公开(公告)号：KR100152237B1

公开(公告)日：1998-11-02

申请号：KR1019950055864

申请日：1995-12-23

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 주운기 ,  이종현

IPC: H04L12/24

Abstract: 본 발명은 임의 형태의 전송망에서 광 링크의 장애로 인한 신호 장애를 자동적으로 복구하기 위해, 신호 스위칭 수단(4)과, 광신호 입/출력 수단(5 내지 8)과, 소정의 정보를 망 복구를 위해 관리하고, 상기 광신호 입/출력 수단의 입출력 신호 구성 설정을 포함한 초기화를 상기 신호 스위칭 수단을 이용하여 수행하는 신호 제어 수단(2)과, 광신호의 입/출력 상태를 감시하여 장애가 발생하거나 수리가 되면 이를 상기 신호 제어 수단에 알려서 장애 복구 및 원 상태 복귀가 수행되도록 하는 입출력 상태 감지 수단(3)을 구비하는 것을 특징으로 하는 전송망 링크 장애 자동 복구 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 임의의 형태로 구성된 전송망내 임의의 광 링크 장애시에도 빠른 시간내에 자동 복구를 수행하여 전송 서비스의 질 향상과 고객 만족을 증진할 수 � �도록 한 것이다.

公开(公告)号：KR100151908B1

公开(公告)日：1998-11-02

申请号：KR1019950053191

申请日：1995-12-21

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 고제수 ,  최성혁 ,  이호재 ,  이종현 ,  김재근

IPC: H04L12/26

CPC classification number: H04Q11/0478 ,  H04J3/1611 ,  H04J2203/0005 ,  H04J2203/0057 ,  Y10S370/907

Abstract: 본 발명은 신호 감시기능이 강화된 동기식 디지틀 회선분배(SDH DXC:Synchr
onous Digital Hierarchy Digital Cross-Connection) 장치에 관한 것으로, STM-N 광신호를 수신하여 광/전 변환하고 데이타 복구 및 클럭추출을 하는 STM-N 신호 수신부(110)와 상기 신호 수신부(110)에 연결되어 STM-N 내의 구간 오버헤드(SOH)를 처리하여 N개의 AUG(AU4) 또는 3xN개의 AU3 신호를 추출하여 출력하는 역다중부(120)와 77.76Mb/s 8비트 병렬신호 또는 12개의 51.84Mb/s 직렬신호, 또는 4개의 19.44Mb/s 8비트 병렬신호를 입력하여 SOH를 삽입하여 STM-N 신호형태로 다중화하는 다중화부(140)와 STM-N 전기적 신호를 광신호로 변환하여 광케이블로 전송하는 STM-N 신호 송신부(130)를 구비하는 동기식 신호 접속수단(100); 상기 동기식 신호접속수단(100)에 연결되어 AU3 또는 AU4에 대한 프레임 위상을 재정렬하며 VC3 경로 감시와 미장착 신호상태 검출과 스위칭이 해제된 신호에 대한 신호 미장착 상태 발생 및 AU 프레임 형성을 수행하는 AU 프레임 위상정렬 및 신호감시수단(200); 상기 AU 프레임 위상 정렬 및 신호감시수단(200)에 연결되어 AU3단위 또는 AU4단위의 크로스커넥트스위칭을 수행하는 AU 스위칭 수단(300)을 구비하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019980047745A

