-
公开(公告)号：KR1020120015859A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：KR1020100078350
申请日：2010-08-13
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: G01L9/12 , G01L9/0073 , H01L21/20 , H01L29/84
Abstract: PURPOSE: A capacitive pressure sensor and a manufacturing method thereof are provided to simplify a process by forming first and second lower electrodes inside a silicon substrate and forming an upper electrode on a glass substrate. CONSTITUTION: A capacitive pressure sensor comprises a glass substrate(20), an upper electrode(30), a silicon substrate(10a), and first and second lower electrodes(12,14). The glass substrate has a groove. The upper electrode is formed in the groove of the glass substrate. A membrane is formed on the rear surface of the silicon substrate. The first and second lower electrodes formed inside the silicon substrate to be separated from each other. The silicon substrate is welded to the glass substrate through anodic bonding.
Abstract translation: 目的：提供一种电容式压力传感器及其制造方法，以通过在硅衬底内形成第一和第二下电极并在玻璃衬底上形成上电极来简化工艺。 构成：电容式压力传感器包括玻璃基板（20），上电极（30），硅基板（10a）以及第一和第二下电极（12,14）。 玻璃基板具有凹槽。 上部电极形成在玻璃基板的槽中。 在硅衬底的后表面上形成膜。 形成在硅衬底内的第一和第二下电极彼此分离。 硅衬底通过阳极接合焊接到玻璃衬底。
-
公开(公告)号：KR1020110106508A
公开(公告)日：2011-09-29
申请号：KR1020100025559
申请日：2010-03-23
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 산처리 과정을 포함하는 강유전체 박막 형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 염기성을 가지는 표면을 식각하고 산성을 가지는 표면을 노출시키기 위해 기판 표면을 산처리하는 단계; 및 상기 산처리 과정을 거친 기판 상에 수열합성법에 의해 페로브스카이트형 강유전체 박막을 형성하는 단계를 포함하는 강유전체 박막 제조방법에 관한 것이다.
-
公开(公告)号：KR1020110106504A
公开(公告)日：2011-09-29
申请号：KR1020100025552
申请日：2010-03-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: C04B35/00 , B28B3/02 , C04B35/64 , C04B35/495
CPC classification number: C04B35/495 , B28B1/265 , C04B2235/3201
Abstract: 본 발명은 (K
0
.5 Na
0
.5 )NbO
3 계열의 무연계 강유전체 박막의 건식 증착을 위한 세라믹 표적 제조방법 및 이를 이용한 박막 형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 Na
2 CO
3 ,
K
2 CO
3 및 Nb
2 O
5 를 사용하여 (Na
0
.5 K
0
.5 )
X NbO
3 (1≤X≤3) 의 조성비를 가지는 분말을 합성하는 제 1 단계; 상기 제 1 단계에서 합성된 분말에 메칠알코올과 지르코니아볼을 같은 부피비로 섞어 볼밀을 실시하는 제 2 단계; 상기 제 2 단계를 거친 후 분말 속에 포함된 메칠알코올을 휘발시키기 위해 건조시키는 제 3 단계; 상기 건조된 분말을 알루미나 유발로 분쇄하여 금형틀에 채우고 일정한 압력을 인가하여 성형하는 제 4 단계; 및 상기 성형된 세라믹 표적을 소결시키는 제 5 단계를 포함하는 세라믹 표적 제조방법 및 상기 표적을 이용한 박막 형성방법에 관한 것이다.-
公开(公告)号：KR1020110056008A
公开(公告)日：2011-05-26
申请号：KR1020090112666
申请日：2009-11-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H05B3/20
CPC classification number: H05B3/20 , H05B3/03 , H05B2203/017
Abstract: PURPOSE: A micro heating device is provided to obtain uniform temperature distribution on a heating element by uniformly maintaining the heating amount in the center and the edge of the heating element. CONSTITUTION: A heating element(110) includes a plurality of hole patterns(110a). The resistance of the plurality of hole patterns becomes small from the edge to the center of the heating element. First and second electrodes(130a,130b) are connected to the heating element. The first and second electrodes apply the external power to the heating element.
