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公开(公告)号：KR101172028B1
公开(公告)日：2012-08-07
申请号：KR1020100030186
申请日：2010-04-02
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/382 , H01L21/78
Abstract: 본 발명은 기판 절단 방법에 관한 것으로, 절단하고자 하는 기판의 패턴에 따라 절단패턴이 형성된 제 1박판을 준비하는 단계, 준비된 상기 제 1박판을 기판의 절단면과 접하도록 위치시키는 단계, 상기 제 1박판이 위치된 기판의 반대면으로 제 1박판과 자력으로 압착될 수 있도록 제 2박판을 위치시키는 단계, 상기 제 1박판의 절단패턴을 따라 레이저를 이용하여 기판을 절단하는 단계 및 절단 후 제 1박판과 제 2박판을 제거하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 기판의 절단과정에서 발생하는 입자와 파편이 기판의 표면에 부착되는 것을 방지한다.
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公开(公告)号：KR101164418B1
公开(公告)日：2012-07-12
申请号：KR1020100057009
申请日：2010-06-16
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B26F3/00 , B26F3/06 , B23K26/382 , H01S3/10
Abstract: 본 발명은 토초 펄스 레이저의 비선형 초점이동을 통한 절단방법에 관한 것으로, 펨토초 펄스 레이저를 이용한 절단방법에 있어서, 펨토초 펄스 레이저를 가공물에 조사하여 다중광자이온화(Multi-Photon Ionization)를 기반으로 플라즈마 디포커싱(Plasma Defocusing)에 의해 개질영역을 형성시키고, 여기서 형성된 상기 개질영역과 플라즈마 디포커싱 현상에 의한 레이저의 공간적 집속을 방해시켜 상기 펨토초 펄스 레이저의 초점을 가공물 깊이 방향으로 이동시키면서 개질영역을 길어지게 형성하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 비선형 초점이동을 통해 기존 필라멘트 기반에서는 가공이 불가능한 얇은 투명재료에 효율적인 절단 및 가공이 가능한 이점이 있다.
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公开(公告)号：KR1020120053710A
公开(公告)日：2012-05-29
申请号：KR1020100114969
申请日：2010-11-18
Abstract: PURPOSE: A surface shape measuring apparatus is provided to diminish a light saturation and light shortage when detecting light amount because the light amount irradiating to a sample having a different reflectivity is controlled on a pixel basis through a SLM(Spatial Light Modulator). CONSTITUTION: A surface shape measuring apparatus(100) comprises a light source(110), a SLM(120), a photodetector(130), and a control unit(140). The light source irradiates the light to a sample. The SLM is arranged in the optical path between the light source and sample. The SLM spatially controls amount of the light irradiated on the specimen on a pixel unit basis. The photodetector detects the light reflected from a sample. The control unit irradiates the lights to the sample by controlling the light amount by the SLM and detects the lights reflected from the sample.
Abstract translation: 目的：提供一种表面形状测量装置，用于在检测光量时减少光饱和度和光不足，因为通过SLM（空间光调制器）以照射像素为基础照射具有不同反射率的样品的光量。 构成：表面形状测量装置（100）包括光源（110），SLM（120），光电检测器（130）和控制单元（140）。 光源将光照射到样品上。 SLM布置在光源和样品之间的光路中。 SLM以像素单位空间地控制照射在样本上的光的量。 光电检测器检测从样品反射的光。 控制单元通过SLM控制光量将光照射到样品，并检测从样品反射的光。
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公开(公告)号：KR1020110139007A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：KR1020100059233
申请日：2010-06-22
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B23K26/55 , H01S3/10 , H01L21/304 , C03B33/09
Abstract: PURPOSE: A method for cutting for nano-void array forming by femtosecond laser is provided to improve the cutting and processing efficiency of a transparent material by forming nano-void array using femtosecond laser. CONSTITUTION: A method for cutting for nano-void array forming by femtosecond laser comprises next steps. A pole first grade femtosecond laser is condensed to a condensing lens(120) and radiates laser beam to a transparent material or substrate. The plasma defocusing is performed by multi-photon ionization. Self focusing is performed due by Kerr Lens. Nano-Void Array(210) is formed on a substrate and cut. The energy per pulse has the energy value on the substrate in order to become over the threshold energy 0.2uJ for the void formation.
