公开(公告)号：KR1020090131251A

公开(公告)日：2009-12-28

申请号：KR1020090052392

申请日：2009-06-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사다데츠야 ,  오가타즈네모토 ,  나가타아츠시

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/677 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/67017 ,  H01L21/302 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67736

Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus and a substrate processing method are provided to suppress a development mark by efficiently changing a first processing liquid provided to a substrate to be processed with a second processing liquid. CONSTITUTION: In a device, a conveying line(2) includes a first return section(M1), a second return section(M2), and a third return section(M3). A return driving unit operates a roller to transfer a substrate on a conveying line. A first processing liquid supplies a first processing solution to the substrate within the first return section. A second processing solution supply unit(13) supplies a second processing solution to the substrate within the third return section. An elevating unit forms an inclined convey line which is continued from the first return section by transferring the roller installed at the second return section.

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置和基板处理方法，通过用第二处理液有效地改变设置在待处理基板上的第一处理液来抑制显影标记。 构成：在装置中，传送线（2）包括第一返回部分（M1），第二返回部分（M2）和第三返回部分（M3）。 返回驱动单元操作辊子以在输送线路上传送基板。 第一处理液体将第一处理溶液供应到第一返回部分内的基板。 第二处理溶液供应单元（13）将第二处理溶液供应到第三返回部分内的基板。 升降单元形成倾斜的输送线，该输送线通过传送安装在第二返回部分的滚子而从第一返回部分继续。

公开(公告)号：KR1020170042470A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：KR1020160124004

申请日：2016-09-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 사다데츠야 ,  사타케준 ,  우에다도시히코 ,  니시야마준

IPC: H01L51/56 ,  H01L51/00 ,  H01L21/66

Abstract: 본발명은기판에서유기재료가도포된도포영역의건조상태를조기에검출할수 있는검사장치, 감압건조장치및 감압건조장치의제어방법을제공하는것을목적으로한다. 실시형태의일양태에따른검사장치는, 촬상부와, 건조상태검출부를구비한다. 촬상부는, 기판에서유기재료가도포된도포영역을촬상한다. 건조상태검출부는, 촬상부에의해촬상된도포영역의색농도에기초하여도포영역의건조상태를검출한다.

Abstract translation: 本发明的一个目的是提供一种用于该测试装置，减压干燥装置提供的控制方法，并减压装置，可检测与在早期阶段施加在基板上的有机材料涂敷的区域的干燥状态进行干燥。 根据实施例的一个方面的检查设备包括图像拾取部分和干燥状态检测部分。 图像拾取部分在基板上拾取涂覆有有机材料的涂覆区域。 干燥状态检测单元基于由图像拾取单元捕获的涂覆区域的颜色密度来检测涂覆区域的干燥状态。