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公开(公告)号：CN119827798A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411943489.6
申请日：2024-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度计标度因数批量化测试装置及方法，装置包括离心机和多个测试工装，离心机具有离心机圆盘，多个测试工装沿离心机圆盘的周向均匀间隔设置在圆盘面上，其中，每两个对称测试工装为一组，测试工装包括：固定底板、测试电路转接工装、加速度计固定装置和测试电路板，固定底板固定设置在圆盘上，测试电路转接工装为两个，对称间隔固定在固定底板上，测试电路板固定设置在两个转接工装上，加速度计通过加速度计固定装置设置在测试电路板上并与测试电路板电气联结。本发明通过使用特定的批量测试工装和计算方法，同时完成多只加速度计的标度因数对称性测试。
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公开(公告)号：CN119044537A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411120062.6
申请日：2024-08-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097 , H03G3/30 , H03L7/08 , H03K5/01 , G01P15/08
Abstract: 本发明提供一种双闭环石英谐振梁加速度计激振电路，电路采用幅值、相位双闭环控制及数字化配置方案，不仅能够维持石英振梁正常工作时的振幅、相位稳定，而且可以通过软件配置寄存器方式进行参数优化调整。比之前基于反相器或运放的开环方案，该闭环激振电路稳定性、温度鲁棒性有明显改善，可以支撑石英谐振梁加速度计的稳定性、分辨率、温度稳定性等指标进一步提升到导航级水平。
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公开(公告)号：CN112730892A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011438663.3
申请日：2020-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明涉及机械技术领域，公开了一种振梁结构及振梁加速度计敏感结构。其中，该振梁结构包括两个连接单元、两个锁能单元、两个驻波节点和两个叉指，两个所述叉指并联连接在两个所述驻波节点之间，每个锁能单元一端与一个所述驻波节点未连接两个所述叉指的一端连接，另一端与一个所述连接单元连接。由此，可以通过驻波节点与锁能单元配合实现双叉指振动能量的内聚，提高振梁Q值，提高加速度计快速启动特性。并且，锁能单元对对称性要求低，降低了振梁加工难度，提高了成品率，降低了加工成本。此外，振梁在总长度、厚度不变的情况下降低了振梁Z向刚度，提高了加速度计标度因数。
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公开(公告)号：CN115728517B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202211423060.5
申请日：2022-11-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种加速度计免标定非线性测量工装及装置。该测量工装包括：转接底座；平面轴向测试安装板和Z轴测试安装板，均拆卸地设置在所述转接底座上并且不同时与转接底座连接，并且在需要进行平面轴向测试时，所述平面轴向测试安装板与转接底座连接；在需要进行Z轴测试时，所述Z轴测试安装板与转接底座连接；测试电路安装板；所述测试电路安装板固定安装在所述转接底座上，所述测试电路安装板具有镂空通孔c，沿所述镂空通孔c周向具有多个测试电路板安装孔，测试电路板通过所述测试电路板安装孔固定在所述测试电路板上。该工装具有可替换性、免重复标定特性，使得测试流程得以简化，极大的提高了测试效率，且精度得以提高。
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公开(公告)号：CN116886047A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310706253.X
申请日：2023-06-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其中，前置放大将石英振梁输出的电荷进行电荷‑电压转换和信号放大，同相放大环节进行二级放大和一级移相，带通滤波环节实现二级移相和高低频噪声的抑制，相位补偿环节对谐振梁内部静态电容导致的相移进行补偿，生成方波的陡直度通过波形整形环节进行增强，并通过驱动增强环节，提升驱动能力后输出给系统应用。上电后，这些环节与加速度计谐振梁结构形成闭环正反馈自激振荡，驱动石英振梁起振并实现稳幅振荡。本发明可以支撑石英谐振梁加速度计稳定性、分辨率等性能指标达到导航级水平。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113791241B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202110913158.8
