公开(公告)号：CN106537552A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201680001828.6

申请日：2016-03-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 薮修平 ,  古贺直人 ,  赤津光男 ,  高平功 ,  富田真一 ,  能田弘行 ,  增田蓝

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/248

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/248 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2813

Abstract: 本发明的目的在于提供小型、高性能且容易搬送的带电粒子射线装置。本发明所涉及的带电粒子射线装置具备可装卸的主体单元和辅助单元，所述主体单元收容与带电粒子射线相关的功能部，所述辅助单元收容电源部(参照图1)。

公开(公告)号：CN104008943B

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201410066714.2

申请日：2014-02-26

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： M.马佐斯

IPC: H01J37/21 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/10

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/1477 ,  H01J37/21 ,  H01J37/248 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/1518 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供了一种带电粒子束系统，其中，聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压，该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下，减少了色差和库仑相互作用，这使斑点尺寸产生显著改进。

公开(公告)号：CN104078299B

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201310684864.5

申请日：2013-12-13

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 佐藤正辉 ,  松下浩

IPC: H01J37/317 ,  H01B17/64

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/248 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/036 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/08

Abstract: 本发明提供一种用于离子注入装置的高电压电极的绝缘结构。该高电压电极的绝缘结构具备：绝缘体（126），具备露出表面（128）；及导体部（130），具备与绝缘体（126）相接的接合区域（138）、及以与绝缘体（126）的露出表面（128）相邻的方式沿接合区域（138）的边缘部（142）的至少一部分而设的耐热部（150）。耐热部（150）由熔点高于导体部（130）的导电材料形成。耐热部（150）可以以与绝缘体（126）的露出表面（128）之间留有间隙的方式配置。

公开(公告)号：CN104321273B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201380022479.2

申请日：2013-03-19

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： 肯·特兰 ,  田丰 ,  陈星 ,  李国华

IPC: C01B13/11

CPC classification number: H01J37/248 ,  C01B13/115 ,  C01B2201/90

Abstract: 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成，同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制，以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻，直至输入DC总线已被有效初始化，该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。

公开(公告)号：CN104039230A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201380004673.8

申请日：2013-09-25

Applicant: 株式会社东芝 ,  东芝医疗系统株式会社

Inventor： 及川大造 ,  石山文雄

IPC: A61B6/03

CPC classification number: H01J35/025 ,  A61B6/032 ,  A61B6/405 ,  A61B6/4241 ,  A61B6/54 ,  A61B6/542 ,  A61B6/58 ,  G05F1/10 ,  G05F1/565 ,  H01J37/241 ,  H01J37/248 ,  H01J37/3023 ,  H01J2237/2487 ,  H05G1/32 ,  H05G1/46

Abstract: 提供一种使放射的X射线的光子能量分布平坦化的X射线CT装置。是具备X射线管、检测器、数据收集部、管电压发生部、以及栅极控制部的X射线CT装置。X射线管朝向被检体放射X射线。检测器具备多个检测构成X射线的光子的检测元件。数据收集部对检测出的光子的数量进行计数，收集基于其结果的投影数据。管电压发生部在规定的周期内边使管电压变化边向X射线管施加。管电流控制部在管电压增大了的情况下，使管电流减少，在管电压减少了的情况下，使管电流增大。由此，使从X射线管放射的X射线的光子能量分布平坦化。

公开(公告)号：CN102832093A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201210204678.2

申请日：2012-06-18

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： J.福伯 ,  M.休杰尔曼

IPC: H01J37/248

CPC classification number: H01J37/248

Abstract: 本发明提供了一种用于粒子束设备的高电压源装置。本发明涉及用于粒子束设备（11、12）的高电压源装置（100）和包含该类型的高电压源装置（100）的粒子束设备（11、12）。高电压源装置（100）具有用于输送高电压的至少一个高压电缆（101），并包括用于测量高电压的至少一个测量装置（105），其中测量装置（105）具有至少一个第一电容器（108），并且其中第一电容器由高压电缆（101）的至少一个第一部分（108）形成。

公开(公告)号：CN107275178A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201610209867.7

申请日：2016-04-06

Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司

Inventor： 刘建生 ,  陈鹏

IPC: H01J37/32 ,  H01J37/248

CPC classification number: H01J37/32183 ,  H01J37/248

Abstract: 本发明提供一种半导体处理装置。该半导体处理装置包括射频电源、阻抗匹配单元和处理腔室，射频电源连接阻抗匹配单元，用于将射频能量传输至处理腔室；阻抗匹配单元连接处理腔室，用于对处理腔室的阻抗和射频电源的阻抗进行匹配，阻抗匹配单元包括切换元件，处理腔室包括至少两个，切换元件用于将射频能量切换传输至各个处理腔室。该半导体处理装置能够使至少两个处理腔室共用一个射频电源和一个阻抗匹配单元，从而降低了半导体处理装置的生产成本，并简化了半导体处理装置的结构，进而提升了半导体处理装置的核心竞争力。

公开(公告)号：CN107147308A

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201710113442.0

申请日：2017-02-28

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 笹田直人 ,  张谷友和 ,  土志田孝之

IPC: H02M7/02 ,  H01T23/00 ,  H05F3/04

CPC classification number: H02M7/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/248 ,  H02M1/088 ,  H02M7/103 ,  H02M2001/0048 ,  Y02B70/1491 ,  H02M7/02 ,  H01T23/00 ,  H05F3/04

Abstract: 一种高电压产生电路，该高电压产生电路配备有AC电源、正极高电压产生电路、和负极高电压产生电路。相位转换器转换从AC电源供应的AC电压的相位，相位转换器布置在AC电源和正极高电压产生电路之间，或者布置在AC电源和负极高电压产生电路之间。

公开(公告)号：CN105978358A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201610320044.1

申请日：2013-03-19

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： 肯·特兰 ,  田丰 ,  陈星 ,  李国华

IPC: H02M5/458 ,  H02H9/02 ,  C01B13/11

CPC classification number: H01J37/248 ,  C01B13/115 ,  C01B2201/90 ,  H02M5/458 ,  C01B13/11 ,  H02H9/02

Abstract: 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成，同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制，以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻，直至输入DC总线已被有效初始化，该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。

公开(公告)号：CN104364878A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201380030519.8

申请日：2013-05-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大西崇 ,  渡边俊一 ,  金田实

IPC: H01J37/248 ,  H01J37/067 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J27/024 ,  H01J29/485 ,  H01J37/026 ,  H01J37/067 ,  H01J37/073 ,  H01J37/16 ,  H01J37/241 ,  H01J37/248 ,  H01J2237/16

Abstract: 本发明的带电粒子束产生装置具备：带电粒子源；沿着来自带电粒子源的带电粒子的照射方向配置的多个第一电极；配置在第一电极之间的多个绝缘部件；以及设置在多个第一电极周围的壳体。壳体由绝缘性的固体材料形成，壳体具备配置在接近多个第一电极的位置上的多个第二电极。多个第二电极中的至少一个第二电极与多个第一电极中的至少一个第一电极电连接，多个第二电极中的各个第二电极成为与接近的第一电极的电位相同的电位。