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公开(公告)号：KR2020130007503U
公开(公告)日：2013-12-31
申请号：KR2020130004927
申请日：2013-06-19
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L22/34 , G01B11/00 , H01L21/67276 , H01L21/681 , H01L22/10 , H01L22/24
Abstract: 본발명의과제는, 검사의기능을떨어뜨리지않으면서상이한표면검사를행하는검사장치를통합하여케이스내에설치함으로써, 도포현상장치전체에탑재하는기판의처리유닛을늘려기판처리의작업처리량을향상시키는것이다. 기판인웨이퍼(W)를유지하는유지부(120)와, 유지부에유지된웨이퍼를회전시키는회전구동부와, 유지부를수평방향에서이차원으로이동시키는이동기구와, 유지부를수용하는처리용기(110) 내에서, 상기처리용기의외부와의사이에서웨이퍼의전달을행하는전달위치(P1)와, 웨이퍼상에성막된도포막의막두께를측정하기위한프로브(156)와, 유지부에유지된웨이퍼의표면을촬상하는촬상부(150)와, 유지부에유지된웨이퍼의표면을향해서광을조사하고, 연직방향위쪽으로반사된광의광로의방향을수평방향으로설치되는촬상부로향하도록광을반사시키는방향변환부(157)를구비한다.
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公开(公告)号：KR101811078B1
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：KR1020130013263
申请日：2013-02-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 가네다마사토시
IPC: H01L21/02 , H01L21/027
CPC classification number: H01L22/12 , H01L21/02104 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/67178 , H01L21/67276 , H01L21/67288 , H01L22/10
Abstract: 본발명의과제는웨이퍼(W)에대해자외선을조사하여처리를행하는데 있어자외선조사부의광원의교환주기를길게할 수있고, 또한처리량의저하를억제하는것이다. 액처리모듈및 자외선조사모듈을포함하여, 서로동일한일련의처리를행하기위한복수의단위블록에웨이퍼(W)를배분하여전달한다. 그리고하나의단위블록의자외선조사모듈의조도검출값이설정값이하로된 후는다른단위블록을사용하고, 상기하나의단위블록으로이미전달된웨이퍼(W)에대해서는조사시간을조도검출값에따른길이로조정하여조사를행하고, 그후 조사모듈의광원을교환한다. 또한하나의단위블록의조사용광원의사용시간이설정시간에도달했을때, 그단위블록으로의웨이퍼(W)의전달을멈추고, 하나의단위블록으로이미전달된웨이퍼(W)에대해서는통상의조사처리를행한다.
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公开(公告)号：KR100530699B1
公开(公告)日：2006-02-09
申请号：KR1019970043251
申请日：1997-08-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H05K13/00
Abstract: 기판처리장치는, 기판을 넣고 빼고 하기 위한 개구부(43)를 갖고, 이 개구부(43)에 붙이고 떼기 가능하게 부착된 덮개(44)를 가진 카세트가 재치되는 카세트 재치대(20)와,
이 카세트 재치대(20)의 카세트내에 수용된 기판을 처리하기 위한 처리부(G1)∼(G5)와,
카세트 재치대(20)의 카세트로부터 기판을 꺼내고, 처리부(G1)∼(G5)에 기판을 반송하고, 처리후의 기판을 카세트 재치대(20)의 카세트에 되돌리는 반송암기구(21)와,
이 반송암기구(21)와 카세트 재치대(20)와의 사이에 설치되고, 반송암기구(21)쪽의 분위기를 카세트 재치대(20)쪽의 분위기로부터 간막이하는 간막이부재(32),(60,)(49)와,
카세트 재치대상의 카세트의 개구부(43)와 마주보도록 간막이부재(60)에 형성되고, 반송암기구(21)에 의하여 카세트 재치대상의 카세트로부터 꺼내진 기판이 통과하고, 또한, 카세트 재치대상의 카세트로 되돌려지는 기판이 통과하는 통로(33a)와,
이 통로(33a)에 대하여 카세트 재치대상의 카세트의 개구부(43)를 접근시키거나 멀리하거나 하는 카세트 이동기구(80),(82)와,
카세트의 개구부(43)로부터 덮개(44)를 벗기거나 카세트의 개구부(43)에 덮개(44)를 부착하거나 하는 덮개 벗김기구(47)을 구비한다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130091272A
公开(公告)日：2013-08-16
申请号：KR1020130013263
申请日：2013-02-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 가네다마사토시
IPC: H01L21/02 , H01L21/027
CPC classification number: H01L22/12 , H01L21/02104 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/67178 , H01L21/67276 , H01L21/67288 , H01L22/10 , H01L21/0273
Abstract: PURPOSE: A substrate processing apparatus, a substrate processing method, and a storage medium are provided to prevent the degradation of a throughput by increasing an optical source replacement cycle of an ultraviolet irradiation module. CONSTITUTION: A plurality of unit blocks (B1-B6) perform the same process. Each unit block includes a liquid processing module, an ultraviolet irradiation module, and a substrate transfer device. The substrate transfer device transfers a substrate between the liquid processing module and the ultraviolet irradiation module. An illumination detection unit detects the illumination of the ultraviolet irradiation module. A control unit controls the ultraviolet irradiation module.