Abstract translation: 目的：提供一种通过飞秒激光切割纳米空心阵列形成的方法，通过使用飞秒激光形成纳米空穴阵列来提高透明材料的切割和加工效率。 构成：通过飞秒激光切割纳米空穴阵列形成的方法包括以下步骤。 极点一级飞秒激光被聚光到聚光透镜（120），并将激光束辐射到透明材料或基底。 等离子体散焦通过多光子电离进行。 由柯尔镜头进行自动对焦。 将纳米空心阵列（210）形成在基板上并切割。 每个脉冲的能量在衬底上具有能量值，以便对于空隙形成而超过阈值能量0.2uJ。
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公开(公告)号：KR101085061B1
公开(公告)日：2011-11-18
申请号：KR1020090030379
申请日：2009-04-08
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01B9/0201 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02076 , G01B9/02084 , G01B2290/35 , G01B2290/70
Abstract: 본 발명은 고속카메라와 연속위상주사 방법을 이용한 진동둔감 간섭계에 관한 것으로, 외부에서 발생되는 진동에 의한 영향을 주파수 영역에서 완벽히 고립시킴으로써 측정대상물을 측정하는 간섭계에 있어서, 광을 출사하는 광원부, 상기 광원부에서 출사되는 광을 측정대상물에 조사시키고, 여기서 반사되는 광을 기준광과 측정광으로 분할한 후 이를 다시 간섭시켜 간섭무늬를 생성시키는 광전달부, 상기 광전달부에서 분할된 기준광을 연속적인 위상주사를 통해 주사하는 연속위상주사부 및 상기 광전달부를 통해 조사된 측정광과 상기 연속위상주사부를 통해 조사된 기준광에 의해 생성된 간섭무늬를 획득하는 고속카메라를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 시스템 구성측면이나 해석 알고리즘 측면에서 매우 간소화할 수 있으며, step형태의 위상천이 방법에서 나타나는 비선형오차 및 측정 속도의 문제점을 해소할 수 있다.
진동둔감, 연속 위상 주사, 공통 경로, 고속 카메라, 간섭계-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100939679B1
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：KR1020070128007
申请日：2007-12-11
Abstract: 본 발명은 자동 초점 조절 수단으로서 레이저 스팟 간의 간격 거리를 제 1 차 수단으로 사용하고, 레이저 스팟의 형상은 제 2 차 수단으로 채용함으로써, 검사 시편에 의해 발생될 수 있는 패턴 영향, 난반사 문제에 유연하게 대응하여 자동 초점 조절을 수행할 수 있고, 정확히 측정된 좌표값을 근거로 하여 산출된 길이 데이터를 제 1 차 초점 조절 수단으로 이용하여 정확한 자동 초점 조절이 가능한 자동 초점 조절 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 자동 초점 조절 장치는 레이저 광 출력부, 시준 렌즈, 핀홀, 회절 격자, 집광 렌즈, 광 분할기, 대물 렌즈, 원기둥 렌즈 및 광 검출기로 구성된 광학 시스템과 상기 광 검출기에 검출된 레이저 광선 스팟의 형상 및 스팟 간의 거리를 판독하는 연산 장치와; 초점이 맞을 경우의 스팟 간의 간격 거리값 (기준값)이 저장되는 기억 매체와; 새로운 검사 시편 로딩 시 검출된 형상 및 스팟 간의 거리를 상기 기억 매체에 저장된 기준값과 비교하여 초점이 맞을 때의 형상 및 스팟 간의 거리를 유지하도록 제어하는 제어 장치; 및 상기 제어 장치에 의한 제어 신호에 따라 구동되는 구동 모터를 포함하도록 구성되어 있다.
자동 초점 조절-
公开(公告)号：KR1020090061138A
公开(公告)日：2009-06-16
申请号：KR1020070128007
申请日：2007-12-11
CPC classification number: G02B27/40 , G02B7/04 , G02B21/245 , G11B7/0908 , H04N5/232
Abstract: An auto focusing apparatus and a method thereof are provided, which perform the auto focusing by flexibly coping with the diffuse reflection problem and the pattern influence generated by the inspection specimen. An auto focusing apparatus(120) comprises the laser beam output part(10), the diffraction grating(40), the beam splitter(60), the objective lens(70), cylindrical lenses, the convex lens(100), the optical detector(110), arithmetic and logic unit, the storage media, the control device, and the drive motor. In the laser beam output part, the circular laser beam controlling the quantity of light is outputted. The diffraction grating radially divides the laser into a plurality of rays. The beam splitter makes the divided light ray incident in the specimen(80). The convex lens gathers the light passing through the cylindrical lens to the domain of the optical detector. The drive motor is driven according to the control signal by the control device.
