 단계; 및 상기 콘택홀 및 제1밀봉 박막을 덮는 제2밀봉 박막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
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