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公开(公告)号：KR1019950022214A
公开(公告)日：1995-07-28
申请号：KR1019930029095
申请日：1993-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L23/36
Abstract: 본 발명은 경·박·단·수 화 경향으로 인해 고집적화되어 가는 전보통신시스템의 단위면적당 발열밀도가 커짐에 따라 야기되는 발열문제를 해결하기 위해 사용되는 보드냉각 시험장치에 관한 것으로, 낵각보드 양편에 발열되는 반도체칩이 장착된 인쇄회로 기판을 밀착시키고 냉가보드로 액체를 순환시켜 강제적으로 냉각시키기 위하여 적정온도 유지를 위한 온도감지센서, 발열판, 단열판과, 상기 단열판에 장착되어 압착시 균일접촉을 얻을 수 있도록 한 구면힌지판, 좌측압착판, 우측합착판 및 압착력 제어를 위한 입력콘트롤러 그리고 상기의 조건들을 제어하기 위한 메인 콘트롤러로 구성됨을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1019950021218A
公开(公告)日：1995-07-26
申请号：KR1019930027864
申请日：1993-12-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/312
Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정에 필요한 마스크에 페리클을 정밀하고 견고하게 접착하기 위한 마스크 접착장치에 관한 것으로 반도체소자 제조에 사용되는 사진인쇄(photo-Lithography)공정에서 설계패턴이 만들어진 레티클마스크(Reticle Mask)의 설계패턴을 기판(wafer등)의 1/5크기로 반복축소하는 패턴형성과정에서 레티클 마스크 먼지등이 기판에 영향을 주어 홈, 결함등을 발생시켜 소자제조 수율을 저하시키는 원인을 제거하기 위한 것으로서 마스크의 수명연장과 먼지로 인한 소자의 불량요인 제거, 소자제조 수율향상을 위해 마스크에 페리클을 접착하는 마스크 접착장치에 관한 것임.
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公开(公告)号：KR1019950019246A
公开(公告)日：1995-07-22
申请号：KR1019930028259
申请日：1993-12-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: F04D29/02
Abstract: 본 발명은 각종 통신시스템, 컴퓨터 등의 냉각에 사용되는 냉각팬에 관한 것으로 내부에 잭을 내장시켜 배선시 편리성을 도모한 컨넥터 내장형 냉각팬에 관한 것이다. 종래의 냉각팬들은 모터에 리드선만 나와있거나 특정단자를 사용하기 때문에 배선이 복작하고 배선의 부피가 커지는 단점이 있었다.
본 고안은 상술한 문제점들을 해소하기 위한 것으로 시스템 공기 냉각방식에 이용되는 냉각팬에 있어서, 상기 냉각팬의 한 모서리에 홈을 형성하여 상기 홈에 체결되되 모터의 리드선과 전원리드선이 연되도록 형성한 컨넥터로 구성하여 배선이 간단한 컨넥터 내장형 냉각팬이다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019940016664A
公开(公告)日：1994-07-23
申请号：KR1019920025336
申请日：1992-12-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 반도체 제조장비의 진공 척상에 웨이퍼를 안전하게 탑재하기 위한 웨이퍼 부상장치에 관한 것이고, 진공 척으로 웨이퍼를 흡착하였을때 웨이퍼의 미세한 변형을 방지하기 위해 웨이퍼를 고정시키기 위한 편평한 구조의 진공 척의 원통면 외곽에 웨이퍼 반송장치의 출입이 용이하도록 진공 척상을 3개의 레버가 반송장치 혹은 진공 척으로 부터 웨이퍼를 받아 상하로 움직일 수 있도록 하는 웨이퍼 부상수단을 구성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 부상장치이다.
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公开(公告)号：KR101191385B1
公开(公告)日：2012-10-15
申请号：KR1020080131590
申请日：2008-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 광전도 안테나에 실리콘 볼렌즈가 일체화된 테라헤르츠파 송수신 모듈 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 실리콘 볼렌즈를 광전도 안테나에 일체화시키고, 실리콘 볼렌즈와 일체화된 광전도 안테나에 집속 렌즈를 정렬시켜 하나의 완전하고 독립된 테라헤르츠파 송수신 모듈을 구현함으로써, 간단한 구조에 의해 테라헤르츠파를 안정적으로 발생시키거나 측정할 수 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따르면 테라헤르츠파 발생 및 측정 시스템의 단순화 및 소형화를 도모할 수 있다.
테라헤르츠파, 광전도 안테나, 실리콘 볼렌즈, 정렬-
公开(公告)号：KR101109667B1
公开(公告)日：2012-01-31
申请号：KR1020080131599
申请日：2008-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H05K1/0201 , H01L2224/48091 , H05K1/181 , H05K2201/10053 , H05K2201/10166 , H05K2201/10522 , H01L2924/00014
Abstract: 본 발명에 따른 전력 소자 패키지는, 퓨즈 대신에 반영구적으로 사용가능한 MIT(Metal-Insulator Transition) 소자를 이용하여 전력 소자의 발열을 제어하면서, 이와 더불어 전력 소자의 상부 일 영역에만 형성된 소형의 방열판을 통해 전력 소자에서 발생된 열을 외부로 방출시키며, 이에 따라 우수한 방열 성능을 갖는다. 따라서, 본 발명에 따른 전력 소자 패키지는 전력 소자를 사용하는 모든 전기 전자회로에 유용하게 활용될 수 있다.
금속-절연체 전이, 전력 트랜지스터 발열 제어, 패키지-
公开(公告)号：KR1020100073019A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR1020080131596
申请日：2008-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01J3/108 , G01J3/02 , G01J3/0208 , Y10T29/49826
Abstract: PURPOSE: A THz wave Tx/Rx module package and a manufacturing method thereof are provided to simply array a silicon ball lens, a photoconductive antenna and a condensing lens to high precision. CONSTITUTION: A silicon ball lens(230) is arranged in the lower of a substrate. A condensing lens(240) condenses a femtosecond laser pulse. A condensing lens arranging device(250) arranges the condensing lens in the active area central part of the photoconductive antenna. Upper and lower fixing parts(260a,260b) open perpendicular upper and lower part of the active area of the photoconductive antenna. Upper and lower covers(270a,270b) shut the opened area of the upper and lower fixing parts.
Abstract translation: 目的：提供一种太赫兹Tx / Rx模块封装及其制造方法，以高精度简单地排列硅球透镜，光导天线和聚光透镜。 构成：硅球透镜（230）布置在基底的下部。 聚光透镜（240）冷凝飞秒激光脉冲。 聚光透镜布置装置（250）将聚光透镜布置在光电导天线的有源区中心部分。 上和下固定部分（260a，260b）垂直于感光天线的有效区域的上部和下部。 上盖和下盖（270a，270b）关闭上固定部分和下固定部分的打开区域。
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