公开(公告)号：WO2022177102A2

公开(公告)日：2022-08-25

申请号：PCT/KR2021/016766

申请日：2021-11-16

Applicant: 대전대학교 산학협력단 ,  성균관대학교산학협력단

Inventor： 김경남 ,  염근영 ,  김동우 ,  성다인 ,  탁현우 ,  오지영

IPC: H01L21/67 ,  H01J2237/334 ,  H01J37/32 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/32724 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/683 ,  H01L21/6831

Abstract: 본 발명의 실시예에 의하면, 극저온(Cryogenic) 식각에 비하여 상대적으로 높은 온도에서도 극저온 식각과 거의 동일한 효과를 달성할 수 있는 액상 플루오로카본 또는 액상 하이드로플루오로카본 전구체를 이용하는 식각 처리 장치 및 식각 처리 방법이 제공될 수 있다. 또한, 액상 전구체와 저온에 의하여 발생할 수 있는 공정 문제를 해결할 수 있는 식각 처리 장치 및 식각 처리 방법이 제공될 수 있다.

公开(公告)号：KR101932859B1

公开(公告)日：2019-03-20

申请号：KR1020170134023

申请日：2017-10-16

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  김기현 ,  김기석 ,  지유진 ,  박진우 ,  김두산 ,  이원오 ,  송창훈 ,  변지영 ,  오지수 ,  탁현우

IPC: H01J37/32

公开(公告)号：KR102165039B1

公开(公告)日：2020-10-14

申请号：KR1020190137982

申请日：2019-10-31

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 염근영 ,  김동우 ,  성다인 ,  탁현우 ,  신예지

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/02 ,  H01L21/324 ,  H01J37/32 ,  C23C16/448 ,  H01L21/67