비파괴 판독형 비휘발성 강유전체 메모리의 쓰기 신호오류 방지 회로 및 방지 방법
    81.
    发明授权
    비파괴 판독형 비휘발성 강유전체 메모리의 쓰기 신호오류 방지 회로 및 방지 방법 失效
    비파괴판독형비휘발성강유전체메모리의쓰기신호오류방지회로및방지방

    公开(公告)号:KR100447790B1

    公开(公告)日:2004-09-08

    申请号:KR1020010076301

    申请日:2001-12-04

    Abstract: PURPOSE: A write signal error protection circuit of a non destructive readout ferroelectric random access memory and a method for preventing the same are provided to effectively remove the write errors caused by a bitline charged by the write operation before the write operation by using the change of the address signal. CONSTITUTION: A write signal error protection circuit of a non destructive readout ferroelectric random access memory(NDRO-FRAM) includes a switch(30) for outputting a plurality of voltages by receiving an address signal, wherein each of the voltages has a different value each other, and a discharging nMOSFET(31) for discharging the electrical charges in the write bit line in response to the voltage.

    Abstract translation: 目的:提供一种非破坏性读出铁电随机存取存储器的写入信号错误保护电路及其防止方法,以在写入操作之前通过使用改变的写入操作来有效地消除由写入操作充电的位线所引起的写入错误 地址信号。 一种非破坏性读出铁电随机存取存储器(NDRO-FRAM)的写入信号错误保护电路包括一个开关(30),用于通过接收一个地址信号输出多个电压,其中每个电压具有不同的值 其他的放电nMOSFET(31),响应于该电压,使写入位线中的电荷放电。

    고유전체 커패시터의 제조방법
    84.
    发明公开
    고유전체 커패시터의 제조방법 失效
    制造高介电常数电容器的方法

    公开(公告)号:KR1019950021468A

    公开(公告)日:1995-07-26

    申请号:KR1019930027657

    申请日:1993-12-14

    Inventor: 김용태 이창우

    Abstract: 본 발명은 실리콘 반도체 기억소자 및 갈륨비소화합물 반도체 소자의 고유전체 커패시터 제조방법에 관한 것이다.
    본 발명은 기판전극으로 텅스텐질화막/텅스텐막을 사용하거나 텅스텐막/백금, 텅스텐질화막/백금, 텅스텐질화막/텅스텐막/백금을 사용하고 그 위에 스퍼터링 또는 화학증착법으로 600~700℃에서 1~2시간 동안 BaTiO
    3 , PbTiO
    3 및 Zr, Ln, Mg, Nb 등이 첨가된 BaTiO
    3 , PbTiO
    3 을 증착하여 고유전체박막을 형성하는 과정으로 이루어진다.
    본 발명은 종래의 고유전체 캐피시터의 구조에서 기판전극의 재료와 구성을 변화시킴으로서 고유전체 커패시터 물리·전기적 특성을 향상시킨 효과가 있다.

    램프가열 및 회전식 기판을 이용한 박막제조방법 및 장치

    公开(公告)号:KR1019950020986A

    公开(公告)日:1995-07-26

    申请号:KR1019930028840

    申请日:1993-12-21

    Inventor: 김용태 이창우

    Abstract: 본 발명은 금속, 반도체, 유전체박막등을 증착할 때 램프가열 장치와 회전식 기판을 이용하여 동일 진공반응로 내에서 증착과 열처리를 연속적으로 수행할 수 있도록 한 박막제조방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명은 반응기의 일측에 설치된 램프가 열장치의 빛을 이용하여 시편의 온도를 증착에 필요한 온도에 맞춘 후 램프가열장치의 반대편에 위치하는 전구체 확산판을 통해 시편측으로 반응물질을 분사시켜 시편의 표면에 박막의 증착이 이루어지도록 한 다음 회전식 기판을 구동하여 시편을 180° 회전시킨 상태에서 램프가열장치의 빛이 박막에 직접 쪼이도록 해서 박막의 열처리를 수행하도록 구성되어 있다. 본 발명은 박막의 증착공정 및 열처리 단계가 단일 진공반응기중에서 연속적으로 수행됨에 의해 증착된 박막의 결정성과 물리적 특성의 향상이 가능하고 증착 및 열처리의 반복수해에 의한 다층구조의 박막증착이 가능하다는 장점이 있다.

    텅스텐 박막 제조용 플라즈마 화학증착 온도 측정장치
    87.
    发明授权

    公开(公告)号:KR1019930006305B1

    公开(公告)日:1993-07-12

    申请号:KR1019910011617

    申请日:1991-07-09

    Inventor: 민석기 김용태

    CPC classification number: C23C16/5096 C23C16/46

    Abstract: The apparatus for forming tungsten films at low temperature, comprises 2 temp. measuring silicone wafers (5)(5') placed on a heating plate (4) together with a tungsten film-forming silicone wafer, themocouples (7)(7') contacted with grooves (5a')(5a") of the measuring wafers, and microwave field protecting tubes (6)(6') elogated to the outside and contacted with the earth.

    Abstract translation: 在低温下形成钨膜的装置包括2温度。 将测量硅片(5)(5')与成膜硅胶晶片一起放置在加热板(4)上,与测量的沟槽(5a')(5a“)接触的电偶(7)(7') 晶片和微波场保护管(6)(6')(6')延伸到外部并与地球接触。

    상변화 메모리 소자 및 이의 제조방법
    88.
    发明公开
    상변화 메모리 소자 및 이의 제조방법 有权
    相变存储器件及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020150042654A

    公开(公告)日:2015-04-21

    申请号:KR1020130121591

    申请日:2013-10-11

    Abstract: 상변화메모리소자및 이의제조방법이제공되고, 본발명의일 구현예에서상변화메모리소자는기판, 상기기판위에위치하는하부전극, GeBiSbTe, GeBiSnTe, GeBiSeTe, InBiSbTe, InBiSnTe, 또는 InBiSeTe 중어느하나이상을포함하는 4원소계상변화물질층, 그리고상기 4원소계상변화물질층위에위치하는상부전극을포함할수 있다.

    Abstract translation: 提供一种相变存储器件及其制造方法。 根据本发明的一个实施例,相变存储器件包括衬底,位于衬底上的底电极,包含GeBiSbTe,GeBiSnTe,GeBiSeTe,InBiSbTe,InBiSnTe或InBiSeTe的基于4元素的相变材料层 ,以及位于基于4元素的相变材料层上的顶部电极。

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