公开(公告)号：KR1020170007123A

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：KR1020160082450

申请日：2016-06-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 오쿠무라도모노리 ,  아지시다카시 ,  츠가오게이스케

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC classification number: B08B9/0325 ,  B08B2203/0229 ,  C11D11/0047 ,  G05D7/0635 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67253

Abstract: 배기관에막힘이발생한것을검출할수 있는기판처리장치및 기판처리장치에있어서의배기관의막힘검출방법을제공한다. 실시형태의일양태에따른기판처리장치는챔버와제1 측정부와배기관과조정밸브와개방도검출부와밸브제어부와막힘검출부를구비한다. 챔버는처리유체를이용하여처리되는기판을수용한다. 제1 측정부는챔버의내압을측정한다. 배기관은챔버로부터의배기가흐른다. 조정밸브는배기관의배기량을조정한다. 개방도검출부는조정밸브의밸브개방도를검출한다. 밸브제어부는제1 측정부의측정결과에기초하여내압을규정범위내로유지하도록조정밸브의밸브개방도를제어한다. 막힘검출부는개방도검출부에의해검출된밸브개방도에기초하여배기관의막힘을검출한다.

Abstract translation: 公开了一种基板处理装置，包括室，第一测量单元，排气管，调节阀，开度检测单元，阀控制器和堵塞检测单元。 在其中容纳有通过使用处理流体处理的基板。 第一测量单元测量腔室的内部压力。 来自腔室的废气流经排气管。 调节阀调节排气管的排气量。 开度检测单元检测调节阀的开度。 阀控制器基于第一测量单元的测量结果控制调节阀的开度，以将内部压力保持在指定范围内。 堵塞检测单元基于由开度检测单元检测到的阀开度来检测排气管的堵塞。

公开(公告)号：KR1020160103511A

公开(公告)日：2016-09-01

申请号：KR1020160016976

申请日：2016-02-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 미나미다준야 ,  아이우라가즈히로 ,  츠가오게이스케 ,  다나카미츠오 ,  후지모토세이야 ,  요네카와히로키 ,  가메시마야스코 ,  오츠카다카히사

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/60

Abstract: 처리실의분위기조정용의가스의사용량의삭감. 기판처리장치는, 처리실(20) 내에분위기조정용의제1 가스예컨대드라이에어를공급하는가스공급부(80)와, 기판(W)을유지하는기판유지부(30)의주위를둘러싸는컵(50) 내의가스를배기하는컵 배기로(53)와, 컵밖의처리실내의가스를배기하는처리실배기로(55)와, 처리실로부터배기된컵 밖의처리실내의가스를처리실로복귀시키는복귀로(59)를갖는다. 처리실로부터배기된컵 밖의가스처리실배기로로부터배기되는제1 상태와, 처리실로부터배기된컵 밖의가스가복귀로를통하여처리실에복귀되는제2 상태를전환하는배기전환기구(60)가마련되어있다.

Abstract translation: 用于调节处理室气氛的废气量减少了。 衬底处理室包括：气体供应单元（80），其供应第一气体，例如用于调节处理室（20）中的气氛的干燥空气; 在包围保持基板（W）的基板保持单元（30）的杯（50）内排出气体的杯排出路径（53）。 处理室排出路径（55），其将处理室内的气体排出杯外; 以及返回路径（59），其将处理室中的处理室中的气体从处理室排出的杯子返回到处理室。 设置有排出切换机构60，其切换从处理室排出的杯外的气体处理室排出路径排出气体的第一状态，以及使从处理室排出的杯外的气体返回的第二状态， 通过返回路径到处理室。