申请日：2021-08-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明提供了一种敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计，该结构包括应力消除主体单元、第一和第二应力释放外环，应力消除主体单元具有振梁阻尼腔和摆挠性支撑阻尼腔，振梁阻尼腔与摆挠性支撑阻尼腔呈夹角设置，振梁阻尼腔用于容纳设置振梁叉指组件，摆挠性支撑阻尼腔用于容纳设置摆挠性支撑组件，第一和第二应力释放外环均设置在应力消除主体单元的周缘，第一和第二应力释放外环之间形成应力释放腔。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中振梁加速度计的力学环境适应性差、热学环境适应性差以及输出对称性差的技术问题。
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公开(公告)号：CN115541930A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211136210.4
申请日：2022-09-19
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097 , H03B5/04 , H03B5/32
Abstract: 本发明提供一种带相位补偿的低压驱动石英振梁加速度计激振电路，该激振电路包括：前置放大和移相限幅模块，用于实现输入信号的直流偏置和反相放大，并输出至移相限幅和低压驱动模块，移相限幅和低压驱动模块将信号经移相限幅处理后输出至波形整形模块，同时还将信号经移相限幅处理和低压驱动处理后分为两路，一路施加至石英振梁的驱动电极，另一路进入相位补偿，波形整形模块用于对输入信号的波形上升及下降沿的陡直度进行调整，并将输出信号至并联反相模块；并联反相模块对输入信号的波形再一次反相处理。该方案有效减小激振电路的相位误差，降低温度变化对振梁谐振特性的影响，有利于提高加速度计的长期稳定性。
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公开(公告)号：CN110989727A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911191925.8
申请日：2019-11-28
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明涉及惯性仪表制造技术领域，公开了一种加速度计测试温控装置。其中，该测试温控装置装配在分度装置上，该测试温控装置包括框架、安装工装、半导体制冷器件和保温层，所述框架通过所述分度装置的转轴与所述分度装置连接，所述安装工装设置在所述框架中且具有用于固定加速度计的安装孔，所述半导体制冷器件设置在所述安装工装底部与所述安装孔对应的位置用于对所述加速度计进行加热或制冷，所述保温层设置在所述框架内侧用于隔离外部环境，所述分度装置在翻滚的情况下通过所述转轴带动所述加速度计翻滚。由此，可以通过半导体制冷器件和相应结构实现加速度计静态测试或多点翻滚时的温度控制。
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公开(公告)号：CN106908626A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201510979830.8
申请日：2015-12-23
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125
Abstract: 本发明属于惯性测量技术领域，具体公开一种电容式微加速度计敏感结构。它包括上极板、中间摆片微结构和下极板；上极板、中间摆片微结构、下极板之间两两通过键合层连接；中间摆片微结构包括边框和包围在边框内的弹性减薄梁、质量块；弹性减薄梁的上下表面各设有位置交错凹形槽，凹形槽的底部与弹性减薄梁中性面平齐；凹形槽内设有电极引线，电极引线包括上凹形槽电极和下凹形槽电极；上凹形槽电极与质量块上表面电极连通，下凹形槽电极和质量块下表面电极连通；质量块的末端上下表面各设有止挡凸台，用于限制质量块在强振动或大冲击作用下的位移。本发明最大限度屏蔽受力及温度变形对敏感结构的影响，实现误差抑制，获取更高性能。
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公开(公告)号：CN105502967A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201410554261.8
申请日：2014-10-17
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: C03C27/08
Abstract: 本发明是一种基于金锡共晶的石英键合方法。包括以下步骤：准备步骤；清洗步骤；沉积薄膜的步骤：对两侧零部件之一(11)依次沉积Cr/Au薄膜，并对中间零部件(12)对应于两侧零部件之一(11)的一侧依次沉积Cr/Au/Sn/Au薄膜；然后，对两侧零部件之二(13)依次沉积Cr/Au薄膜，并对中间零部件(12)对应于两侧零部件之二(13)的另一侧依次沉积Cr/Au/Sn/Au薄膜；热压键合的步骤。实现了焊料层组份比例的精确控制。实现了图形化焊料的精密加工。能实现石英敏感结构件的精密对准。
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