公开(公告)号：KR1020060063573A

公开(公告)日：2006-06-12

申请号：KR1020050037770

申请日：2005-05-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 임을균 ,  이재설 ,  황대환 ,  김선대 ,  최승민

IPC: G06F13/00 ,  G06F9/00

Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은, 분산구조를 가지는 네트워크 로봇의 제어 장치에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 무선통신(예: 무선 인터넷)을 통해 제어 서버와 연동하여 동작하는 URC(Ubiquitous Robotic Companion) 로봇에 있어서, 기능별로 처리 모듈을 분산시키고, 분산된 처리 모듈을 각기 다른 데이터 전송 속도를 가지는 연결수단(예: 버스)을 이용하여 연결함으로써, 확장성이 용이하고 대용량의 데이터 처리가 가능하며 실시간 제어가 가능하도록 하기 위한, 분산구조를 가지는 네트워크 로봇의 제어 장치를 제공하는데 그 목적이 있음.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 분산구조를 가지는 네트워크 로봇의 제어 장치에 있어서, 외부 영상 입력수단과의 인터페이스를 처리하기 위한 영상 제어수단; 외부 음성 입력수단과의 인터페이스를 처리하기 위한 음성 제어수단; 외부 모션 구동수단과의 인터페이스를 처리하기 위한 모션 제어수단; 외부 센서와의 인터페이스를 처리하기 위한 센서 제어수단; 무선 정합 기능을 수행하며, 각 분산구조를 가지는 상기 각 제어수단들을 제어하기 위한 메인 제어수단; 및 분산구조를 가지는 상기 각 제어수단들과 상기 메인 제어수단을 각기 다른 전송 속도로 연결하기 위한 연결수단을 포함함.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 네트워크 로봇 등에 이용됨.
분산구조, 네트워크 로봇, 고속의 대용량 버스, 저속의 소용량 버스

公开(公告)号：KR100520305B1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：KR1020030021406

申请日：2003-04-04

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 곽창수 ,  임을균 ,  김대용

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F9/703 ,  G01B11/14 ,  G03F9/7038

Abstract: 간격 측정 장치 및 그 방법을 제공한다. 본 발명은 일정 간격 떨어져 있는 마스크와 기판 상부에 위치하고, 상기 마스크와 기판 상에서 수평이동하면서 레이저빔을 발사하고 상기 마스크와 기판에서 각각 반사되어 돌아오는 레이저빔의 수광위치를 근거로 측정한 거리값의 변화로 상기 마스크와 기판 사이의 간격을 측정하는 레이저 변위 센서를 포함한다. 이상과 같이 본 발명은 마스크와 기판 사이의 간격을 레이저 변위 센서를 이용하여 원하는 위치에서 간단하게 마스크와 기판 사이의 간격을 측정할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020040052062A

公开(公告)日：2004-06-19

申请号：KR1020020079787

申请日：2002-12-13

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김대용 ,  곽창수 ,  임을균 ,  신용우 ,  강동열 ,  최상국

IPC: H01J1/30 ,  C01B31/02 ,  B82Y40/00

Abstract: PURPOSE: An electron beam source module and a method are provided to allow for ease of gap adjustment and alignment between a field emission tip and an extractor electrode. CONSTITUTION: An electron beam source module comprises a semiconductor substrate(31); a first insulating film(32) formed on the semiconductor substrate, and which has a cavity(36) for exposing the surface of the semiconductor substrate; a single crystal silicon thin film(33) formed on the first insulating film, and which has an opening(35) smaller than the cavity of the first insulating film; a barrier metal(38) and a metal catalyst(39) stacked on the center of the center of the exposed surface of the semiconductor substrate in the cavity; and a carbon nanotube field emission tip formed on the metal catalyst in the direction vertical to the semiconductor substrate and self-aligned in the opening.

Abstract translation: 目的：提供电子束源模块和方法，以便容易地进行场发射尖端和提取器电极之间的间隙调整和对准。 构成：电子束源模块包括半导体衬底（31）; 形成在所述半导体基板上的第一绝缘膜，具有用于使所述半导体基板的表面露出的空腔; 形成在第一绝缘膜上的单晶硅薄膜（33），其具有比第一绝缘膜的空腔小的开口（35）; 阻挡金属（38）和金属催化剂（39），其堆叠在所述空腔中的半导体衬底的暴露表面的中心的中心; 以及在垂直于半导体衬底的方向上在金属催化剂上形成并在开口中自对准的碳纳米管场发射尖端。

公开(公告)号：KR100432784B1

公开(公告)日：2004-05-24

申请号：KR1020020034282

申请日：2002-06-19

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 곽창수 ,  임을균 ,  김대용 ,  손영수

IPC: H01L21/027

Abstract: PURPOSE: A mask align apparatus of vertical exposure equipment is provided to more easily transfer a substrate due to a decrease of weight and volume of a substrate transfer apparatus by aligning a mask in directions of X, Y, Z, theta X, theta Y and theta Z. CONSTITUTION: A Z-direction guide rail(101) is installed in a horizontal base. A Z-direction transfer unit is coupled to the Z-direction guide rail, capable of gliding. A Y-direction align unit(200) is installed in the Z-direction transfer unit. A frame box(300) is composed of an upper plate, a lower plate and both sidewalls, mounted on the Y-direction align unit. Each tilt direction align unit(500) is installed in the upper and lower portions of a main frame(301) connected between the upper and lower plates of the frame box. Each X-direction straight line operating unit(402) is installed in the upper and lower plates of the frame box. A frame hanger(503b) is installed in the upper end of an align frame(302) connected between the X-direction straight line operating units. The upper and lower portions of the rear surface of a mask mounting frame(303) hung on the frame hanger come in contact with the tilt direction align unit protruding through the align frame. A mask frame(304) supports the mask(100), fixed to the front surface of the mask mounting frame.

Abstract translation: 目的：提供垂直曝光设备的掩模对准装置，以通过沿X，Y，Z，θX，θY和θ方向对准掩模，由于基板传送装置的重量和体积的减小而更容易地转移基板 θZ.构成：Z方向导轨（101）安装在水平底座上。 Z方向传送单元联接到Z方向导轨，能够滑动。 Y方向对齐单元（200）安装在Z方向传送单元中。 框架箱（300）由安装在Y方向对准单元上的上板，下板和两个侧壁组成。 每个倾斜方向对齐单元（500）安装在连接在框架箱的上板和下板之间的主框架（301）的上部和下部。 每个X方向直线操作单元（402）安装在框架箱的上下板中。 框架吊架（503b）安装在连接在X方向直线操作单元之间的对齐框架（302）的上端。 悬挂在框架悬挂器上的掩模安装框架（303）的后表面的上部和下部与穿过对齐框架突出的倾斜方向对齐单元接触。 面罩框架（304）支撑固定到面罩安装框架的前表面的面罩（100）。