公开(公告)日：1998-09-15

申请号：KR1019960066259

申请日：1996-12-16

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 도한철 ,  이종현

IPC: H04L12/28

Abstract: 본 발명은 회전분배장치를 중심노드로 하는 동기식 전송망에 관한 것으로서, 종래 전송망처럼 단국형 장치들만으로 망을 구성했을 경우 현재 서비스 중인 채널의 신호상태가 의심이 갈때 이를 시험할 수 있는 방법으로 전화상의 연락을 통해 현재 서비스 중인 신호에 대해 상대국에서 수작업으로 신호를 루프백시켜 돌아오는 신호의 상태를 보던지 상대국의 입력 단에서 신호를 끊고 감쇄기능 등을 통해 신호의 상태를 계기로 보는 비 효율적인 방법을 사용하였으므로 상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 동기식 전송에서 적용되고 있는 각 신호 계위에 따른 의사랜덤 패턴 시험 신호 발생 및 송신기능과 시험신호 수신기능 및 검출기능을 이용하여 비절단 시험상태와 절단 시험상태에서 장치의 타 기능블럭 및 타 국사의 동기식 전송망 노드들의 기 능들에 의해 전송 경로를 자동으로 설정하여 경로의 장애정보와 성능정보를 추출하고, 종합하여 채널의 종단과 종단간 연결에 개입된 다중, 분기, 분배 및 다중화 기능 또는 인전 기능간의 접속 상태를 확인할 수 있도록 하고 전송경로의 장애 또는 성능 저하의 요인이 되는 지점을 자동으로 찾아 분리해 낼 수 있도록 함으로써 시험 엑세스 기능을 바탕으로 회선 분배장치 내에서 발생한 장애 또는 경로의 미 접속 및 잘못된 접속 등을 판단할 수 있으며, 회선분배 장치 외부와 연결되어 있는 인접 전송 노드 장치 및 종단과 종단간 연결의 경로에 대한 성능 정보와 장애 원인 및 장애 위치 등을 분석하여 종합적인 정보를 제공함으로써 망상에서 전송로의 성능 향상 및 신뢰성 있는 정보 서비스의 제공으로 전송 망을 효율적으로 이용할 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR100135032B1

公开(公告)日：1998-04-20

申请号：KR1019940025177

申请日：1994-09-30

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 장원익 ,  정기로 ,  이종현

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정의 통합화를 위한 클러스터 장비(cluster tool)에 관한 것으로 특히 클러스터 장비용 반송모듈의 웨이퍼 운송시 발생되는 오차값들이 자동유량조절기에 피드백(feedback)되는 디지탈 PID 방법을 이용한 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력 제어방법 및 장치에 관한 것이다.
반송모듈의 주위에 부착된 카세트모듈 또는 공정모듈과의 웨이퍼운송시 고진공 압력 제어기능이 없으면 사각밸브의 개폐시 두 모듈내의 압력차에 의한 흐름형성으로 인하여 먼지발생(particle generation)이나 여러가지 반응가스의 역류(backstreaming)에 의해 반송모듈이 오염 (contamination)되며, 사각밸브의 개페시 22.5 mtorr로 규정된 최대 압력차보다 큰 압력차로 인하여 밸브수명이 단축되는 문제점을 해결하기 위하여 고진공 센서에서 나오는 이전의 3개의 오차값과 현재의 오차값인 4개의 오차값들이 자동유량 조절기에 피드백(feedback)되는 디지탈 PID 알고리즘(algorithm)을 사용하여 10
-4 에서 10
-5 torr 범위의 고진공 압력을 제어하는 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력제어방법 및 장치에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1019970056286A

公开(公告)日：1997-07-31

申请号：KR1019950055908

申请日：1995-12-23

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 도한철 ,  이종현 ,  최성혁

IPC: H04L12/933 ,  H04L12/26 ,  H04L12/801 ,  H04L12/70

Abstract: 본 발명은 N 클럭의 기본 클럭율을 갖는 고속의 24(12x2) 개의 연속된 데이터를 입력받아 N/2 클럭, N/4 클럭, N/12 클럭에 의해 저속의 24개 병렬데이타를 생성하는 역다중화수단(1), CPU 신호에 의해 신호교차시에 필요한 메트릭스 구성을 특정 레지스터에 저장해두는 구성 맵핑용 레지스터 수단(3); 출력에 맵핑될 채널을 지정해 주기 위해 N/4 클럭을 입력받아 3개의 단위의 선택신호를 만들어 주는 3진 카운터 수단(4); 상기 역다중화수단(1)으로 N부터의 24개의 병렬 데이터중 상기 구성 맵핑용 레지스터 수단(3)의 설정값 및 상기 3진 카운터 수단(4)의 선택 신호에 의해 3개씩 연속되는 저속부의 데이터 값을 결정하여 외부의 저속 데이타 부로 출력하는 24:1 신호교차수단(2)을 구비하는 것을 특징으로 하는 동기식 전송시스템에서 시험액세스를 위한 24x3교차 스위치 회로에 관한 것으로, 고속부 데이터를 저속부 데이터로 역다중시 순차적으로 들어오는 24채널 용량의 고속 데이터를 역다중을 통해 저 속의 병렬 데이터로 펼쳐 놓고 모든 시간 스위치를 실행하게 되므로 고속 데이터 단계의 신호교차시 가져올 수 잇는 전송 오류를 방지하고, CPU 인터페이스에 의해 시간스위치 맵핑용 레지스터를 제어할 수 있게 하여 간편하게 스위칭 조작을 할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019970055425A