Abstract translation: 目的：提供基板处理装置，基板处理方法和存储介质，以通过增加紫外线照射模块的光源更换周期来防止吞吐量的劣化。 构成：多个单元块（B1-B6）执行相同的处理。 每个单元块包括液体处理模块，紫外线照射模块和基板转移装置。 基板转印装置在液体处理模块和紫外线照射模块之间传送基板。 照度检测单元检测紫外线照射模块的照明。 控制单元控制紫外线照射模块。
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公开(公告)号：KR1020010113497A
公开(公告)日：2001-12-28
申请号：KR1020010033739
申请日：2001-06-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/68
Abstract: 기판처리장치는 웨이퍼를 출납하기 위한 개구에 착탈 가능하게 부착되는 뚜껑을 구비하는 카세트가 재치되는 재치대와, 이 재치대의 카세트 내에 수용되는 웨이퍼를 처리하기 위한 카세트 스테이션과, 재치대상의 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내어 카세트 스테이션에 반송하고, 처리후의 웨이퍼(W)를 재치대의 카세트에 되돌리는 서브암기구와, 서브암기구 측의 분위기를 카세트 재치대의 측의 분위기로부터 분리시키는 경계판과, 이 경계판의 개구 방향으로 재치대상의 카세트를 이동시키는 슬라이드 스테이지와, 경계판의 개구를 통하여 카세트의 개구로부터 카세트의 뚜껑을 떼어내는 뚜껑 착탈기구와, 슬라이드 스테이지의 추진력을 제어하는 X축 실린더로 구성된다. 이에 따라 처리시스템 내로 웨이퍼를 반입할 때에 카세트와 경계판과의 사이에 손가락 등이 끼는 것을 방지함으로써 확실하고 더 안전하게 웨이퍼를 반입할 수 있다.
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公开(公告)号：KR200487281Y1
公开(公告)日：2018-08-29
申请号：KR2020130004927
申请日：2013-06-19
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 본발명의과제는, 검사의기능을떨어뜨리지않으면서상이한표면검사를행하는검사장치를통합하여케이스내에설치함으로써, 도포현상장치전체에탑재하는기판의처리유닛을늘려기판처리의작업처리량을향상시키는것이다. 기판인웨이퍼(W)를유지하는유지부(120)와, 유지부에유지된웨이퍼를회전시키는회전구동부와, 유지부를수평방향에서이차원으로이동시키는이동기구와, 유지부를수용하는처리용기(110) 내에서, 상기처리용기의외부와의사이에서웨이퍼의전달을행하는전달위치(P1)와, 웨이퍼상에성막된도포막의막두께를측정하기위한프로브(156)와, 유지부에유지된웨이퍼의표면을촬상하는촬상부(150)와, 유지부에유지된웨이퍼의표면을향해서광을조사하고, 연직방향위쪽으로반사된광의광로의방향을수평방향으로설치되는촬상부로향하도록광을반사시키는방향변환부(157)를구비한다.
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公开(公告)号：KR1020150146440A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020150087444
申请日：2015-06-19
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/027 , G03F1/22 , G03F7/20
CPC classification number: H01L21/67069 , B05C11/08 , B05C11/1002 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/31058 , H01L21/311 , H01L21/31138 , H01L21/31144 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H01L21/6715 , H01L21/67748 , H01L21/67751 , H01L21/68742
Abstract: 기판에주는영향을억제하면서, 상압분위기하에서기판의표면에형성된피처리막의일부를제거하는것이가능한기판처리방법등을제공한다. 산소함유분위기하에서자외선을조사함으로써분해되는피처리막의원료를기판(W)에도포하고, 기판(W)에도포된원료를가열하여피처리막을형성한다. 이어서, 피처리막이형성된기판(W)을, 기체의유속이 10 cm/초이하인산소함유분위기의처리실(61) 내에배치하고, 당해기판(W)에자외선을조사하여피처리막의일부를제거한다.
Abstract translation: 提供一种基板处理方法，其能够在抑制对基板的影响的同时，在常压气氛下除去在基板上形成的被处理层的一部分。 将通过在含氧气氛下照射紫外线而分解的被处理层的原料涂布在基板（W）上。 通过加热涂布在基板（W）上的原料来形成被处理层。 接着，将具有被处理层的基板（W）在气体流量为10cm /秒以下的含氧气氛下配置在处理室（61）中。 对基板（W）照射紫外线。 因此，要处理的图层的一部分被删除。
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公开(公告)号：KR1019980019185A
公开(公告)日：1998-06-05
申请号：KR1019970043251
申请日：1997-08-29
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H05K13/00
Abstract: 기판처리장치는, 기판을 넣고 빼고 하기 위한 개구부(43)를 갖고, 이 개구부(43)에 붙이고 떼기 가능하게 부착된 덮개(44)를 가진 카세트가 재치되는 카세트 재치대(20)와, 이 카세트 재치대(20)의 카세트내에 수용된 기판을 처리하기 위한 처리부(G1)∼(G5)와, 카세트 재치대(20)의 카세트로부터 기판을 꺼내고, 처리부(G1)∼(G5)에 기판을 반송하고, 처리후의 기판을 카세트 재치대(20)의 카세트에 되돌리는 반송암기구(21)와, 이 반송암기구(21)와 카세트 재치대(20)와의 사이에 설치되고, 반송암기구(21)쪽의 분위기를 카세트 재치대(20)쪽의 분위기로부터 간막이하는 간막이부재(32),(60,)(49)와, 카세트 재치대상의 카세트의 개구부(43)와 마주보도록 간막이부재(60)에 형성되고, 반송암기구(21)에 의하여 카세트 재치대상의 카세트로부터 꺼내진 기판이 통과하고, 또한, 카 세트 재치대상의 카세트로 되돌려지는 기판이 통과하는 통로(33a)와, 이 통로(33a)에 대하여 카세트 재치대상의 카세트의 개구부(43)를 접근시키거나 멀리하거나 하는 카세트 이동기구(80),(82)와, 카세트의 개구부(43)로부터 덮개(44)를 벗기거나 카세트의 개구부(43)에 덮개(44)를 부착하거나 하는 덮개 벗김기구(47)을 구비한다.
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