保持装置及保持装置的制造方法

    公开(公告)号:CN112166496A

    公开(公告)日:2021-01-01

    申请号:CN201980035141.8

    申请日:2019-01-08

    Abstract: 本发明抑制产生温度特异点。保持装置经由接合部将陶瓷构件与基座构件接合。在将与第一方向大致垂直的方向设为第二方向、将与第一方向和第二方向都大致垂直的方向设为第三方向时,接合部包括第一接合部分和第二接合部分,该第一接合部分在第一方向观察下从接合部的第二方向的一端配置到另一端,并在与第二方向大致垂直的任意截面处,第一方向的厚度大致均等,且在与第三方向大致垂直的任意截面处,第一方向的厚度大致均等,该第二接合部分在第三方向上相对于第一接合部分位于接合部的至少一端侧,且在与第二方向大致垂直的任意截面处,第一方向的厚度从第一接合部分侧朝接合部的端侧变厚。

    保持装置的制造方法以及保持装置

    公开(公告)号:CN112204724B

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN201980035647.9

    申请日:2019-01-08

    Abstract: 抑制由于每个制造线或每个制造装置等的特性而使整体的温度分布偏离所期望的分布的情况。保持装置的制造方法包括:准备第一接合体的工序,该第一接合体具备:加工前陶瓷部件,具有第一表面以及配置于与第一表面相反的一侧且与第一表面大致平行的第五表面;基座部件;及接合部,配置在加工前陶瓷部件的第一表面与基座部件的第三表面之间,将加工前陶瓷部件与基座部件接合,在所述第一接合体中,在第一表面与第三表面隔着接合部对置的第一方向上,接合部的厚度从接合部的与第一方向大致垂直的第二方向的一端侧朝向另一端侧变厚;及对第一接合体中的加工前陶瓷部件的第五表面进行加工的工序。

    保持装置及保持装置的制造方法

    公开(公告)号:CN112166496B

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN201980035141.8

    申请日:2019-01-08

    Abstract: 本发明抑制产生温度特异点。保持装置经由接合部将陶瓷构件与基座构件接合。在将与第一方向大致垂直的方向设为第二方向、将与第一方向和第二方向都大致垂直的方向设为第三方向时,接合部包括第一接合部分和第二接合部分,该第一接合部分在第一方向观察下从接合部的第二方向的一端配置到另一端,并在与第二方向大致垂直的任意截面处,第一方向的厚度大致均等,且在与第三方向大致垂直的任意截面处,第一方向的厚度大致均等,该第二接合部分在第三方向上相对于第一接合部分位于接合部的至少一端侧,且在与第二方向大致垂直的任意截面处,第一方向的厚度从第一接合部分侧朝接合部的端侧变厚。

    保持装置的制造方法以及保持装置

    公开(公告)号:CN112204724A

    公开(公告)日:2021-01-08

    申请号:CN201980035647.9

    申请日:2019-01-08

    Abstract: 抑制由于每个制造线或每个制造装置等的特性而使整体的温度分布偏离所期望的分布的情况。保持装置的制造方法包括:准备第一接合体的工序,该第一接合体具备:加工前陶瓷部件,具有第一表面以及配置于与第一表面相反的一侧且与第一表面大致平行的第五表面;基座部件;及接合部,配置在加工前陶瓷部件的第一表面与基座部件的第三表面之间,将加工前陶瓷部件与基座部件接合,在所述第一接合体中,在第一表面与第三表面隔着接合部对置的第一方向上,接合部的厚度从接合部的与第一方向大致垂直的第二方向的一端侧朝向另一端侧变厚;及对第一接合体中的加工前陶瓷部件的第五表面进行加工的工序。

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