公开(公告)日：1997-07-31

申请号：KR1019950053997

申请日：1995-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 최성혁 ,  진성언 ,  엄두섭 ,  고제수 ,  이종현

IPC: H03K17/00

Abstract: 본 발명은 3포트 비동기 램(RAM)과 먹스(MUX)를 이용한 티유(TU)12 단위의 공간 스위칭 장치에 관한 것으로서, 38M 클럭과 2K 프레임 클럭을 입력받아 19M, 72K, 18K, 고정더미 위치, 선택 제어 신호 등의 타이밍 신호를 출력하는 타이밍 생성 수단(10); 연결 행렬 메모리인 3포트 비동기 메모리를 사용하여 쓰기, 읽기 포트는 외부 CPU 포트에 연결되고, 나머지 읽기 포트는 타이밍 생성 수단(10)에서 38M 단위로 읽기 어드레스에 연결되어 특정 버스의 TU12 데이타를 출력시키기 위한 선택 신호를 출력하는 CPU 접속 수단(20); 외부의 38M 시스템 클럭과 데이타를 입력받아 상기 타이밍 수단(10)의 제어에 의해 앞단에서의 전송 에러를 검증하기 위하여 2K 한 프레임 동안의 BIP 계산과 추출, 비교검사, 누적등의 기능을 수행하여 출력하는 다수개의 전단 스위칭 수단(30); 다수개의 상기 전단 스위칭 수단(30)으로부터 데이타를 입력받아 상기 CPU 접속 수단(20)의 선택 신호에 의해 공간 스위칭 기능을 수행하여 데이타를 출력하는 다수개의 다중화 수단(40); 및 다수개의 상기 다중화 수단(40)의 메모리 출력부에서 출력된 데이타를 38M급으로 리타이밍하여 안정한 데이타를 입력받아 상기 타이밍 생성수단(10)의 다음단 ASIC에서 전송 에러를 검출할 수 있도록 2K 한 프레임 동안의 BIP를 계산하여 삽입하여 출력하는 후단 스위칭 수단(50)을 구비하여 구비하여 L 버스(BUS)(38M)를 사용하는 TU12 단위 공간 스위치에 있어서 L 버스(BUS) 단위의 전송 에러 검출과 3포트 메모리와 단순 먹스만을 이용하여 구성이 간단한 공간 스위치를 제공할 수 있고, 연결행령 메모리의 이중 구조를 준비하여 스위칭의 변경시에도 스위칭 데이타의 손실을 막을 수 있는 뿐만 아니라 메모리를 사요하여 가능한 네트를 줄여 레이 아웃(layout)시에 발생할 수 있는 문제를 방지할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019970051606A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950053676

申请日：1995-12-21

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이재열 ,  박경호 ,  최부연 ,  강상원 ,  이종현 ,  유형준

IPC: H01H47/00

Abstract: 본 발명은 정전구동 마이크로 릴레이 소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 본원 발명은 기판(10)상의 소정영역에 일부분이 단속되어 종방향으로 형성된 하부 접촉전극(12)과, 상기 하부 접촉전극(12)의 양측에 각각 형성되어 있는 하부 구동전극(13,14)과, 상기 하부 접촉전극(12)과 수직으로 대응하는 부분이 오목한 형상을 갖도록 아래로 굴곡진 제1오목부(17)가 형성되어 있고 상기 하부 구동전극(13,14)과 수직으로 대응하는 부분이 오목한 형상을 갖도록 각각 아래로 굴곡진 제2오목부(18,19)가 형성되어 있으며 하부 접촉전극(12)과 하부 구동전극(13,14)사이에 소정의 공간이 형성되도록 소정의 높이에 브릿지형상으로 형성되어 있는 브릿지 몸체(21)와, 상기 하부 접촉전극(12)과 대면하는 브릿지 몸체(21)의 제1오목부의 배면에 형성되어 있는 상부 접촉전극(20) , 상기 브릿지 몸체(21)의 전면에 형성되어 있는 상부 구동전극(20)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019970048993A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950053651

