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公开(公告)号：KR1020160009571A
公开(公告)日：2016-01-26
申请号：KR1020157033072
申请日：2014-05-12
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/288 , H01L21/768 , C25D17/10 , C25D5/02 , C25D17/00 , C25D21/12 , C25F3/02
CPC classification number: C25D17/001 , C25D5/02 , C25D7/12 , C25D17/008 , C25D17/10 , C25D21/12 , C25F3/02 , H01L21/2885 , H01L21/76898
Abstract: 기판의처리영역에처리액을공급하고, 이처리액속의피처리이온을이용하여소정의처리를실시하는기판의처리방법은, 처리액을유통시키는유통로와, 직접전극과, 간접전극을구비한템플릿을, 상기직접전극과쌍을이루는대향전극이상기처리영역에설치된기판에대향하여배치하는템플릿배치공정과, 상기유통로를통해상기처리영역에처리액을공급하는처리액공급공정과, 상기간접전극에전압을인가하고, 상기피처리이온을상기대향전극측으로이동시키는동시에, 상기직접전극과상기대향전극사이에전압을인가하고, 상기대향전극측으로이동한상기피처리이온을산화또는환원하여, 기판에소정의처리를실시하는처리공정을갖는다.
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公开(公告)号：KR1020160106060A
公开(公告)日：2016-09-09
申请号：KR1020167017535
申请日：2014-12-12
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 이와츠하루오
CPC classification number: C25D5/00 , C25D17/005 , C25D17/007 , C25D17/10 , C25D21/12 , C25F7/00 , C25D17/001 , C25D17/06
Abstract: 처리액에포함되는피처리이온을이용하여미리정해진처리를행하는전해처리장치는, 처리액을사이에두도록배치된직접전극및 대향전극과, 처리액에전계를형성하는간접전극과, 간접전극에대하여, 전원과의접속과, 직접전극또는대향전극과의접속을전환하는스위치를가지며, 그스위치는, 간접전극과전원을접속하여전압을인가하고, 그스위치는, 간접전극과전원의접속을절단하고, 그간접전극과직접전극또는대향전극을접속한다.
Abstract translation: 一种电解处理装置，其使用包含在处理液中的待处理的离子进行规定的处理，并且包括设置在处理液的两侧的直流电极和对置电极，形成电场的间接电极 在处理液中，以及在间接电极与电源的连接和间接电极与直流电极或对电极的连接之间切换的开关。 开关连接并施加间接电极和电源两端的电压，并断开间接电极和电源之间的连接，并将间接电极连接到直流电极或对电极。
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公开(公告)号：KR1020150088810A
公开(公告)日：2015-08-03
申请号：KR1020157014203
申请日：2013-11-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L23/48 , H01L23/12 , H01L25/065 , C25D7/12 , C25D17/00
CPC classification number: H01L21/76879 , C25D5/026 , C25D7/12 , C25D17/001 , C25D21/12 , H01L21/2885 , H01L21/76898 , H01L25/0657 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 본발명은, 반도체장치의제조방법으로서, 두께방향으로관통하는관통구멍이복수형성된기판에대하여, 처리액을유통시키는유통로를복수구비하며, 또한유통로에형성된전극을복수구비한템플릿을, 복수의유통로와복수의관통구멍이대응하도록배치하고, 복수의유통로를통해복수의관통구멍내에처리액을공급하고, 복수의전극중, 하나의전극을양극으로하고, 다른전극을음극으로하여전압을인가하고, 기판에소정의처리를행하도록했기때문에, 반도체장치의제조비용을저렴화하면서, 그제조공정의스루풋을향상시킬수 있다.
