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公开(公告)号：CN112189248B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201880093567.4
申请日：2018-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/15 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/147
Abstract: 本发明实现一种带电粒子束装置，通过使基于减速电场的静电透镜的轴与磁场透镜的轴一致，使作为重叠透镜的轴调整容易。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样的物镜(4)；使探测电子束穿过的第一束射管(8)及第二束射管(9)；配置于第一束射管(8)与试样(12)之间的减速电极(10)；通过对第一束射管(8)施加第一电位，在第一束射管(8)与减速电极(10)之间形成针对探测电子束的减速电场的第一电压源(15)；以及使第一束射管(8)的位置移动的移动机构(11)。
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公开(公告)号：CN112106168B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201880093423.9
申请日：2018-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/153 , H01J37/145 , H01J37/244
Abstract: 本发明是一种具备减速光学系统的带电粒子束装置，通过抑制由物镜‑试样间的构造物引起的减速电场的变化和轴偏离，能够降低对照射系统、检测系统造成的不良影响。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样(12)的物镜(4)；使探测电子束加速的加速电极(3)；设于加速电极内的第一检测器(6)；在与加速电极之间形成针对探测电子束的减速电场并且探测电子束在其开口通过的减速电极(5)；以及插入减速电极与试样之间的第二检测器(7)，第二检测器具有比减速电极的开口大的开口部(9)，并在开口部的周围设有敏感面(8)。
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公开(公告)号：CN112106168A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201880093423.9
申请日：2018-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/153 , H01J37/145 , H01J37/244
Abstract: 本发明是一种具备减速光学系统的带电粒子束装置，通过抑制由物镜‑试样间的构造物引起的减速电场的变化和轴偏离，能够降低对照射系统、检测系统造成的不良影响。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样(12)的物镜(4)；使探测电子束加速的加速电极(3)；设于加速电极内的第一检测器(6)；在与加速电极之间形成针对探测电子束的减速电场并且探测电子束在其开口通过的减速电极(5)；以及插入减速电极与试样之间的第二检测器(7)，第二检测器具有比减速电极的开口大的开口部(9)，并在开口部的周围设有敏感面(8)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112005333A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201880092617.7
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/22
Abstract: 带电粒子束装置，包含：带电粒子源，生成对样品照射的带电粒子束；带电粒子检测部，检测当对所述样品照射了所述带电粒子束时发生的带电粒子；强度数据生成部，生成由所述带电粒子检测部检测出的带电粒子的强度的数据；波高值数据生成部，生成由所述带电粒子检测部检测出的带电粒子的波高值的数据；以及输出部，输出基于所述强度的数据的所述样品的第1图像、和基于所述波高值的数据的所述样品的第2图像。
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公开(公告)号：CN112005333B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201880092617.7
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/22
Abstract: 带电粒子束装置，包含：带电粒子源，生成对样品照射的带电粒子束；带电粒子检测部，检测当对所述样品照射了所述带电粒子束时发生的带电粒子；强度数据生成部，生成由所述带电粒子检测部检测出的带电粒子的强度的数据；波高值数据生成部，生成由所述带电粒子检测部检测出的带电粒子的波高值的数据；以及输出部，输出基于所述强度的数据的所述样品的第1图像、和基于所述波高值的数据的所述样品的第2图像。
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公开(公告)号：CN112189248A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201880093567.4
申请日：2018-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/15 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/147
Abstract: 本发明实现一种带电粒子束装置，通过使基于减速电场的静电透镜的轴与磁场透镜的轴一致，使作为重叠透镜的轴调整容易。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样的物镜(4)；使探测电子束穿过的第一束射管(8)及第二束射管(9)；配置于第一束射管(8)与试样(12)之间的减速电极(10)；通过对第一束射管(8)施加第一电位，在第一束射管(8)与减速电极(10)之间形成针对探测电子束的减速电场的第一电压源(15)；以及使第一束射管(8)的位置移动的移动机构(11)。
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公开(公告)号：CN105144336B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201480023185.6
申请日：2014-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J27/26 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/073 , H01J27/02 , H01J27/26 , H01J29/481 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/062 , H01J2237/06341 , H01J2237/06375 , H01J2237/0802 , H01J2237/1508 , H01J2237/2007 , H01J2237/2801
Abstract: 本申请的目的是提供仅使用静电透镜的比较小型而像差小的带电粒子枪，并提供在大电流下也具有高亮度的场发射型带电粒子枪。带电粒子枪具有：带电粒子源；加速电极，其使从带电粒子源发射的带电粒子加速；控制电极，其配置在比加速电极靠近带电粒子源侧且具有比加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于加速电极的电位对施加于控制电极的电位进行控制。
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公开(公告)号：CN105144336A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480023185.6
申请日：2014-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J27/26 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/073 , H01J27/02 , H01J27/26 , H01J29/481 , H01J37/06 , H01J37/063 , H01J37/08 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/062 , H01J2237/06341 , H01J2237/06375 , H01J2237/0802 , H01J2237/1508 , H01J2237/2007 , H01J2237/2801
Abstract: 本申请的目的是提供仅使用静电透镜的比较小型而像差小的带电粒子枪，并提供在大电流下也具有高亮度的场发射型带电粒子枪。带电粒子枪具有：带电粒子源；加速电极，其使从带电粒子源发射的带电粒子加速；控制电极，其配置在比加速电极靠近带电粒子源侧且具有比加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于加速电极的电位对施加于控制电极的电位进行控制。
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