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公开(公告)号：KR1020060078681A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：KR1020040116993
申请日：2004-12-30
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01Q40/00
Abstract: 본 발명은, 팁이 마련된 SPM 캔틸레버를 스캐너가 변위시키고, 위치 감응 검출기가 상기 SPM 캔틸레버에서 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하도록 구성된 채 나노 구조물의 측정 및 조작에 이용되는 주사 탐침 현미경에 관한 것으로서, 종래의 SPM 장비에 쉽게 호환이 가능하면서(compatible) 손쉽게 그리고 정밀하게 SPM 캔틸레버의 강성 보정을 가능케 하는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 본 발명에 주사 탐침 현미경의 보정장치는, 적어도 일 방향의 강성이 미리 결정되어지되, 상기 강성이 상기 SPM 캔틸레버에 의한 하중에 의해 일 방향으로 변위될 수 있도록 정해지는 보정용 구조물과, 상기 SPM 캔틸레버에 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하는 위치 감응 검출기와, 자체의 변위량와 SPM 캔틸레버의 변위량 간의 차에 의해 상기 보정용 구조물의 변위량을 결정해주는 스캐너를 포함한다.
SPM, 캔틸레버, 팁, 보정, 강성, 위치 감응 검출기, 스캐너-
公开(公告)号：KR100567847B1
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：KR1020030035137
申请日：2003-05-31
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 재료 물성 측정 기술에서 모재(substrate)의 영향없이 압입시험기를 이용하여 박막 자체의 물성을 측정하는 방법에 관한 것으로서, 모재 위에 박막을 증착시키는 단계와, 상기 모재의 일부분을 원형 또는 사각형 형상으로 제거하는 단계와, 상기 박막에 압입 시험을 수행하여 변위와 하중을 정밀하게 측정하는 단계와, 상기 측정된 변위와 하중 데이터를 이론식에 적용하여 박막의 물성을 도출하는 단계를 포함하여 구성되므로, 박막을 이용하는 반도체 공정, 바이오 산업, 나노 공정, 공작 기계 제조 등에 손쉬운 박막의 물성 측정 방법을 제공하며, 박막 공정을 기반으로 하는 각종 제품의 설계, 신뢰성 평가 및 제품의 질 향상에 도움을 주는 압입시험기를 이용한 박막의 물성측정 방법을 제공하는 효과가 있다.
압입, 모재, 박막(thin film, membrane), 물성, 측정, 하중,-
公开(公告)号：KR100549281B1
公开(公告)日：2006-02-03
申请号：KR1020030043842
申请日：2003-06-30
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 박막 제조 공정 기술에 필수적인 박막측정방법에 관한 것으로, 복잡한 시편 준비 과정을 거치지 않더라도 압입시험만으로 박막의 두께를 측정하는 방법을 제공하기 위한 것이다. 본 발명은, 절단공정과 같은 복잡한 시편 준비 과정을 거치지 않고, 압입시험을 포함하는 일련의 측정 및 결과 분석 단계를 수행함으로서 달성되어지는데, 첫째, 모재위에 박막이 올려진 형상으로 이루어진 샘플(Sample)에 압입 시험을 수행하는 단계와; 압입 시험중에 박막의 두께 방향으로 발생하는 변위와 하중을 정밀하게 측정하는 단계와; 측정된 변위값과 하중값을 통해 단순화된 모델식과 측정식들을 적용하여 박막의 두께를 판단하는 단계로 수행하게 된다.
