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公开(公告)号：KR1020120032675A
公开(公告)日：2012-04-06
申请号：KR1020100094125
申请日：2010-09-29
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A differential pressure gauge correction device and a pressure gauge correction device are provided to improve accuracy, enable rapid correction and diagnosis, and measure the pressure difference. CONSTITUTION: A differential pressure gauge correction device comprises a first container(110), a second container(120), a volume modulator(140), and a differential pressure gauge(138). The second container is separated from the first container. The volume modulator is placed on one side of the first container. The differential pressure gauge is connected to the first container and the second container. The volume modulator varies the volume of the first container. The volume modulator corrects the measurement signal of the differential pressure gauge.
Abstract translation: 目的：提供差压计校正装置和压力计校正装置，以提高精度，实现快速校正和诊断，并测量压力差。 构成：差压计校正装置包括第一容器（110），第二容器（120），体积调节器（140）和差压计（138）。 第二容器与第一容器分离。 体积调制器放置在第一容器的一侧。 差压表连接到第一容器和第二容器。 音量调节器改变第一容器的体积。 音量调节器校正差压表的测量信号。
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公开(公告)号：KR1020120032101A
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：KR1020100093538
申请日：2010-09-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A cleaning device for a see-through window, a cleaning method of a see-through window, and a process monitoring method are provided to remove by-products from the inner surface of a see-through window without opening a vacuum vessel. CONSTITUTION: A cleaning device for a see-through window comprises a vacuum vessel(110), a plasma generating unit(126), an electrode(144), and a power source(146). The vacuum vessel comprises a see-through window(142). The plasma generating unit is arranged inside or outside the vacuum vessel and generates plasma inside the vacuum vessel. The electrode is arranged outside the see-through window. The power source applies power to the electrode.
Abstract translation: 目的：提供用于透视窗的清洁装置，透视窗的清洁方法和过程监控方法，以在不打开真空容器的情况下从透明窗的内表面除去副产物。 构成：用于透视窗的清洁装置包括真空容器（110），等离子体产生单元（126），电极（144）和电源（146）。 真空容器包括透视窗（142）。 等离子体发生单元设置在真空容器的内部或外部，并在真空容器内产生等离子体。 电极布置在透视窗外。 电源向电极施加电力。
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公开(公告)号：KR1020100118842A
公开(公告)日：2010-11-08
申请号：KR1020090037752
申请日：2009-04-29
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/32541 , H01J37/32091 , H01J37/32183 , H01J37/32559 , H01J37/32568 , H05H1/46 , H05H2001/4675
Abstract: PURPOSE: An atmospheric pressure plasma apparatus and a contaminant processing apparatus using atmospheric pressure plasma are provided to protect environment by reducing the used amount of water and detergent. CONSTITUTION: A first electrode(14) includes a tapered part(14a) which is symmetric in a first direction. A second electrode(12) is arranged around the tapered part of the first electrode. The second electrode includes a plasma outlet(17) in the first direction. Power supply(18) is in connection with the first electrode. A gap between the tapered part and the second electrode are constant. The gap provides a discharging space(23).
Abstract translation: 目的：提供使用大气压等离子体的大气压等离子体装置和污染物处理装置，通过减少使用量的水和洗涤剂来保护环境。 构成：第一电极（14）包括在第一方向上对称的锥形部分（14a）。 第二电极（12）围绕第一电极的锥形部分设置。 第二电极在第一方向上包括等离子体出口（17）。 电源（18）与第一电极连接。 锥形部分和第二电极之间的间隙是恒定的。 间隙提供放电空间（23）。
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公开(公告)号：KR100926039B1
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：KR1020070115266
申请日：2007-11-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 초정밀 및 고분해능의 테라헤르츠 분광기 및 그 측정방법에 관한 것으로, 펨토초 레이저로 테라헤르츠 주파수 빗살을 형성하여 연속발진 테라헤르츠파의 주파수와 비교 분석하여 주파수를 측정하는 초정밀 및 고분해능의 테라헤르츠 분광기 및 그 측정방법을 제공하는데 그 목적이 있다. 이를 해결하기 위한 수단으로서 본 발명은, 연속발진 테라헤르츠파를 생성하여 샘플(50)에 조사해 주는 제1광원부(10); 테라헤르츠 주파수 빗살을 형성하기 위한 제2광을 조사하는 제2광원부(20); 샘플(50)을 투과한 연속발진 테라헤르츠파와 조사된 제2광에 의해 생성된 테라헤르츠 주파수 빗살을 비교하여 가장 인접한 주파수를 검출하는 검출기(30); 및 이 인접 주파수를 분석하는 분석수단(40);을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
테라헤르츠, 검출기, 티타늄-사파이어 레이저, 후방파 발진관-
公开(公告)号：KR1020090066587A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：KR1020070134192
申请日：2007-12-20
CPC classification number: H01J37/32935
Abstract: A process monitoring apparatus and a monitoring method thereof are provided to perform a process monitoring operation by measuring a surface state of a probe structure, characteristics of plasma, and generation of arcs in case of the change of the surface state of the probe structure. A process monitoring apparatus includes a process chamber, a probe structure(100), a plasma generating unit, and a driving process unit. The process chamber performs a process. The probe structure is arranged in the process chamber. The probe structure includes a probe electrode. The plasma generating unit generates the plasma around the probe structure. The driving process unit extracts a process monitoring parameter by applying an AC voltage having at least two or more fundamental frequencies to the probe structure.
