公开(公告)号：KR102030945B1

公开(公告)日：2019-10-10

申请号：KR1020187012327

申请日：2013-02-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 요시하라고오스케 ,  이치노가츠노리 ,  후루쇼도시노부 ,  사사다카시 ,  츠치야가츠히로 ,  데라시타유이치 ,  다케구치히로후미

IPC: H01L21/027

公开(公告)号：KR1020140129040A

公开(公告)日：2014-11-06

申请号：KR1020147023306

申请日：2013-02-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 요시하라고오스케 ,  이치노가츠노리 ,  후루쇼도시노부 ,  사사다카시 ,  츠치야가츠히로 ,  데라시타유이치 ,  다케구치히로후미

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/302 ,  B01D19/00 ,  B05C11/10 ,  G03F7/30

CPC classification number: B01D19/0063 ,  B01D19/0031 ,  B01D19/0068 ,  G03F7/16 ,  G03F7/30 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/0274

Abstract: 피처리 기판에 처리액을 공급하는 처리액 공급 노즐에 접속되는 액 처리 장치이며, 처리액 저류 용기와 당해 처리액 공급 노즐을 접속하는 공급관로와, 공급관로에 설치된 필터 장치와, 필터 장치의 2차측의 펌프와, 펌프의 토출측과 필터 장치의 흡입측을 접속하는 순환관로와, 펌프의 2차측의 공급관로에 설치된 공급 제어 밸브와, 순환관로에 설치된 순환 제어 밸브와, 펌프, 공급 제어 밸브 및 순환 제어 밸브를 제어하는 제어 장치를 구비하고, 제어 장치에 의해, 공급 제어 밸브를 폐쇄함으로써 당해 처리액 공급 노즐로부터 피처리 기판으로의 처리액의 공급이 정지하고 있을 때에, 순환 제어 밸브를 개방하여, 펌프를 구동하고, 필터 장치를 갖는 공급관로와 순환관로 사이에서 처리액이 순환된다.

Abstract translation: 一种与供给处理溶液供给到基板的供给喷嘴连接的固溶处理装置，具备：将处理液储存容器与供给喷嘴连接的供给管路; 设置在所述供给管道中的过滤装置; 过滤装置的二次侧的泵; 连接泵的排出侧和过滤装置的进气侧的循环管路; 供给控制阀，其设置在所述供给管路中的所述泵的次级侧; 设置在循环管道中的循环控制阀; 以及控制单元，其中，当通过关闭所述供给控制阀来停止从所述供给喷嘴向所述基板供给所述处理液时，所述控制单元打开所述循环控制阀并驱动所述泵，从而使所述处理液在所述供给管线 具有过滤装置和循环管道。