公开(公告)号：KR101015778B1

公开(公告)日：2011-02-22

申请号：KR1020040040079

申请日：2004-06-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이토가즈히코 ,  이시마루가즈토시 ,  오오쿠라준 ,  기노시타미치오 ,  도우키유이치

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67259 ,  B05B12/122 ,  B05B13/0228 ,  Y10S414/136

Abstract: 기판에 대하여 소정의 처리를 실행하는 처리 유닛에 기판을 반입 및 반출하는 기판 반송수단에 대하여, 미리 기판 유지부에 대한 기판의 수수 위치의 데이터를 취득하여 놓은 경우에, 고정밀도 그리고 단시간에 기판의 위치 정렬을 하는 것.
기판 반송수단에 의해 기판 유지부에 수수된 위치 정렬용 기판의 표면에 형성된 마크에 대하여, 예컨대 기판 유지부를 180도 회전시켰을 때의 전후에 해당 마크의 위치를 각각 촬상하고, 이 마크의 위치 데이터에 근거하여 기판의 중심과 기판 유지부의 회전 중심과의 위치의 어긋남 양을 연산한 후, 이 수단에 의해 구해진 위치 어긋남 양의 유무를 판단한다. 그리고 위치 어긋남 양이 있음으로 판단되었을 때에 기판의 중심과 기판 유지부의 회전 중심이 일치하도록 기판 반송수단에 대하여 기판을 고쳐서 놓게하는 구성으로 한다.

公开(公告)号：KR1020040104421A

公开(公告)日：2004-12-10

申请号：KR1020040040079

申请日：2004-06-02

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이토가즈히코 ,  이시마루가즈토시 ,  오오쿠라준 ,  기노시타미치오 ,  도우키유이치

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67259 ,  B05B12/122 ,  B05B13/0228 ,  Y10S414/136

Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus and a method for adjusting a substrate transfer position are provided to align a substrate with high precision and high speed by obtaining previously position data of a substrate transfer mechanism. CONSTITUTION: A camera unit photographs a mark formed on a surface of a position aligning substrate. An operation unit calculates an amount of misalignment between a center of the position aligning substrate and a center of rotation of a substrate support member by using center position data of locations of the mark photographed before and after rotating the substrate support member by an angle of 180 degrees, respectively. A determination unit judges whether or not the position aligning substrate is aligned with the substrate support member from the amount of misalignment. An adjusting unit repositions the position aligning substrate by the substrate transfer mechanism to allow the center of the position aligning substrate to coincide with the center of rotation of the substrate support member when the position aligning substrate is not aligned with the substrate support member. A storage unit stores position data of the substrate transfer mechanism when the position aligning substrate is aligned with the center of the substrate support member.

Abstract translation: 目的：提供一种基板处理装置和用于调整基板转印位置的方法，通过获得基板转印机构的预先位置数据，以高精度和高速度对准基板。 构成：相机单元拍摄位置对准基板表面上形成的标记。 操作单元通过使用在将基板支撑构件旋转180°之前和之后拍摄的标记的位置的中心位置数据来计算位置对准基板的中心和基板支撑构件的旋转中心之间的未对准量 度。 确定单元从未对准的量判断位置对准基板是否与基板支撑构件对准。 调整单元通过基板传送机构重新定位位置对准基板，以便当位置对准基板与基板支撑构件不对准时，允许位置对准基板的中心与基板支撑构件的旋转中心重合。 当位置对准基板与基板支撑构件的中心对准时，存储单元存储基板传送机构的位置数据。

公开(公告)号：KR1020090120397A

公开(公告)日：2009-11-24

申请号：KR1020090023828

申请日：2009-03-20

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 우에다잇세이 ,  이토가즈히코

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: A substrate processing system is provided to efficiently return a substrate and improve a throughput of processing a substrate. CONSTITUTION: A substrate processing system includes the following steps. A plurality of processing devices for performing a predetermined process on a substrate is laminated in a vertical direction. Moreover, the processing devices are serially arranged in a horizontal direction. A return area for returning a substrate to the processing devices at a location facing the processing devices is formed along with the vertical and horizontal directions of the processing devices. A plurality of returning arms(92) independently and freely moves in vertical and horizontal directions.