Abstract translation: 目的：提供微加热装置，通过均匀地保持加热元件的中心和边缘的加热量，在加热元件上获得均匀的温度分布。 构成：加热元件（110）包括多个孔图案（110a）。 多个孔图案的电阻从加热元件的边缘到中心变小。 第一和第二电极（130a，130b）连接到加热元件。 第一和第二电极将外部电力施加到加热元件。
-
公开(公告)号：KR100988477B1
公开(公告)日：2010-10-18
申请号：KR1020080042432
申请日：2008-05-07
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 MEMS 공정을 이용하여 형성한 마이크로 히터 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 히터배선의 하부 구조를 식각하여 히터배선 부분만 기판으로부터 격리되어 떠있도록 제작된 마이크로 히터 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
또한, 민더 타입의 배선을 그리드 타입으로 제조함으로써, 제작공정과 열방사 효율을 향상시키고, 히터배선을 지지하는 하부의 지지기둥을 완전히 열산화시켜 열고립구조를 개선한 마이크로 히터 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 마이크로 히터 및 그 제조 방법은 기판상에 절연막을 증착한 후, 사진식각 공정을 이용하여 히터배선과 전극패드를 패터닝하는 제1단계; 패터닝된 상기 기판의 전면을 식각하여 컬럼구조물을 형성하는 제2단계; 상기 컬럼구조물을 식각하여 지지기둥과 전극패드를 제외한 부분이 상기 기판으로부터 릴리즈된 구조물을 형성하는 제3단계; 및 릴리즈된 상기 구조물을 포함한 상기 실리콘 기판 전면에 금속층 또는 열저항체층을 증착해 히터배선 및 전극패드를 형성하는 제4단계를 포함하는 마이크로 히터의 제조방법에 그 기술적 특징이 있다.
MEMS, 마이크로 히터, 반사막, 민더(Meander)타입, 그리드(Grid)타입, 열고립-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100001526A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：KR1020080061462
申请日：2008-06-27
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: An apparatus for detecting a steering angle with high precision is provided to remove a hysteresis error due to backlash by using stators which collect magnetic flux by the magnetic material. CONSTITUTION: An apparatus for detecting a steering angle with high precision comprises a magnet disc(100) which is connected to a steering column in the center so as to rotate with the steering column and provided with magnets(110,160) on both sides, stators(120) which are located corresponding to the magnets to smoothen the intensity of the magnetic flux, and a hall sensor(142) which is positioned on a projection formed on the stators and measures an angle using the intensity of the magnetic flux.
Abstract translation: 目的：提供一种高精度检测转向角的装置，通过使用由磁性材料收集磁通量的定子来消除由于反向间隙引起的滞后误差。 构成：用于高精度地检测转向角的装置包括：磁盘（100），其连接到中心的转向柱，以便与转向柱一起旋转并在两侧设置有磁体（110,160），定子（ 120），其对应于磁体来平滑磁通量的强度;以及霍尔传感器（142），其位于形成在定子上的突起上，并使用磁通强度来测量角度。
-
公开(公告)号：KR100913319B1
公开(公告)日：2009-08-21
申请号：KR1020070068366
申请日：2007-07-06
Abstract: 본 발명은 습도 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 알루미늄 양극산화(anodizing)를 이용하여 기판을 형성하고 대기압 플라즈마를 이용하여 표면 개질을 수행함으로써, 습도 감지 폴리머와 기판과의 접착력을 높일 수 있는 습도 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 습도 센서 제조 방법은, 열산화막이 형성된 기판의 표면에 버퍼층과 알루미늄층을 형성하는 제1단계; 상기 알루미늄층의 표면에 양극산화를 수행하여 전극 부분과 나노 스케일의 산화알루미늄 부분을 형성하는 제2단계; 및 상기 전극 부분 또는 상기 산화알루미늄 부분의 표면에 습도 감지 폴리머를 형성하는 제3단계를 포함함에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 습도 센서 및 그의 제조 방법은 알루미늄 양극산화를 이용하여 기판을 형성하고 대기압 플라즈마를 이용하여 표면 개질을 수행함으로써 습도 감지 폴리머와 기판 또는 습도 감지 폴리머와 전극 사이의 접착력을 높일 수 있고 습도 센서의 안정적인 구동과 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 기판과 전극 사이의 단차를 발생하지 않음으로써 습도 감지 폴리머의 증착시 두께의 편차를 줄일 수 있는 현저하고도 유리한 효과가 있다.