Abstract translation: 提供了一种过程监控装置及其监视方法，用于在探针结构的表面状态发生变化的情况下，通过测量探针结构的表面状态，等离子体的特性和产生电弧来执行过程监控操作。 过程监控装置包括处理室，探针结构（100），等离子体产生单元和驱动处理单元。 处理室进行处理。 探针结构布置在处理室中。 探针结构包括探针电极。 等离子体产生单元围绕探针结构产生等离子体。 驱动处理单元通过向探针结构施加具有至少两个以上基频的AC电压来提取处理监视参数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100523935B1
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：KR1020030091131
申请日：2003-12-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: C23C16/448
Abstract: 본 발명은 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치에 관한 것으로, 밀폐용기에 담긴 전구체 수용액이 최저수위까지 기화됨이 가능하도록 밀폐용기의 내벽면 일측에 근접되게 편중/배치되고 높이방향을 따라 최저수위까지 배관되는 연결관과, 연결관의 하단에 관이음되고, 밀폐용기의 바닥면을 따라 배관되는 기포발생관을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 때 기포발생관은, 바닥면의 내주연을 따라 배관되는 폐곡선 형상, 바닥면을 가로질러 배관되는 직선 형상, 폐곡선 형상 및 폐곡선의 내주연을 가로질러 배관되는 직선 형상 등으로 이루어지는 것이 바람직하며, 그 외주연 상부에 일정간격을 따라 통기구가 형성되어 전구체 수용액의 최저수위에서 그 전반에 걸친 기포발생 및 버블링이 이루어질 수 있다.
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公开(公告)号：KR100494656B1
公开(公告)日：2005-06-13
申请号：KR1020030055644
申请日：2003-08-12
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/35
Abstract: 본 발명은 유기금속화학증착 공정을 위한 전구체 변질 진단장치 및 진단방법에 관한 것으로, 운반기체가 담긴 봄베; 일측이 봄베에 배관된 제 1파이프; 액상의 유기금속 전구체가 담기고, 운반기체가 유기금속 전구체를 버블링하여 기화하도록 제 1파이프의 타측이 유기금속 전구체에 수장되어 배관되는 용기; 일측이 유기금속 전구체의 수면 위에 배치되게 용기에 배관되어 유기금속 전구체 및 운반기체가 이송되는 제 2파이프; 제 3파이프의 타측이 배관되고 유기금속 전구체로 화학증착 공정이 수행되는 반응로; 제 2파이프 및 제 3파이프에 주입파이프 및 배출파이프로 배관되어 유입되는 유기금속 전구체를 분광하고 반응로에 배출하는 분광수단; 분광수단에 전기적으로 연결되어 전송되는 분광 데이터를 기초로 최강분자결합 대비 최약분자결합의 분광도 피크 면적비를 연산하고 설정된 기준 면적비와 비교 처리하는 컴퓨터; 기준 면적비 이하의 피크 면적비 도출에 따라 알람음향이 방출되도록 컴퓨터에 전기적으로 연결되는 알람발생기;를 포함하여 구성되어 운반 도중의 전구체를 적외선 분광/분석하여 변질됨이 판단됨에 따라 알람방출하는 것을 특징으로 한다. 이 때 분광수단은, 적외선 분광분석기인 것이 바람직하다.
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78.发明公开
公开(公告)号：KR1020050017987A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：KR1020030055644
申请日：2003-08-12
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/35
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for diagnosing a precursor transmutation for an organic metal chemical vapor deposition process are provided to preliminarily diagnose the precursor transmutation by connecting an infrared spectrophotometer to a reactor. CONSTITUTION: An apparatus for diagnosing a precursor transmutation includes a bombe(100) for receiving a carrier gas(100a). One side of a first pipe(110) is connected to the bombe(100). A vessel(200) is provided to receive a liquid metal organic precursor(200a) therein. The vessel(200) is connected to other side of the first pipe(110) in such a manner that the carrier gas(100a) vaporizes the liquid metal organic precursor(200a) by bubbling the metal organic precursor(200a). A second pipe(210) is connected to the vessel(200) in such a manner that one side of the second pipe(210) is arranged on a surface of the metal organic precursor(200a), and the metal organic precursor(200a) and the conveying gas(100a) are conveyed through the second pipe(210).
Abstract translation: 目的：提供用于诊断有机金属化学气相沉积工艺的前体变换的装置和方法，以通过将红外分光光度计连接到反应器来预先诊断前体变换。 构成：用于诊断前体变换的装置包括用于接收载气（100a）的炸弹（100）。 第一管（110）的一侧连接到炸弹（100）。 提供容器（200）以在其中容纳液态金属有机前体（200a）。 容器（200）以这样的方式连接到第一管道（110）的另一侧，使得载气（100a）通过鼓泡金属有机前体（200a）来蒸发液态金属有机前体（200a）。 第二管（210）以这样的方式连接到容器（200），即第二管（210）的一侧布置在金属有机前体（200a）的表面上，金属有机前体（200a） 输送气体（100a）通过第二配管（210）输送。
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公开(公告)号：KR101916029B1
公开(公告)日：2018-11-07
申请号：KR1020170112556
申请日：2017-09-04
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H05H1/46
Abstract: 본발명은플라즈마활성종발생장치에관한것으로, RF 전력공급부, 가스공급부, RF 전극, 바이어스전극을구비하여플라즈마를발생시키는대기압플라즈마발생부; 상기대기압플라즈마발생부로부터발생되는하전입자와활성종이혼재된플라즈마로부터하전입자의확산을방지하고활성종의확산을통하여활성종을추출하는활성종추출부;를포함하고, 상기활성종추출부는상기대기압플라즈마발생부의쉬스길이보다작은직경의홀을갖도록형성되어상기활성종추출부의홀 내부에서플라즈마발생을방지하는것을특징으로한다.
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