公开(公告)号：JP2014165174A

公开(公告)日：2014-09-08

申请号：JP2014023442

申请日：2014-02-10

Applicant: Fei Co ,  エフ・イ−・アイ・カンパニー

Inventor： MOSTAFA MAAZOUZ

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/1477 ,  H01J37/21 ,  H01J37/248 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/1518 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31749

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a low-energy focused ion beam apparatus with a significantly improved spot size.SOLUTION: A middle section of a focused ion beam column 101 is provided with a booster tube 120, which can be biased to a high negative voltage and comprises lens systems 104, 105 and a scan octopole 135, allowing a beam to move with higher energy than the final beam energy. The voltage of the booster tube 120 is operable in two modes, namely, a high negative voltage mode and a grounded mode, and the voltage of the scan octopole 135 is associated with the voltage of the booster tube 120.

Abstract translation: 要解决的问题：提供具有显着改善的斑点尺寸的低能聚焦离子束装置。解决方案：聚焦离子束柱101的中间部分设置有增压管120，其可被偏置到高负极 电压并且包括透镜系统104,105和扫描八极杆135，允许光束以比最终光束能量更高的能量移动。 升压管120的电压可以以两种模式操作，即高负压模式和接地模式，并且扫描八极杆135的电压与增压器管120的电压相关联。

公开(公告)号：JP4146875B2

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：JP2006500044

申请日：2004-03-03

Applicant: アイシーティ,インテグレイテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュア ハーブライタープリューフテックニック ミット ベシュレンクテル ハフツング

Inventor： ヤシニスキ，トーマス

IPC: H01J37/073 ,  H01J3/02 ,  H01J37/06 ,  H01J37/065 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J3/026 ,  H01J37/065 ,  H01J2237/022

公开(公告)号：KR1020090043574A

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：KR1020097005596

申请日：2007-10-18

Applicant: 가부시키가이샤 알박

Inventor： 이이지마에이이치 ,  센구오후아 ,  사타케토루

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/04 ,  H01J29/51

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/06 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/182

Abstract: 피어스식 전자총의 전자빔 집속제어에 있어서, 전자총 내부에서의 공간전하 효과 및 공간전하 중화작용의 영향을 없게 하고, 전자빔 제어를 완전한 것으로 한다. 상기 피어스식 전자총 내부의 온도를 직접 측정하는 것에 의해 전자총 내부 압력을 피드백제어한다. 상기 피어스식 전자총 내부의 온도를 직접 측정하는 장소는 애노드(39), 플로우 레지스터(43)가 바람직하다. 다음으로, 캐소드실(31), 중간실, 요동실(33)중 어느 하나의 출구 또는 입구에 설치된 링, 조임, 배기통중 어느 하나이어도 가능하다. 이에 의해, 빔을 만드는 부분의 안정화(전자총 자체의 최적화 설계), 빔 수송부의 안정화 및 빔 사용부의 안정화 전부에 대해서 양호하게 되었다.
피어스, 전자총, 전자빔, 전자빔 집속

公开(公告)号：KR100714260B1

公开(公告)日：2007-05-07

申请号：KR1020060007596

申请日：2006-01-25

Applicant: 캐논 가부시끼가이샤

Inventor： 이바준 ,  오하시야스오 ,  아주마히사노부 ,  하치스다카히로 ,  다카하시마사노리

IPC: H01J31/12 ,  H01J1/30

CPC classification number: H01J3/026 ,  H01J31/127

Abstract: 본 발명은, 애노드전극과 전자방출소자와의 사이에서 발생한 방전에 의해 새롭게 발생하는 연면방전을 방지하는 전자선 장치를 제공한다.
주사신호 소자전극과 정보신호 소자전극을 포함하는 전자방출소자에 있어서는, 주사신호 소자전극의 일부가, 주사신호배선과 정보신호배선을 절연하는 절연층으로 덮여 있고, 상기 절연층의 단부에서 주사신호 소자전극에 부가전극이 접속되어 있으며, 상기 부가전극은 용융에 의해 소실하는 에너지 Ee가 전자방출소자에 흐르는 방전전류의 에너지 Ea보다 크도록 구성되어 있다.

公开(公告)号：OA763A

公开(公告)日：1967-11-15

申请号：OA50832

申请日：1964-12-12

Applicant: ELECTRONIQUE & PHYSIQUE

Inventor： ZLOTTYKAMIN CHARLES

IPC: H01J1/22 ,  H01J3/02

CPC classification number: H01J3/026 ,  H01J1/22

公开(公告)号：TWI421898B

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：TW096139472

申请日：2007-10-22

Applicant: 愛發科股份有限公司 ,  ULVAC, INC.

Inventor： 飯島榮一 ,  IIJIMA, EIICHI ,  沈國華 ,  CHIN, KOKUKA ,  佐竹徹 ,  SATAKE, TOORU

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/07

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/06 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/182

公开(公告)号：TW200822160A

公开(公告)日：2008-05-16

申请号：TW096139472

申请日：2007-10-22

Applicant: 愛發科股份有限公司 ULVAC, INC.

Inventor： 飯島榮一 IIJIMA, EIICHI ,  沈國華 CHIN, KOKUKA ,  佐竹徹 SATAKE, TOORU

IPC: H01J ,  C23C

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/06 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/182

Abstract: 在本發明的皮爾斯式(Pierce type)電子槍之電子射束的控制中,係作成消除電子槍內部的空間電荷效應及空間電荷中和作用的影響,而能完善地控制電子射束之方法。本發明係直接測量前述皮爾斯式電子槍的內部溫度,藉此將電子槍內部的壓力予以回授控制。前述直接測量皮爾斯式電子槍內部溫度的部位係以陽極以及流量調節器為佳。此外,亦可為設置在陰極室、中間室、以及搖動室中任一者的出口或入口的環部、節流器、以及排氣孔之任一者。如此,製作射束的部分之穩定化(電子槍本體的最佳化設計)、射束輸送部之穩定化、以及射束使用部的穩定化皆很良好。

Abstract in simplified Chinese: 在本发明的皮尔斯式(Pierce type)电子枪之电子射束的控制中,系作成消除电子枪内部的空间电荷效应及空间电荷中和作用的影响,而能完善地控制电子射束之方法。本发明系直接测量前述皮尔斯式电子枪的内部温度,借此将电子枪内部的压力予以回授控制。前述直接测量皮尔斯式电子枪内部温度的部位系以阳极以及流量调节器为佳。此外,亦可为设置在阴极室、中间室、以及摇动室中任一者的出口或入口的环部、节流器、以及排气孔之任一者。如此,制作射束的部分之稳定化(电子枪本体的最优化设计)、射束输送部之稳定化、以及射束使用部的稳定化皆很良好。