申请日：1995-12-21

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 최상수 ,  정해빈 ,  이종현 ,  유형준

IPC: G03F1/22 ,  H01L21/30

Abstract: 본 발명은 높은 광투과 정렬창을 갖는 X-선 브랭크마스크 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 종래기술의 X-선 마스크용 투과막은 광투과도가 낮고, 층간정렬도가 떨어졌던 문제점을 해결하기 위해 X-마스크에서 정렬광이 투과하는 부위는 광투과도가 우수한 멤브레인 물질을, X-선 노광에 의한 소산이 없는 멤브레인 물질을 하나의 웨이퍼에 형성한 구조로서, 정렬창의 멤브레인으로 Si
3 N
4 을, 칩부위의 멤브레인은 Si
3 N
4 /poly-Si/Si
3 N
4 을 사용하고, 또한 정렬창의 멤브레인으로 Si
3 N
4 /SiO
2 을 사용하고, 칩부위의 멤브레인은 Si
3 N
4 /poly-Si/Si
3 N
4 을 사용하는 것이다.

公开(公告)号：KR1019970011053B1

公开(公告)日：1997-07-05

申请号：KR1019930027861

申请日：1993-12-15

Applicant: 한국전자통신연구원 ,  주식회사 케이티

Inventor： 장원익 ,  이종현 ,  장기호 ,  유형준

IPC: H01L21/027

Abstract: A reticle transferring and driving apparatus having a variable pre-alignment function capable of forming an image on a sensitive material which is coated on a wafer is disclosed. In the apparatus, a pre-alignment mechanism is mounted next to an edge of a reticle(4) at 90= . A pre-alignment operation is performed in X, Y or direction and XY and directions. A transferring system is transferred into an optical axis(1) along two LM guides(14). A reticle driving section processes an analog signal from a light receiving sensor(7) according to the pre-alignment result and drives a reticle(4) in an XY direction and direction by combinations of a hinge spring(24) and a gear motor(18) and a rotating bearing(17) and the gear motor(18), respectively.

Abstract translation: 公开了一种具有能够在涂覆在晶片上的敏感材料上形成图像的可变的预对准功能的掩模版传送和驱动装置。 在该装置中，预定位机构以90 =安装在分划板（4）的边缘的旁边。 在X，Y或方向以及XY和方向上执行预对准操作。 传送系统沿两个LM导轨（14）传送到光轴（1）。 光罩驱动部根据预定位结果对来自光接收传感器（7）的模拟信号进行处理，并通过铰链弹簧（24）和齿轮电动机（24）的组合在XY方向和方向上驱动光罩（4） 18）和旋转轴承（17）和齿轮马达（18）。

公开(公告)号：KR1019950014109B1

公开(公告)日：1995-11-21

申请号：KR1019920020986

申请日：1992-11-10

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이상수 ,  이종현 ,  최상국 ,  강수일

IPC: H01L21/50

Abstract: an up-down controlling screw which assembes a table where an alignment mark is sticked on the supporting table to minutely control the height, tilt, angles of the alignment mark in the narrow space and which has small size detailed pitch at the tip part of supporting table arm; a pressing spring which makes table stick to the supporting table; an angle coltrolling screw which has detailed small size pitch circulating the table; and three up-down controlling screw which minutely controlls the height and tilt of the table.

Abstract translation: 将对准标记粘贴在支撑台上的桌子组合在一起的上下控制螺钉，以精细地控制狭窄空间中的对准标记的高度，倾斜角度，并且在支撑台顶部具有小的细节间距 桌臂 使桌子粘贴在支撑台上的按压弹簧; 具有详细小尺寸间距的角度旋转螺杆使工作台循环; 和三个上下控制螺丝，可以精确控制桌子的高度和倾斜度。