公开(公告)号：KR102084691B1

公开(公告)日：2020-03-04

申请号：KR1020180046752

申请日：2018-04-23

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 마에카와코지 ,  사메시마타카시 ,  아오야마신타로 ,  스즈키미키오 ,  아리마스스무 ,  마츠모토아츠시 ,  시바타나오키

IPC: H01L21/285 ,  H01L21/02

公开(公告)号：KR1020060031687A

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：KR1020067001108

申请日：2004-07-28

Applicant: 가부시키가이샤 후지킨 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 칸난히로시 ,  우노토미오 ,  도히료우스케 ,  니시노코우지 ,  나카무라오사무 ,  마츠모토아츠시 ,  이케다노부카즈

IPC: G05D7/00

CPC classification number: G05D7/0652 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/8741 ,  Y10T137/87507

Abstract: A device for feeding a gas to a chamber prevents flow rate control accuracy from greatly lowering in a small flow rate region, performs highly accurate flow rate control in the entire flow rate control region, and also controls a wide pressure range of a chamber by the highly accurate flow rate control. More particularly, the device for feeding a gas to a chamber is constituted of parallelly connected pressure-type flow rate control devices and a control device for controlling the operation of the flow rate control devices. The gas- feeding device feeds to the chamber a desired gas discharged by a vacuum pump while controlling the flow rate of the gas. One of the pressure-type flow rate control devices is a device controlling a gas flow rate range of up to 10% at a maximum of the maximum flow rate to be fed to the chamber, and the remaining flow rate control devices are devices controlling the remaining gas flow rate range.

Abstract translation: 用于将气体供给到室的装置防止流量控制精度在小流量区域中大大降低，在整个流量控制区域中执行高精度的流量控制，并且还可以通过以下方式控制室的宽压力范围 高精度的流量控制。 更具体地，用于将气体供给到室的装置由并联连接的压力型流量控制装置和用于控制流量控制装置的操作的控制装置构成。 气体供给装置在控制气体的流量的同时将由真空泵排出的所需气体供给到腔室。 压力式流量控制装置中的一个是将要供给到室的最大流量的最大值控制高达10％的气体流量范围的装置，并且剩余流量控制装置是控制 剩余气体流量范围。

公开(公告)号：KR100804646B1

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：KR1020067001108

申请日：2004-07-28

Applicant: 가부시키가이샤 후지킨 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 칸난히로시 ,  우노토미오 ,  도히료우스케 ,  니시노코우지 ,  나카무라오사무 ,  마츠모토아츠시 ,  이케다노부카즈

IPC: G05D7/00

CPC classification number: G05D7/0652 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/8741 ,  Y10T137/87507

Abstract: 유량의 제어 정밀도가 소유량 영역에서 대폭으로 저하하는 것을 방지하고, 전 유량 제어 영역에 걸쳐서 고 정밀도의 유량 제어를 행하도록 함과 아울러, 고 정밀도의 유량 제어에 의해 광역의 챔버의 압력 범위를 제어할 수 있게 한다. 구체적으로는, 병렬상으로 접속된 복수기의 압력식 유량 제어 장치와, 상기 복수기의 압력식 유량 제어 장치의 작동을 제어하는 제어 장치로부터 형성되어, 진공 펌프에 의해 배기된 챔버로 소망의 가스를 유량 제어하면서 공급하는 챔버로의 가스 공급 장치에 있어서, 상기 1기의 압력식 유량 제어 장치를 챔버로 공급하는 최대 유량의 10%이하의 가스 유량 영역을 제어하는 장치로 하고, 잔여 압력식 유량 제어 장치를 나머지의 가스 유량 영역을 제어하는 장치로 한다.
챔버, 내압 제어 방법, 가스 공급 장치

