公开(公告)号：KR1020020035439A

公开(公告)日：2002-05-11

申请号：KR1020010067417

申请日：2001-10-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도미타히로시 ,  오가타구니에 ,  사카구치기미나리 ,  이와시타야스하루 ,  우에무라료이치 ,  나카쓰루마사히로

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67253

Abstract: PURPOSE: To reduce labor necessary for setting or for re-setting or correcting the number of rotation of a substrate and improve throughput by automating the above works, when coating film is formed by using spin coating method. CONSTITUTION: In a coating unit, a plurality of recipes for a production line and recipes for measuring film thickness where the kind of coating liquid is identical but target film thickness is different are prepared. Among the recipes, recipes with the kind of coating liquid and the target film thickness corresponding to each other are linked by a common spin curve. A recipe for measuring film thickness is performed, and a correction value of the number of rotation is calculated for each film thickness measuring datum. Setting values for the number of rotation of the respective recipes can be corrected collectively, by using the correction value.

Abstract translation: 目的：通过使用旋涂法形成涂膜，减少设定或重新设定或校正基板旋转数量所需的劳动力，并通过自动化以上工作提高生产率。 构成：在涂布单元中，制备多个用于生产线的配方和用于测量涂层液体的种类相同但靶膜厚度不同的膜厚度的配方。 在配方中，具有涂布液的种类和彼此对应的目标膜厚度的配方通过共同的自旋曲线连接。 执行用于测量膜厚度的配方，并且对于每个膜厚测量基准计算旋转次数的校正值。 可以通过使用校正值来集中地校正各配方的旋转次数的设定值。

公开(公告)号：KR100797721B1

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：KR1020010067417

申请日：2001-10-31

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 도미타히로시 ,  오가타구니에 ,  사카구치기미나리 ,  이와시타야스하루 ,  우에무라료이치 ,  나카쓰루마사히로

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/67253

Abstract: 도포 유닛에 있어서 도포액의 종류는 같지만 목표 막두께가 다른 생산라인용 레시피와 막두께 측정용 레시피를 복수 준비하고, 이들 중 도포액의 종류 및 목표 막두께가 대응하는 것에 관하여 공통의 스핀커브에 링크시킨다. 그리고 막두께 측정용 레시피를 실행하여 막두께 측정 데이터마다 회전수의 보정치를 산출한다. 각 레시피의 회전수 설정치는 이 보정치를 사용함으로써 일괄하여 보정할 수 있다.