습도 센서, 알루미늄 양극산화, 대기압 플라즈마-
公开(公告)号：KR1020090086766A
公开(公告)日：2009-08-14
申请号：KR1020080012218
申请日：2008-02-11
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N21/3504 , G01N21/00
Abstract: An optical formula sensor is provided to reduce the size of the whole device and implement the long optical path and the high light efficiency in a narrow side. An optical formula sensor comprises an optical chamber(310), a light source(340), a first optical unit(320), a second optical unit(330), a light receiving element(360), and a filter(350). The chamber comprises a first opening(370) and a second opening(380). The first opening and the second opening are located at the side of an inner cavity. The first optical unit condenses the light generated in the light source to pass through one focus in the center of the optical axis. The second optical unit condenses the light reflected in the inner cavity of the optical chamber. The light receiving element measures the light intensity which is finally incident with the second optical unit. The filter is located between the second optical unit and the light receiving element.
Abstract translation: 提供了一种光学公式传感器，以减小整个装置的尺寸并实现窄光路的长光路和高光效率。 光学公式传感器包括光学室（310），光源（340），第一光学单元（320），第二光学单元（330），光接收元件（360）和滤光器（350）。 腔室包括第一开口（370）和第二开口（380）。 第一开口和第二开口位于内腔的一侧。 第一光学单元冷凝在光源中产生的光以在光轴的中心穿过一个焦点。 第二光学单元冷凝在光学室的内腔中反射的光。 光接收元件测量最终与第二光学单元入射的光强度。 滤光器位于第二光学单元和光接收元件之间。
-
公开(公告)号：KR1020090032926A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：KR1020080042432
申请日：2008-05-07
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: A micro heater and a manufacturing method thereof are provided to lower the power consumption by maximizing the thermal isolation effect, and to use the micro heater as the excellent infrared light source. A micro heater comprises a heater wiring(130) which is separated from substrate, an electrode pad(140) which authorizes the voltage in the bi end of the heater wiring, and a support pillar(150) which supports the heater wiring. The heater wiring includes an insulating layer which electrically insulates substrate and heater wiring; and a metal layer which is evaporated on the insulating layer and flows current.
Abstract translation: 提供微加热器及其制造方法，通过最大化隔热效果来降低功耗，并且使用微加热器作为优异的红外光源。 微加热器包括与基板分离的加热器布线（130），授权加热器布线的双端电压的电极焊盘（140）和支撑加热器布线的支撑柱（150）。 加热器布线包括使基板和加热器布线电绝缘的绝缘层; 以及在绝缘层上蒸发并流过电流的金属层。
-
公开(公告)号：KR1020090004278A
公开(公告)日：2009-01-12
申请号：KR1020070068366
申请日：2007-07-06
Abstract: A humidity sensor and fabrication method thereof is provided to reduce the deviation of a thickness when forming humidity detection polymer by precluding a stepped portion between a substrate and an electrode. A humidity sensor and fabrication method thereof comprises a step of forming a buffer layer and an aluminum layer onto the surface in which a thermal oxide film is formed; a step of forming the aluminum oxide part of nano-scale and an electrode portion by performing anode oxidation onto the surface of the aluminum layer; and a step of forming a humidity detection Polymer(260) onto the electrode portion or the aluminum oxide part.
Abstract translation: 提供了一种湿度传感器及其制造方法，以通过排除基板和电极之间的台阶部分来形成湿度检测聚合物时的厚度偏差。 湿度传感器及其制造方法包括在形成有热氧化膜的表面上形成缓冲层和铝层的工序; 通过在铝层的表面上进行阳极氧化来形成纳米级的氧化铝部分和电极部分的步骤; 以及在电极部或氧化铝部上形成湿度检测用聚合物（260）的工序。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
105
records
(took 0.021 seconds)