Abstract translation: 目的：提供基板处理系统以有效地返回基板并提高处理基板的通过量。 构成：基板处理系统包括以下步骤。 在垂直方向上层叠用于在基板上进行预定处理的多个处理装置。 此外，处理装置沿水平方向串联排列。 与处理装置的垂直和水平方向一起形成用于将面板返回到处理装置的返回区域。 多个返回臂（92）在垂直和水平方向上独立且自由地移动。

公开(公告)号：KR1019980019185A

公开(公告)日：1998-06-05

申请号：KR1019970043251

申请日：1997-08-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 우에다잇세이 ,  아키모토마사미 ,  이토가즈히코 ,  마쓰시타미치아키 ,  가네다마사토시 ,  마쓰야마유지

IPC: H05K13/00

Abstract: 기판처리장치는, 기판을 넣고 빼고 하기 위한 개구부(43)를 갖고, 이 개구부(43)에 붙이고 떼기 가능하게 부착된 덮개(44)를 가진 카세트가 재치되는 카세트 재치대(20)와, 이 카세트 재치대(20)의 카세트내에 수용된 기판을 처리하기 위한 처리부(G1)∼(G5)와, 카세트 재치대(20)의 카세트로부터 기판을 꺼내고, 처리부(G1)∼(G5)에 기판을 반송하고, 처리후의 기판을 카세트 재치대(20)의 카세트에 되돌리는 반송암기구(21)와, 이 반송암기구(21)와 카세트 재치대(20)와의 사이에 설치되고, 반송암기구(21)쪽의 분위기를 카세트 재치대(20)쪽의 분위기로부터 간막이하는 간막이부재(32),(60,)(49)와, 카세트 재치대상의 카세트의 개구부(43)와 마주보도록 간막이부재(60)에 형성되고, 반송암기구(21)에 의하여 카세트 재치대상의 카세트로부터 꺼내진 기판이 통과하고, 또한, 카 세트 재치대상의 카세트로 되돌려지는 기판이 통과하는 통로(33a)와, 이 통로(33a)에 대하여 카세트 재치대상의 카세트의 개구부(43)를 접근시키거나 멀리하거나 하는 카세트 이동기구(80),(82)와, 카세트의 개구부(43)로부터 덮개(44)를 벗기거나 카세트의 개구부(43)에 덮개(44)를 부착하거나 하는 덮개 벗김기구(47)을 구비한다.

公开(公告)号：KR100530699B1

公开(公告)日：2006-02-09

申请号：KR1019970043251

申请日：1997-08-29

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 우에다잇세이 ,  아키모토마사미 ,  이토가즈히코 ,  마쓰시타미치아키 ,  가네다마사토시 ,  마쓰야마유지

IPC: H05K13/00

Abstract: 기판처리장치는, 기판을 넣고 빼고 하기 위한 개구부(43)를 갖고, 이 개구부(43)에 붙이고 떼기 가능하게 부착된 덮개(44)를 가진 카세트가 재치되는 카세트 재치대(20)와,
이 카세트 재치대(20)의 카세트내에 수용된 기판을 처리하기 위한 처리부(G1)∼(G5)와,
카세트 재치대(20)의 카세트로부터 기판을 꺼내고, 처리부(G1)∼(G5)에 기판을 반송하고, 처리후의 기판을 카세트 재치대(20)의 카세트에 되돌리는 반송암기구(21)와,
이 반송암기구(21)와 카세트 재치대(20)와의 사이에 설치되고, 반송암기구(21)쪽의 분위기를 카세트 재치대(20)쪽의 분위기로부터 간막이하는 간막이부재(32),(60,)(49)와,
카세트 재치대상의 카세트의 개구부(43)와 마주보도록 간막이부재(60)에 형성되고, 반송암기구(21)에 의하여 카세트 재치대상의 카세트로부터 꺼내진 기판이 통과하고, 또한, 카세트 재치대상의 카세트로 되돌려지는 기판이 통과하는 통로(33a)와,
이 통로(33a)에 대하여 카세트 재치대상의 카세트의 개구부(43)를 접근시키거나 멀리하거나 하는 카세트 이동기구(80),(82)와,
카세트의 개구부(43)로부터 덮개(44)를 벗기거나 카세트의 개구부(43)에 덮개(44)를 부착하거나 하는 덮개 벗김기구(47)을 구비한다.