압입시험, 박막, 두께측정, 나노, 박막제조,-
公开(公告)号：KR1020050071964A
公开(公告)日：2005-07-08
申请号：KR1020040000376
申请日：2004-01-05
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G01Q60/366 , G01N3/42 , G01N2203/0286
Abstract: 본 발명은 나노 압입 시험 기능을 갖는 원자력 현미경(Atomic Force Microscope, AFM)의 캔틸레버에 관한 것으로서, 나노 압입 시험 시 수평 방향 운동의 보상과 압입 깊이 산출 등의 문제를 해결하여 정확한 물성 측정이 가능한 AFM 캔틸레버를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이러한 목적을 달성하기 위한 일 축 방향으로 압입 시험 기능을 갖는 본 발명의 AFM 캔틸레버는 고정 스테이지에 장착된 일단부와, AFM 팁이 장착된 타단부를 포함하고, 상기 일단부 및 타단부가 위치하는 상기 일 축을 포함하는 어느 한 평면에 대해 대칭인 중공 프레임 형상을 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020020072314A
公开(公告)日：2002-09-14
申请号：KR1020010012083
申请日：2001-03-08
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01B11/00
Abstract: PURPOSE: A thickness and diameter measurement apparatus is provided to achieve improved productivity by continuously and accurately measuring thickness and diameter of a dicing blade. CONSTITUTION: A thickness and diameter measurement apparatus comprises a rotation unit for fixing and rotating a dicing blade(15); a measurement unit support(2) disposed in the vicinity of the rotation unit; capacitance type sensors(19-1,19-2) and laser beam sensors(18-1,18-2) mounted to a transfer unit(11) which is arranged to be movable in forward and rearward directions, to the measurement unit support, wherein the capacitance type sensors and the laser beam sensors detect thickness and diameter of the dicing blade mounted to the rotation unit; a transfer unit mounted to the measurement unit support, and which transfers the capacitance type sensors and the laser beam sensors to the dicing blade; a unit for detecting measurement position and stand-by position of capacitance type sensors and the laser beam sensors; and a carbon brush(17) for forming a current flowing from the capacitance type sensors to the ground.
Abstract translation: 目的：提供厚度和直径测量装置，通过连续且精确地测量切割刀片的厚度和直径来提高生产率。 构成：厚度和直径测量装置包括用于固定和旋转切割刀片（15）的旋转单元; 设置在所述旋转单元附近的测量单元支撑件（2）; 电容式传感器（19-1,19-2）和激光束传感器（18-1,18-2）安装到传送单元（11）上，所述传送单元（11）被布置成在前后方向上可移动到测量单元支撑 其中电容式传感器和激光束传感器检测安装到旋转单元的切割刀片的厚度和直径; 安装到测量单元支撑件的传送单元，并将电容式传感器和激光束传感器传送到切割刀片; 用于检测电容型传感器和激光束传感器的测量位置和待机位置的单元; 以及用于形成从电容式传感器流到地面的电流的碳刷（17）。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101801251B1
公开(公告)日：2017-11-27
申请号：KR1020150104750
申请日：2015-07-24
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명에의한음향포커싱장치는음향수신장치; 다수의음향메타물질; 상기다수의음향메타물질의뒤쪽에위치하는반사판; 을포함하고, 상기다수의음향메타물질은음향을반사할때의위상차가서로다르고, 상기음향수신장치는초점에위치하고, 상기초점은평행하게입사한음향이상기다수의음향메타물질에의해반사된후 생성된음향의합성파의진폭이가장커지는위치인것을특징으로한다. 그결과, 본발명의음향안테나는구조가단순하면서효과적인음향포커싱기능을제공한다.
