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发明公开
MEMS加速度计标度因数批量化测试装置及方法审中-实审

公开(公告)号：CN119827798A

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202411943489.6

申请日：2024-12-27

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 李陈征 , 刘飞 , 张菁华 , 姚远 , 杨亚杰 , 曹慧通 , 郭子涵 , 孙刚

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度计标度因数批量化测试装置及方法，装置包括离心机和多个测试工装，离心机具有离心机圆盘，多个测试工装沿离心机圆盘的周向均匀间隔设置在圆盘面上，其中，每两个对称测试工装为一组，测试工装包括：固定底板、测试电路转接工装、加速度计固定装置和测试电路板，固定底板固定设置在圆盘上，测试电路转接工装为两个，对称间隔固定在固定底板上，测试电路板固定设置在两个转接工装上，加速度计通过加速度计固定装置设置在测试电路板上并与测试电路板电气联结。本发明通过使用特定的批量测试工装和计算方法，同时完成多只加速度计的标度因数对称性测试。

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