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公开(公告)号：KR1020130139265A
公开(公告)日：2013-12-20
申请号：KR1020137009317
申请日：2011-10-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 이와츠하루오
IPC: C25D5/02 , C23F1/02 , C25D7/12 , H01L21/288 , H01L21/306
CPC classification number: B05C5/00 , C25D5/02 , C25D5/08 , C25D7/123 , H01L21/02057 , H01L21/2885 , H01L21/30604 , H01L21/308 , H01L21/76877 , H01L21/76898
Abstract: 기판의 소정 위치에 처리액을 공급할 때에 사용되는 템플레이트는, 그 표면에 있어서 소정 위치에 대응하는 위치에 형성된 복수의 개구부와, 개구부로부터 이면까지 두께 방향으로 관통하고, 처리액을 유통시키기 위한 유통로와, 개구부의 주위의 표면에 있어서 친수성을 갖는 제1 친수 영역과, 유통로의 내측면에 있어서 친수성을 갖는 제2 친수 영역을 갖고 있다. 제1 친수 영역은, 소정 위치의 주위의 기판 표면에 있어서 친수성을 갖는 친수 패턴에 대응하는 위치에 형성되어 있다.
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公开(公告)号：KR101336492B1
公开(公告)日：2013-12-03
申请号：KR1020127009307
申请日：2010-09-09
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 이와츠하루오
CPC classification number: G01R1/06783 , G01R1/07307
Abstract: 전자 회로 및 전극 패드가 형성된 기판에 있어서의 전기적인 검사를 실행하기 위한 검사 장치 본체부와, 검사 장치 본체부에 전기적으로 접속된 접촉기를 갖는다. 접촉기는 반도체 웨이퍼에, 도전성 재료에 의해 형성된 콘택트부가 형성된 것으로서, 콘택트부와 기판에 있어서의 전극 패드를 전기적으로 접속시키는 것에 의해, 기판에 있어서의 전기 회로의 검사를 실행하는 것을 특징으로 한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020010039709A
公开(公告)日：2001-05-15
申请号：KR1020000038987
申请日：2000-07-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G02F1/13
Abstract: PURPOSE: A substrate transfer system is provided to reduce the costs for setting up a clean environment by removing the need for the formation of the clean environment in a transfer region of a substrate. CONSTITUTION: A substrate transfer system has a transfer directional mover(41) movable along an Y direction on a rail(35) installed along transfer paths. A rotating shaft(43) is installed on the transfer directional mover. A supporting member(44) is upwardly installed on the rotating shaft, and a receiving box(50) is supported by a side plate unit of the support member. Inside of the receiving box is divided into two rooms(51a,51b) by a horizontal partition(51), and substrate transmitting members(60) are installed in respective rooms. The substrate transmitting member has a pair of long pieces(62) and short pieces(63) installed on both ends of the long piece. Front end of a glass substrate(G) is aligned by pin members(62a) of the long pieces, and the side end of the glass substrate is aligned by pin members(63a) of the short pieces. In the rear portion of the receiving box, a filter member and a blower tool having a fan are prepared. With the blower tool, an airflow is formed toward the opening of the receiving box. Thus, infiltration of the exterior particles into the receiving box is avoided.
Abstract translation: 目的：提供一种基板转印系统，通过消除在基板的转印区域中形成清洁环境的需要来降低建立清洁环境的成本。 构成：衬底传送系统具有沿着沿传送路径安装的轨道（35）沿Y方向移动的传送定向移动器（41）。 旋转轴（43）安装在传送定向移动器上。 支撑构件（44）向上安装在旋转轴上，并且接收箱（50）由支撑构件的侧板单元支撑。 接收盒内部由水平隔板（51）分成两个房间（51a，51b），基板传送部件（60）安装在各自的房间内。 基板传送部件具有一对安装在长片的两端的长条（62）和短片（63）。 玻璃基板（G）的前端通过长片的销构件（62a）对准，玻璃基板的侧端由短片的销构件（63a）排列。 在接收箱的后部，准备具有风扇的过滤构件和鼓风机工具。 利用鼓风机工具，朝向接收箱的开口形成气流。 因此，避免了外部颗粒渗透到接收箱中。
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公开(公告)号：KR1020160009684A
公开(公告)日：2016-01-26
申请号：KR1020157035794
申请日：2014-05-12
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 , 고꾸리쯔다이가꾸호오진 구마모또 다이가꾸
Abstract: 처리액에포함되는피처리이온을이용하여정해진처리를행하는전해처리방법은, 상기처리액을사이에두도록직접전극과대향전극을각각배치하고, 상기처리액에전계를형성하는간접전극을배치하는전극배치공정과, 상기간접전극에전압을인가함으로써, 상기처리액내의피처리이온을상기대향전극측으로이동시키는피처리이온이동공정과, 상기직접전극과상기대향전극사이에전압을인가함으로써, 상기대향전극측으로이동한상기피처리이온을산화또는환원하는피처리이온산화환원공정을갖는다.
