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公开(公告)号:KR102084691B1
公开(公告)日:2020-03-04
申请号:KR1020180046752
申请日:2018-04-23
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/285 , H01L21/02
公开(公告)号:KR102084691B1
公开(公告)日:2020-03-04
申请号:KR1020180046752
申请日:2018-04-23
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/285 , H01L21/02