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公开(公告)号:KR101909884B1
公开(公告)日:2018-10-22
申请号:KR1020160151375
申请日:2016-11-14
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/20 , G03F7/004 , C08L61/14 , C09D161/14
CPC classification number: G03F7/091 , C08F220/18 , C08F220/30 , C08F220/32 , C08F2220/302 , C08F2220/325 , C08G63/685 , C08G63/78 , C09D5/006 , C09D133/08 , C09D133/14 , C09D167/00 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2006 , G03F7/327
Abstract: 바람직한양태에서, 1) 하나이상의글리시딜기; 및 2) 각각히드록시, 티올및/또는아민잔기를포함하는둘 이상의치환기를포함하는하나이상의방향족기를포함하는유기코팅조성물, 특히오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지코팅조성물이제공된다. 또한, 카테콜-함유중합체및 이의제조방법이제공된다.
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公开(公告)号:KR1020170071412A
公开(公告)日:2017-06-23
申请号:KR1020160151375
申请日:2016-11-14
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/20 , G03F7/004 , C08L61/14 , C09D161/14
CPC classification number: G03F7/091 , C08F220/18 , C08F220/30 , C08F220/32 , C08F2220/302 , C08F2220/325 , C08G63/685 , C08G63/78 , C09D5/006 , C09D133/08 , C09D133/14 , C09D167/00 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2006 , G03F7/327
Abstract: 바람직한양태에서, 1) 하나이상의글리시딜기; 및 2) 각각히드록시, 티올및/또는아민잔기를포함하는둘 이상의치환기를포함하는하나이상의방향족기를포함하는유기코팅조성물, 특히오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지코팅조성물이제공된다. 또한, 카테콜-함유중합체및 이의제조방법이제공된다.
Abstract translation: 在一个优选实施方案中:1)一个或多个缩水甘油基; 和2)各自是羟基,该抗反射涂料组合物提供了一种用于与硫醇和/或包含a。至少一种含芳族含胺部分多于一个取代基,尤其是外涂光刻胶的有机涂料组合物,使用 。 还提供了含儿茶酚的聚合物及其制备方法。
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公开(公告)号:KR1020170114257A
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:KR1020170039470
申请日:2017-03-28
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/038 , G03F7/032 , G03F7/033 , C09D163/00
CPC classification number: C08L67/00 , C08F220/14 , C08L33/08 , C08L63/00 , G03F7/091 , G03F7/16 , C08F220/20 , C08F216/165
Abstract: 유기코팅조성물, 특히오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지(antireflective) 코팅조성물이제공되고, 상기조성물은 2종이상의수지의배합물을포함하고, 여기서하나의수지는폴리머골격에펜던트되거나융합된에폭시기를갖는다. 바람직한코팅조성물은하기를포함한다: 1) 1종이상의에폭시반응성기를포함하는제1 수지; 및 2) 상기제1 수지와구별되고에폭시기를포함하는가교결합제수지.
Abstract translation: 提供了用于有机涂料组合物,特别是外涂光刻胶的抗反射涂料组合物,其中所述组合物包含两种或更多种树脂的组合,其中一种树脂悬挂在聚合物主链上, Lt。 优选的涂料组合物包括:1)包含一个或多个环氧反应性基团的第一树脂; 以及2)与第一树脂不同且包含环氧基团的交联剂树脂。
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