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公开(公告)号：KR1020170106918A
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：KR1020170028728
申请日：2017-03-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 본발명은노광분해능을높일수 있는보조노광장치를제공하는것을목적으로한다. 실시형태에따른보조노광장치는, 피처리기판에대해노광처리를행하는노광장치의전단측또는후단측에배치되고, 피처리기판에대해국소적으로노광처리를행하는보조노광장치로서, 반송부와, 광원유닛을구비한다. 반송부는, 피처리기판을주사방향으로반송한다. 광원유닛은, 주사방향으로반송되는피처리기판에대해, 주사방향과교차하는방향을길이방향으로하는라인형의광을조사한다. 또한, 광원유닛은, 복수의가동식마이크로미러를배열한디지털마이크로미러디바이스를포함하여구성된다.
Abstract translation: 发明内容本发明的目的是提供一种能够提高曝光分辨率的二次曝光装置。 根据本实施例的辅助曝光装置设置在前端侧或用于基板进行曝光处理的曝光装置的后端侧被处理，作为用于对基片局部进行曝光处理的辅助曝光装置将被处理时，传送部分和 ，还有一个光源单元。 运送部分沿扫描方向运送待处理的基板。 一种光源单元，并检查一个被处理基板在扫描方向被输送，交叉的方向在纵向方向上的扫描方向的线型光。 此外，光源单元包括其中布置有多个可移动微镜的数字微镜器件。
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公开(公告)号：KR101229609B1
公开(公告)日：2013-02-04
申请号：KR1020060017953
申请日：2006-02-24
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 처리시스템에 관한 것으로서 반입유닛트 (IN 120) 및 세정 프로세스부 (25)에는 봉형상의 회전자 (160)을 소정의 피치로 배치하여 이루어지는 제 1 반송로 (162)가 설치되어 있다. 반입 유닛트 (IN 120)에는 반송유닛트 (20)의 반송기구 (22)로부터 한번에 2매의 기판 (G
i ; G
i
+1 )을 수평 상태에서 동시에 수취하여 일시적으로 지지하는 일시 지지부 (168)와 이 일시 지지부 (168)로부터 기판 (G
i ; G
i+1 )을 차례로 1매씩 반송로 (162)상의 소정위치에 로딩하는 이재기구 (170)가 설치되어 있는 카셋트 스테이션과 프로세스 스테이션의 사이에서 반송기구를 개재하여 기판 취급을 행하는 시스템에 있어서 택트 타임의 대폭개선을 실현하는 기술을 제공한다.-
公开(公告)号：KR1020170042470A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：KR1020160124004
申请日：2016-09-27
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 본발명은기판에서유기재료가도포된도포영역의건조상태를조기에검출할수 있는검사장치, 감압건조장치및 감압건조장치의제어방법을제공하는것을목적으로한다. 실시형태의일양태에따른검사장치는, 촬상부와, 건조상태검출부를구비한다. 촬상부는, 기판에서유기재료가도포된도포영역을촬상한다. 건조상태검출부는, 촬상부에의해촬상된도포영역의색농도에기초하여도포영역의건조상태를검출한다.
Abstract translation: 本发明的一个目的是提供一种用于该测试装置，减压干燥装置提供的控制方法，并减压装置，可检测与在早期阶段施加在基板上的有机材料涂敷的区域的干燥状态进行干燥。 根据实施例的一个方面的检查设备包括图像拾取部分和干燥状态检测部分。 图像拾取部分在基板上拾取涂覆有有机材料的涂覆区域。 干燥状态检测单元基于由图像拾取单元捕获的涂覆区域的颜色密度来检测涂覆区域的干燥状态。
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公开(公告)号：KR1020060094488A
公开(公告)日：2006-08-29
申请号：KR1020060017953
申请日：2006-02-24
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 처리시스템에 관한 것으로서 반입유닛트 (IN 120) 및 세정 프로세스부 (25)에는 봉형상의 회전자 (160)을 소정의 피치로 배치하여 이루어지는 제 1 반송로 (162)가 설치되어 있다. 반입 유닛트 (IN 120)에는 반송유닛트 (20)의 반송기구 (22)로부터 한번에 2매의 기판 (G
i ; G
i
+1 )을 수평 상태에서 동시에 수취하여 일시적으로 지지하는 일시 지지부 (168)와 이 일시 지지부 (168)로부터 기판 (G
i ; G
i+1 )을 차례로 1매씩 반송로 (162)상의 소정위치에 로딩하는 이재기구 (170)가 설치되어 있는 카셋트 스테이션과 프로세스 스테이션의 사이에서 반송기구를 개재하여 기판 취급을 행하는 시스템에 있어서 택트 타임의 대폭개선을 실현하는 기술을 제공한다.
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