纳米结构体的制造方法
    85.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101074486A

    公开(公告)日:2007-11-21

    申请号:CN200710092363.2

    申请日:2007-02-28

    Abstract: 提供一种在铬酸等的环境中不使用非优选物质,在短时间内,能够得到具有规律排列的凹坑的纳米结构体的制造方法。该纳米结构体的制造方法包括:通过将具有铝基板和在上述铝基板表面上存在的阳极氧化被膜的铝部件作为阴极实施电解来使上述阳极氧化被膜和上述铝基板剥离,得到由阳极氧化被膜构成的结构体的剥离工序;其中,在上述剥离工序中,按照使电流流过上述阳极氧化被膜的表面的方式实施上述电解。

    Gas sensor using metal oxide nano rod and manufacturing method thereof
    86.
    发明公开
    Gas sensor using metal oxide nano rod and manufacturing method thereof 审中-公开
    使用金属氧化物纳米棒的气体传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR20100105023A

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:KR20090023809

    申请日:2009-03-20

    Applicant: SENKO

    Inventor: HA SEUNG CHUL

    Abstract: PURPOSE: A gas sensor using metal oxide nanorods and a manufacturing method thereof are provided to evenly form nanorods between two electrodes. CONSTITUTION: A gas sensor using metal oxide nanorods the substrate in which the nano template is formed on(S210). The metal oxide layer is formed on the surface of the nano template(S220). The metal oxide layer formed on the top of the nano template is eliminated from the upper side of the nano template(S230). The nano template is removed from the upper side part of the nano template in order to from metal oxide nanorods of tubular(S240). The upper electrode is formed on the metal oxide nanorods(S250).

    Abstract translation: 目的:提供使用金属氧化物纳米棒的气体传感器及其制造方法,以在两个电极之间均匀形成纳米棒。 构成:使用金属氧化物纳米棒的气体传感器,其上形成纳米模板的衬底(S210)。 金属氧化物层形成在纳米模板的表面上(S220)。 形成在纳米模板顶部的金属氧化物层从纳米模板的上侧消除(S230)。 从纳米模板的上侧部分去除纳米模板以从管状金属氧化物纳米棒(S240)。 上部电极形成在金属氧化物纳米棒上(S250)。

    나노포어 구조체, 나노포어 구조를 이용한 이온소자 및 나노멤브레인 구조체 제조방법
    90.
    发明申请
    나노포어 구조체, 나노포어 구조를 이용한 이온소자 및 나노멤브레인 구조체 제조방법 审中-公开
    纳米结构,使用纳米和纳米结构制造方法的离子元件

    公开(公告)号:WO2017003006A1

    公开(公告)日:2017-01-05

    申请号:PCT/KR2015/007399

    申请日:2015-07-16

    Abstract: 본 발명은 절연성 지지부재 상에 형성된 나노포어 구조를 이용한 나노포어 구조체, 그 제조방법 및 나노포어 구조를 이용한 이온 소자에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 나노포어 구조체는 실리콘 및 실리콘을 함유하는 화합물 중 적어도 하나를 포함하여 이루어지며 중앙부에 일측과 타측을 관통하는 마이크로포어가 형성되어 있는 절연성 지지부재와, 질화실리콘(SiN)을 포함하여 이루어지며 상기 절연성 지지부재 상에 배치되고 중앙부에 상기 마이크로포어와 연통되도록 상기 마이크로포어보다 크기가 작은 나노포어가 형성되어 있는 나노포어 막을 구비하고, 상기 나노포어 막과 상기 절연성 지지부재는 친수성 표면처리에 의해 부착된다.

    Abstract translation: 本发明涉及使用在绝缘支撑构件上形成的纳米孔,纳米孔结构制造方法和使用该纳米孔的离子元件的纳米孔结构。 根据本发明的一个实施方案的纳米孔结构包括:绝缘支撑构件,其包括硅和含硅化合物中的至少一种,并且在中心部分具有穿过绝缘体的一侧和另一侧的微孔 支持会员 以及包含氮化硅(SiN)的纳米孔膜,其设置在所述绝缘支撑构件上,并且在所述纳米孔膜的中心部分具有小于并与所述微孔连通的纳米孔,其中所述纳米孔膜和所述绝缘支撑体 构件通过亲水表面处理附着。

Patent Agency Ranking