模块、模块的制造方法、电子设备及移动体

    公开(公告)号:CN104064525B

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201410103581.1

    申请日:2014-03-19

    Inventor: 小林知永

    Abstract: 本发明提供一种能够抑制芯片粘合剂等流到电极的模块。模块(1)具备:第二基材(2),其具有作为主面的上表面(2a);盖部件(5),在其与绝缘基板(2)之间具有内部空间,以第一面(5a)与上表面(2a)相接合;元件片(3),其被收纳在内部空间中;半导体元件(82),其通过树脂粘合剂(83)而被连接在盖部件(5)的与第一面(5a)形成表里关系的顶面(5b)上;电极(44、45、46),其与元件片(3)电连接,且被设置在绝缘基板(2)的与盖部件(5)连接的连接区域以外的上表面(2a)上;突起部(53),其在俯视观察时以与盖部件(5)为同一部件的方式形成在电极(44、45、46)与盖部件(5)之间的上表面(2a)上。

    惯性传感器和惯性测量装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118771299A

    公开(公告)日:2024-10-15

    申请号:CN202410416540.1

    申请日:2024-04-08

    Inventor: 小林知永

    Abstract: 提供惯性传感器和惯性测量装置,能够降低由过度的加速度导致的MEMS结构的破损。惯性传感器(100)包括:支承基板(1),作为基板;盖(2),与支承基板(1)对置设置;可动框架(21),设置在支承基板(1)与盖(2)之间;第一梳齿可动电极(22a)和/或第二梳齿可动电极(22b),作为设置在可动框架(21)的梳齿可动电极;以及突起(31)和/或突起(30),设置在支承基板(1)或盖(2)中的至少一方,俯视时与第一梳齿可动电极(22a)和/或第二梳齿可动电极(22b)的前端或根部重叠。

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