Abstract translation: 提供了一种自动对焦装置及其方法，其通过灵活地应对由检查样本产生的漫反射问题和图案影响来执行自动聚焦。 自动聚焦装置（120）包括激光束输出部分（10），衍射光栅（40），分束器（60），物镜（70），柱面透镜，凸透镜（100） 检测器（110），算术和逻辑单元，存储介质，控制装置和驱动电机。 在激光束输出部中，输出控制光量的圆形激光束。 衍射光栅将激光器径向地分成多个射线。 分束器使分离的光线入射到样品（80）中。 凸透镜将通过柱面透镜的光聚焦到光学检测器的区域。 驱动电机根据控制装置的控制信号进行驱动。
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公开(公告)号：KR100602915B1
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：KR1020040051788
申请日：2004-07-03
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 공초점 원리를 이용한 현미경 자동초점조절장치에 관한 것으로, 전통적인 공초점 현미경 구조에서 사용된 핀홀을 단일모드 광섬유로 대체함으로써 시스템 구성을 단순화하면서, 광원과 검출기의 역할이 하나의 광섬유로 통합되는 상반구성을 적용함으로써 광축 정렬의 어려움을 크게 해소함과 동시에, 광원변조 방법을 이용한 초점오차신호 획득을 통해 초점위치 검출을 위한 광축 주사과정을 제거하면서 대물렌즈 변조 방법에 비해 시스템에 미치는 물리적 영향을 최소화한 초점조절을 수행하는 것을 그 특징으로 한다.
공초점 현미경, 초점조절, 단일모드 광섬유, 광원변조-
公开(公告)号：KR1020060017143A
公开(公告)日：2006-02-23
申请号：KR1020040065700
申请日：2004-08-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B9/02
Abstract: 본 발명은 진동에 둔감한 간섭계에 관한 것으로, 측정물체의 진동이 기준파면과 측정파면에 공통적으로 존재함으로써 움직이는 물체의 형상을 안정적으로 측정할 수 있으며, 기준면으로 인해 생성되는 오차를 없애기 위해 단일모드 광섬유에서 조사되는 구면파를 직접 기준파면으로 사용함으로써 시스템 오차를 최소화 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 장치는 정밀한 측정을 위한 공간위상천이 장치가 구비되며, 실시간으로 측정대상 물체의 임의 형상을 측정할 수 있다.
간섭계, 광섬유, 공간위상천이,-
公开(公告)号：KR100470933B1
公开(公告)日：2005-03-08
申请号：KR1020020002306
申请日：2002-01-15
IPC: G01B9/02
Abstract: 본 발명은 물체의 표면 형상 측정에 이용되는 위상천이 점회절 간섭계에 관한 것으로, 특히 레이저 발생장치(11)에서 출사된 단색광의 광량을 조절하는 ND (Neutral Density) 필터(13)와; 상기 ND 필터(13)에 의해 광량이 조절된 단색광을 분기시켜 측정파면을 형성하기 위한 측정 광섬유(measurement fiber)(18)와 기준파면을 형성하기 위한 기준 광섬유(reference fiber)(19)의 일측 단부로 각각 입사시키는 광분할기(14)와; 상기 기준 광섬유(19)가 소정횟수 권선되어 있으며 수축 및 팽창에 따라 상기 기준 광섬유(19)를 인장시켜 광경로의 변화를 통해 위상천이를 실현하는 튜브형 압전소자(20)를 구비하되; 상기 측정물(22)에 대향되는 측정 광섬유(18)의 단부는 경사지게 형성되어 있으며, 상기 광섬유(18)의 경사단면은 광섬유(18)에서 생성된 구면파를 투과시키고 측정물(22)에 의해 반사된 반사파를 상측에 위치한 CCD 카메라(23)로 반사시키기 위하여 광분할 코팅되어 있으며, 상기 측정 광섬유(18)의 경사단면에서 반사되는 반사파와 기준 광섬유(19)의 기준파가 중첩되어 간섭무늬를 형성하도록 상기 기준 광섬유(19)의 단부가 측정 광섬유(18)의 경사단면에 인접하게 장착되는 것을 특징으로 한다.
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