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公开(公告)号：KR1020140019794A
公开(公告)日：2014-02-17
申请号：KR1020137026620
申请日：2012-04-11
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: G01R31/31919 , G01R31/2889 , G01R31/31932 , G01R31/31935 , H01L22/32 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 복수의 피검사체를 검사하는 검사 장치는, 피검사체에 대응하여 설치된 검사 셀을 복수 갖는다. 상기 검사 셀은, 테스트 패턴을 일시적으로 보유 지지하는 테스트 패턴 메모리와, 상기 테스트 패턴에 따라서, 피검사체에 검사 신호를 송신하는 드라이버와, 피검사체로부터의 출력 신호와 상기 테스트 패턴에 대응하는 기대값을 비교하여 테스트 결과를 도출하는 콤퍼레이터와, 상기 테스트 결과를 일시적으로 보유 지지하는 테스트 결과 메모리를 구비한다. 상기 각 검사 셀 사이에는, 피검사체의 검사순으로 상류측의 상기 검사 셀의 테스트 패턴 메모리로부터 하류측의 상기 검사 셀의 테스트 패턴 메모리에 상기 테스트 패턴을 송신하기 위한 테스트 패턴용 배선이 설치되어 있다.
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公开(公告)号：KR1020130111953A
公开(公告)日：2013-10-11
申请号：KR1020127032885
申请日：2011-04-25
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/306
CPC classification number: H01L22/12 , H01L21/3081 , H01L21/67075 , H01L21/6708 , H01L21/76898 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 표면에 있어서, 소정의 패턴에 대응하는 개소에 복수의 개구부가 형성되고, 당해 개구부로부터 이면에 연통되는 유통로가 형성되고, 각 유통로에 있어서의 개구부와 반대측의 단부에는, 당해 각 유통로를 막는 개폐 가능하게 구성된 덮개가 설치되고, 또한 각 유통로에 에칭액이 충전된 템플릿의 표면을, 기판에 밀착시킨다. 이어서, 덮개를 개방 조작하여 각 유통로 내의 공기 배출을 행함으로써 개구부로부터 기판에 대하여 에칭액을 공급하고, 에칭액을 공급할 때에, 템플릿의 유통로의 내면에 배치된 가진 기구를 진동시킴으로써 에칭액을 진동시킨다. 가진 기구는, 평면에서 보아 에칭액이 유통로에서 와류를 형성하도록 배치되어 있다.
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公开(公告)号：KR100741153B1
公开(公告)日：2007-07-20
申请号：KR1020000038987
申请日：2000-07-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: G02F1/13
Abstract: 본 발명은 기판반송장치에 관한 것으로서, 반송방향 이동체에 대하여 수평회전이 가능한 회전축에 지지되어진 수용박스 내에 기판 전달부재를 설치함으로써, 유리기판이 수용박스 바깥에 부유하는 파티클과 접속하는 일이 거의 없어, 기판의 반송영역을 클린환경으로 만들 필요가 없으므로, 클린환경을 형성하기 위한 비용을 대폭적으로 삭감시킬 수 있는 기술이 제시된다.
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