Abstract:
본 발명은 탄소나노튜브를 이용한 가스센서 제작 및 가스 감도 측정 장치를 제공하는 것에 관한 것이다. 가스센서 제작에 있어서, 가스 감지물질은 탄소나노튜브 페이스트를 제작하여 양 끝단에 전극이 형성된 기판에 스크린 인쇄(screen printing)법으로 탄소나노튜브를 도포 후 열처리공정을 거친 후 탄소나노튜브 후막을 형성하였고, 상기 제작된 후막을 탄소나노튜브 수직 배향처리 시켰다. 가스 감도 측정 장치를 이용하여 상기 제작된 수직 배향된 탄소나노튜브를 가스 흡착시켰고, 전자방출(field electron emission) 현상을 적용시켜 흡착된 가스를 탈착시켰다. 따라서, 본 발명은 기존의 반도체형 가스센서보다 단순한 공정으로 가스 감지막을 제작하여 흡착된 가스를 히터물질로 온도를 올려 탈착 시키는 것이 아니라 새로운 방법인 탄소나노튜브 전자방출 현상을 적용시켰다. 탄소나노튜브, 가스센서, 가스감도, 전자방출
Abstract:
본 발명은 세포를 손상 없이 효율적으로 분리할 수 있는 세포 분리 장치에 관한 것으로, 특히, 초음파장 및 진행파 유전영동을 이용하여 세포의 선별 및 분리를 수행하는 초미세 세포 분리 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 초음파장 및 진행파 유전영동을 이용한 세포 분리 장치에 의하면, 별도의 채널을 이용하지 않고 평면상에서 세포를 이송하므로, 채널로 인한 초음파장의 형성의 방해를 없앨 수 있으며, 세포에 대한 손상이 전혀 발생하지 않는다. 또한, 유체의 이동 없이 세포만 이동시키므로, 세포 이송 및 분리의 효율이 높다. 또한, 세포 분리 과정을 CCD 카메라 등을 통해 관찰하면서, PID 제어를 수행함으로써 보다 효과적으로 세포 분리를 할 수 있다. 또한, 본 발명에 의해 세포를 오염 물질 등으로부터 효과적으로 분리하거나 새로운 랩 온 칩(Lab On a Chip) 시스템을 생성할 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: An optical system for a fluorescent measurement unit is provided to prevent light from being detected through an optical sensor by shielding light radiated from a light source using first and second shielding films. CONSTITUTION: An optical system for a fluorescent measurement unit includes a light source(110) for radiating light and a first shielding film(220) formed with an opening(221) so as to allow light radiated from the light source(110) to partially pass through the shielding film(220). A band pass filter(120) is provided to allow light having a predetermined frequency to pass through. Light passing through the first shielding film(220) and the band pass filter(120) are focused by a first lens(130). Light passing through the first lens(130) is radiated onto a test sample(172) contained in a channel(173).
Abstract:
A fabrication method of metallic nanowires includes the steps of: forming a layer of autocatalytic metal with a thickness of 30 nm-1000 nm on the surface of a substrate; and forming nanowires on the front surface of the layer of autocatalytic metal, wherein the substrate is put into an evaporator and the layer of autocatalytic metal is grown by autocatalytic reaction for 10~5000 seconds. A large amount of nanowires can be grown on a substrate without a lithography process.
Abstract:
본 발명은 전기장 발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래의 전기장 발광소자는 하부 절연층으로 비정질 또는 다결정 BaTiO 3 를 사용하여 하부 절연층을 증착한 이후의 공정에서 고온을 사용하는 경우 그 특성이 열화되어 누설전류가 증가되고, 항복 전기장강도가 저하되어 전기장 발광소자의 구동을 목적으로 전기장을 인가하는 경우 그 전기장 발광소자가 쉽게 파괴되는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 하부 절연층을 유전상수값이 큰 다결정 BaTiO 3 와 절연특성이 우수한 비정질 BaTiO 3 를 적층하여 형성함으로써, 휘도의 포화가 일어나는 고전압에서도 파괴되지 않고 안정된 동작을 하는 효과와 아울러 그 휘도특성이 우수하여 저전압에서 사용이 가능한 효과가 있다.
Abstract:
본 발명은 전기장발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래의 전기장발광소자는 인가되는 전기장의 세기에 비해 발광층의 내부로 주입되는 전자의 수가 적어 휘도특성 및 발광효율이 저하되는 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 감안한 본 발명은 발광층과 절연층의 사이에 계면구조물을 삽입하여 화소 면적의 변화없이 발광층과 절연층의 사이의 계면의 표면적을 증가시킴으로써, 전기장발광소자의 휘도와 발광효율을 증가시키는 효과가 있다.
Abstract:
본 발명은 전자선 증착된 막이나 스퍼터링된 막을 중간 삽입층로 이용하여 실리콘 직접 접합 공정과, 이러한 직접 접합 공정을 이용하여 소자를 진공 실장하는 공정 및 실리사이드 제조 공정에 관한 것이다. 본 발명에 의할 경우, 종래 직접 접합 방법으로 접합할 수 없었던 금속 등의 막이나 실리콘 기판이 아닌 유리 기판 등의 다른 기판에 대해서도 접합이 가능하고, 이러한 직접 접합 방법을 이용하여 고진공을 요하는 진공 소자를 진공 실장할 수 있으며 또한, 내화성 금속 실리사이드를 산화되지 않게 형성할 수 있는 장점이 있다.
Abstract:
본 발명은 물리증착(physical vapour deposition : PVD)법에 의해 제조된 전계방출소자용 발광체 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유리기판 상에 물리적증착법으로 ZnO:Zn 발광박막을 형성한 뒤 상기 ZnO:Zn 박막 표면에 도전성박막을 코팅하여 발광체 제조를 완료하므로써, 1) 발광막의 두께와 발광체의 열처리 온도 및 분위기 변화를 통하여 에미터의 동작 특성에 맞는 발광문턱과 여러계조의 휘도 및 발광색을 일정 범위내에서 변화시킬 수 있으며, 2) 공정이 용이하고 공정 단가가 낮은 물리증착법(예컨대, 스퍼터법이나 증착법)을 통하여 초박막 상태로도 결정성이 뛰어난 발광막을 얻을 수 있게 되어 고해상도를 요하는 대면적 전계방출소자에 적용할 수 있다는 이점을 갖는다.