公开(公告)号：CN108140558A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201780001245.8

申请日：2017-05-12

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 山田章夫 ,  大川达朗 ,  黑川正树

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种向产生多个带电粒子束的多个柱部分配电子束控制数据的曝光装置及曝光数据结构。本发明提供一种曝光装置以及这种曝光装置用的曝光数据结构及电子束控制数据的创建方法，所述曝光装置包括：多个柱部，产生沿第一方向排列的多个带电粒子束；柱控制部，单独控制带电粒子束的照射时刻；转换部，以描述器件图案的配置坐标的设计数据为基础转换成曝光数据，所述曝光数据由具有个带电粒子束的宽度并沿第二方向延伸的带状区域进行而成的第二数据和基于第一方向的位置指定该第二数据的第一数据构成；第一存储部，存储曝光数据；以及分配部，依照曝光顺序重构曝光数据并分配给各个柱部。

公开(公告)号：CN104932569B

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201410475373.4

申请日：2014-09-17

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 佐佐木博孝 ,  山下毅 ,  増田登

IPC: G05D23/00

CPC classification number: G01R31/2875 ,  G01R31/28 ,  G01R31/2851

Abstract: 阀的数量增加会导致构成及控制变得复杂。本发明的温度控制装置为控制设备的温度的温度控制装置，其包含：热交换部，其与所述设备之间进行热交换；主流路，其流动流体；次流路，其流动温度与在所述主流路中流动的流体不同的流体；混合流路，其使来自所述主流路及所述次流路的流体合流而流向所述热交换部；及流量调整部，其调整从所述次流路流向所述混合流路的流体相对于在所述主流路中流动的流体的混合量。

公开(公告)号：CN106098519B

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201610096405.9

申请日：2016-02-22

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 山田章夫 ,  濑山雅裕 ,  那须野秀树

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3045 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2025 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/31766 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本发明使用带电粒子束使平台的移动误差降低而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置具备：射束产生部，产生带电粒子束；平台部，搭载样品，并使该样品相对于射束产生部相对性地移动；检测部，对平台部的位置进行检测；预测部，基于平台部的检测位置而生成预测平台部的驱动量所得的预测驱动量；及照射控制部，基于预测驱动量而进行向样品照射带电粒子束的照射控制。

公开(公告)号：CN107017142A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201610958663.3

申请日：2016-10-28

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 阿部智彦 ,  小岛真一

IPC: H01J37/07 ,  H01J37/141 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/14 ,  H01J37/141 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/31774 ,  H01J37/07 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/1405

Abstract: 本发明的目的在于提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置、以及带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置。提供一种带电粒子束透镜装置，具备：透镜部，形成在使带电粒子束通过的贯通孔的周围，且使带电粒子束收束或扩散；及支撑部，包围透镜部的外周；透镜部的与支撑部相接的外周部分及支撑部的与透镜部相接的内周部分的至少一者具有用来使冷却用流体沿着透镜部的外周流动的槽部。由此，能够提供小型且分辨率较高的带电粒子束透镜装置。

公开(公告)号：CN105739246A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201510673307.2

申请日：2015-10-16

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 山田章夫 ,  菅谷慎二 ,  黑川正树 ,  濑山雅裕

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明组合光曝光技术及带电粒子束曝光技术而形成复杂且微细的图案。本发明提供一种曝光装置及曝光方法，该曝光装置对与试样上的线图对应的位置照射带电粒子束，且具备：射束产生部，在线图的宽度方向上产生照射位置不同的多个带电粒子束；扫描控制部，使多个带电粒子束的照射位置沿着线图的长度方向扫描；选择部，在线图上的长度方向的被指定的照射位置选择多个带电粒子束中的至少一个带电粒子束，使其应照射至所述试样；以及照射控制部，控制将所选择的至少一个带电粒子束照射至试样。

公开(公告)号：CN102197313B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN200980142610.2

申请日：2009-10-15

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 安高刚 ,  小岛昭二

IPC: G01R31/28

CPC classification number: G01R31/2874

Abstract: 设置有彼此相对配置的第1测试基板及第2测试基板；设置在所述第1测试基板中的与所述第2测试基板对着的面上，测试被测试器件的第1测试电路；设置在第2测试基板中的与第1测试基板对着的面上，测试被测试器件的第2测试电路；通过密闭第1测试基板及第2测试基板之间的空间，将第1测试电路及第2测试电路密闭在共同的空间内，且在共同的空间填充冷却材料的密闭部。

公开(公告)号：CN105045747A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201510159277.3

申请日：2015-04-03

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 加藤隆志

IPC: G06F13/40

CPC classification number: H04B1/0475 ,  H04L25/022 ,  H04L25/03885

Abstract: 本发明的目的在于利用简易的构成来补偿基于传送路径的高频的衰减特性的波形的劣化。本发明提供一种补偿电路、信息处理装置、及补偿方法，所述补偿电路连接在传送路径来补偿在传送路径传送的传送信号的损耗，且具备使特性阻抗变化的多个变化点，将通过多个变化点产生的传送时间互不相同的多个反射波重叠于传送信号而对传送信号的波形进行整形。

公开(公告)号：CN104932569A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201410475373.4

申请日：2014-09-17

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 佐佐木博孝 ,  山下毅 ,  増田登

IPC: G05D23/00

CPC classification number: G01R31/2875 ,  G01R31/28 ,  G01R31/2851

Abstract: 阀的数量增加会导致构成及控制变得复杂。本发明的温度控制装置为控制设备的温度的温度控制装置，其包含：热交换部，其与所述设备之间进行热交换；主流路，其流动流体；次流路，其流动温度与在所述主流路中流动的流体不同的流体；混合流路，其使来自所述主流路及所述次流路的流体合流而流向所述热交换部；及流量调整部，其调整从所述次流路流向所述混合流路的流体相对于在所述主流路中流动的流体的混合量。

公开(公告)号：CN103135049B

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201210495123.8

申请日：2012-11-28

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 丰田拓也

IPC: G01R31/3183

CPC classification number: H04L43/50 ,  G01R29/26 ,  G01R31/318307 ,  G01R31/31908 ,  G01R31/31919

Abstract: 本发明提供一种测试图形生成装置，用于生成与具有多个管脚的被测器件之间进行通信的测试图形，其包括：图元生成部，用于基于用户的指示，生成在基本周期中表示在各个多个管脚之间进行通信的信号图形的周期图元；器件周期生成部，用于基于用户的指示，排列多个周期图元，生成表示多个基本周期内的信号图形的器件周期；序列生成部，用于基于用户的指示，排列多个器件周期，生成提供给被测器件的测试图形的序列。该装置使并不详细了解测试装置的硬件规格和测试装置用的程序语言的用户也能容易地生成测试图形。

公开(公告)号：CN102565649B

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201110403994.8

申请日：2011-12-07

Applicant: 爱德万测试株式会社

Inventor： 桥本健司

IPC: G01R31/14

CPC classification number: G01R31/2621 ,  G01R31/025

Abstract: 本发明提供一种测试被测试器件的测试装置，其在测试异常时高速地截止提供给被测试器件的电源。所述测试装置包括，电源部，其产生提供给被测试器件的电源电压；感应负载部，其设置在电源部和被测试器件之间的路径上；多个半导体开关，其串联连接在感应负载部和被测试器件之间的路径上；控制部，其在截止向被测试器件提供电压时，断开多个半导体开关。