公开(公告)号：KR100427563B1

公开(公告)日：2004-04-27

申请号：KR1020007014228

申请日：2000-04-03

Applicant: 가부시키가이샤 후지킨 ,  오미 다다히로 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오미다다히로 ,  카가츠메사토시 ,  스기야마카즈히코 ,  히로세준 ,  후카자와카즈오 ,  코이즈미히로시 ,  나가오카히데키 ,  미나미유키오 ,  니시노코지 ,  도히료스케 ,  요네하나카츠노리 ,  이케다노부카즈 ,  야마지미치오 ,  모리모토아키히로 ,  우노토미오 ,  이데타에이지 ,  마츠모토아츠시 ,  우에노야마토요미 ,  히로세타카시

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0658 ,  G05D7/0664 ,  Y10S438/935 ,  Y10T137/0396 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/86389 ,  Y10T137/87877 ,  Y10T137/87917

Abstract: 압력조정용의 1개의 레귤레이터로부터 복수개의 유로를 병렬적으로 설치한 유체공급장치에 있어서, 각 유로의 유체공급의 개폐조작이 다른 유로의 정상공급에 과도적 변동을 주지 않도록 한다. 그를 위하여 각 유로에 유량제어용의 매스플로 컨트롤러(MFC) 또는 압력식 유량제어장치(FCS)를 설치하고, 어느 유로의 유체공급이 닫힌 상태에서 열린 상태로 되었을 때, 그 유로의 매스플로 컨트롤러(MFC)가 동작개시로부터 일정한 지연시간(Δt)만큼 지연되어 설정유량(Qs)에 도달하도록 구성한다.
또, 1대의 압력식 유량제어장치에 의해 복수의 가스종류를 고밀도로 유량제어할 수 있는 방법과 그 장치를 실현한다. 그를 위하여, 임계압력비 이하의 조건에서 오리피스를 통과하는 가스의 유량계산식을 이론적으로 도출하고, 그 식으로부터 플로팩터를 정의하고, 이 플로팩터를 사용하여 다수의 가스종류에 대응할 수 있도록 하였다.
즉, 오리피스(8)의 상류측 압력(P
1 )을 하류측 압력(P
2 )의 약 2배 이상으로 확보한 상태에서 오리피스를 통과하는 가스의 연산유량(Qc)을 Qc=KP
1 (K는 정수)로서 연산하는 유량제어방법에 있어서, 가스종류마다 플로팩터(FF)를
FF = (k/ν
S ){2/(κ+1)}
1/(κ-1) [κ/{(κ+1)R}]
1/2 에 의해 계산하고, 가스종류 A의 연산유량이 Q
A 인 경우에, 동일 오리피스, 동일 상류측 압력 및 동일 상류측 온도의 조건하에서 가스종류 B를 유통시켰을 때, 그 연산유량(Q
B )을 Q
B =(FF
B /FF
A )Q
A 로서 산출한다. 여기서 ν
S 는 가스의 표준상태 밀도, κ는 가스의 비열비, R은 가스정수, k는 가스종류에 의존하지 않는 비례정수, FF
A , FF
B 는 가스종류 A, B의 플로팩터이다.

Abstract translation: 一种流体供应装置，其具有从一个调节器分支出来用于调节压力的多条流动管线，所述流动管线平行布置，其中采取措施，即操作，即一个流动通道的打开或关闭将不具有 对其他流动通道的稳定流动产生瞬态影响。 为此，每个流道设置有延时型质量流量控制器MFC，使得当打开一个封闭流体通道时，该流道上的质量流量控制器在特定延迟时间Δt内达到设定流量Qs 从起点。 还提供了一种上述方法和装置，其中可以通过一个压力型流量控制系统高精度地控制多种气体类型的流量。 为此，理论上导出用于计算气体流量的公式，其中压力比不高于临界压力比。 根据该公式，定义流量因子，以便可以使用流量因子将公式应用于多种气体类型。 该方法包括在孔口的上游侧的压力P1设定为高于下游侧的压力P2两倍以上的压力P1的情况下，根据公式Qc = KP1（K =常数）计算通过孔口的气体的流量Qc ，其中每种气体的流量因子FF计算如下：其中，每种气体的流量因子FF被计算如下：其中，每种气体的流量因子FF被计算为如下：其中，每种气体的流量因子FF被计算为如下：＆Delta; FF =（k / ＆AUML; kappa / auml;（kappa + 1）R＆lt; uuml; 1/2＆gt; ＆LT; / DF＆GT; 并且其中，如果所计算的气体类型A的流量是QA，并且当允许气体类型B在上游侧上的相同压力下和上游侧上相同温度下流过同一孔口时， QB计算如下：＆lt; DF＆gt; QB =（FFB / FFA）QA＆lt; / DF＆gt; ys =标准状态下的气体浓度; kappa =气体比热比; R =气体的常数; K =不依赖于气体类型的比例常数; FFA = A型气体流量系数; 和FFB =气体类型B的流量因子。