Abstract translation: 根据本发明的声学聚焦装置包括声学接收器; 多种声学超常材料; 位于多个声学超常材料后面的反射板; 并且其中，所述多个声含银超材料是在反射声音的时间的相位差彼此不同，声音接收装置位于所述焦点，焦点是在平行于入射声波的一个由所述多个声学超材料的反射 所产生的声音的合成波的振幅最大。
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79.发明公开
公开(公告)号：KR1020170115225A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：KR1020160042493
申请日：2016-04-06
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G06K9/00 , A61B5/1172 , H03H7/38
CPC classification number: A61B5/1172 , G06K9/00 , H03H7/38
Abstract: 본발명은초음파의인식율을높이고, 지문인식에대한정밀도를향상시킬수 있는지문인식모듈과, 이것이적용된전자기기, 그리고이를위한음파제어부재의제조방법에관한것이다. 이를위해지문인식모듈은지문이접촉되는접촉부재와, 접촉부재로초음파신호를출력하고접촉부재에서반사되는초음파신호를수신하는트랜스듀서와, 접촉부재와트랜스듀서사이에충진되어접촉부재와트랜스듀서사이에서초음파신호를전달하는임피던스매칭부재와, 접촉부재와트랜스듀서사이에삽입되고임피던스매칭부재가내부에충진되는음파제어부재및 트랜스듀서와전기적으로접속되어수신되는초음파신호에따라지문을감지하는신호처리유닛을포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种文学模块，一种识别超声波的电子设备以及一种用于制造声音控制部件的声音控制部件的制造方法。 为此，所述指纹模块的换能器和输出的超声波信号，以一个接触部件和接触部件，其是指纹之间填充是在接触和接收超声信号从接触构件，所述接触构件和所述换能器接触构件和所述换能器反射的 并且在所述接触部件和所述换能器之间插入有声波控制部件，所述阻抗匹配部件填充在所述换能器的内部，所述换能器电连接到所述超声波信号接收单元， 和一个信号处理单元。
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公开(公告)号：KR1020160080556A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020140192903
申请日：2014-12-30
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은압전소자폴링장치에관한것으로, 진공챔버를이용한압전소자폴링장치와순환팬을이용한압전소자폴링장치로이루어진다. 먼저, 진공챔버를이용한압전소자폴링장치는챔버(100); 챔버(100)의내부에구비되어, 압전소자(A)가상단에위치되는받침부(200); 상기받침부(200)의상측에일정거리이격되어형성되고, 탐침(310)이상기압전소자(A) 방향으로돌출형성되는탐침부(300); 상기챔버(100)와연결되어, 상기챔버(100) 내부의압력을조절하는진공부(400); 및상기탐침부(300) 및받침부(200)와연결되어, 전원을인가하는전원부(500);를포함하여이루어진다. 한편, 순환팬을이용한압전소자폴링장치는챔버(100); 챔버(100)의내부에구비되어, 압전소자(A)가상단에위치되는받침부(200); 상기받침부(200)의상측에일정거리이격되어형성되고, 탐침(310)이상기압전소자(A) 방향으로돌출형성되는탐침부(300); 상기챔버(100)의상단에구비되는순환팬(600); 상기챔버(100)의하단에천공되어형성되는적어도하나이상의제1 순환공(610); 및상기탐침부(300) 및받침부(200)와연결되어, 전원을인가하는전원부(500); 를포함하여이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于极化压电元件的设备，其包括使用真空室的压电元件极化装置和使用循环风扇的压电元件极化装置。 使用真空室的压电元件极化装置包括室（100）; 设置在所述室（100）中并位于压电元件（A）的上端的支撑部分（200）; 探针部分（300），其与所述支撑部分（200）的上侧隔开并且具有朝向所述压电元件（A）突出的探针（310）; 连接到所述腔室（100）以控制所述腔室（100）的内部压力的真空部件（400）; 以及连接到所述探针部分（300）和所述支撑部分（200）以施加电力的电源部分（500）。 此外，使用循环风扇的压电元件极化装置包括室（100）; 设置在所述室（100）中并位于压电元件（A）的上端的支撑部分（200）; 探针部分（300），其与所述支撑部分（200）的上侧隔开并且具有朝向所述压电元件（A）突出的探针（310）; 设置在所述室（100）中的循环风扇（600）; 至少一个第一循环孔（610），其通过对所述腔室（100）的下端进行穿孔而形成; 以及连接到所述探针部分（300）和所述支撑部分（200）以施加电力的电源部分（500）。
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