公开(公告)号：KR1020010052885A

公开(公告)日：2001-06-25

申请号：KR1020007014228

申请日：2000-04-03

Applicant: 가부시키가이샤 후지킨 ,  오미 다다히로 ,  도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오미다다히로 ,  카가츠메사토시 ,  스기야마카즈히코 ,  히로세준 ,  후카자와카즈오 ,  코이즈미히로시 ,  나가오카히데키 ,  미나미유키오 ,  니시노코지 ,  도히료스케 ,  요네하나카츠노리 ,  이케다노부카즈 ,  야마지미치오 ,  모리모토아키히로 ,  우노토미오 ,  이데타에이지 ,  마츠모토아츠시 ,  우에노야마토요미 ,  히로세타카시

IPC: G05D7/06

Abstract: 압력조정용의 1개의 레귤레이터로부터 복수개의 유로를 병렬적으로 설치한 유체공급장치에 있어서, 각 유로의 유체공급의 개폐조작이 다른 유로의 정상공급에 과도적 변동을 주지 않도록 한다. 그를 위하여 각 유로에 유량제어용의 매스플로 컨트롤러(MFC) 또는 압력식 유량제어장치(FCS)를 설치하고, 어느 유로의 유체공급이 닫힘에서 열림으로 되었을 때, 그 유로의 매스플로 컨트롤러(MFC)가 동작개시로부터 일정한 지연시간(Δt)만큼 지연되어 설정유량(Qs)에 도달하도록 구성한다.
또, 1대의 압력식 유량제어장치에 의해 복수의 가스종류를 고밀도로 유량제어할 수 있는 방법과 그 장치를 실현한다. 그를 위하여, 임계압력비 이하의 조건에서 오리피스를 통과하는 가스의 유량계산식을 이론적으로 도출하고, 그 식으로부터 플로팩터를 정의하고, 이 플로팩터를 사용하여 다수의 가스종류에 대응할 수 있도록 하였다.
즉, 오리피스(8)의 상류측 압력(P
1 )을 하류측 압력(P
2 )의 약 2배 이상으로 확보한 상태에서 오리피스를 통과하는 가스의 연산유량(Qc)을 Qc=KP
1 (K는 정수)로서 연산하는 유량제어방법에 있어서, 가스종류마다 플로팩터(FF)를 FF=(k/ν
S ){2/(κ+1)}
1/(κ-1) [κ/{(κ+1)R}]
1/2 에 의해 계산하고, 가스종류 A의 연산유량이 Q
A 인 경우에, 동일 오리피스, 동일 상류측 압력 및 동일 상류측 온도의 조건하에서 가스종류 B를 유통시켰을 때, 그 연산유량(Q
B )을 Q
B =(FF
B /FF
A )Q
A 로서 산출한다. 여기서 ν
S 는 가스의 표준상태 밀도, κ는 가스의 비열비, R은 가스정수, k는 가스종류에 의존하지 않는 비례정수, FF
A , FF
B 는 가스종류 A, B의 플로팩터이다.