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公开(公告)号：WO2019190171A1
公开(公告)日：2019-10-03
申请号：PCT/KR2019/003513
申请日：2019-03-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 전자 장치 및 그 제어 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 전자 장치의 제어 방법은 현재 프레임을 입력받는 단계, 이전 프레임과 현재 프레임을 바탕으로 현재 프레임 중 움직임이 있는 영역을 판단하는 단계, 움직임이 있는 영역에 기초하여 현재 프레임을 인공지능 학습 모델에 입력하여 현재 프레임에 포함된 적어도 하나의 오브젝트에 대한 정보를 획득하는 단계 및 획득된 적어도 하나의 오브젝트에 대한 정보를 이용하여 움직임이 있는 영역에 포함된 오브젝트를 판단하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 전자 장치는 촬영된 영상을 구성하는 프레임에 포함된 오브젝트를 보다 신속하게 판단할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2019182269A1
公开(公告)日：2019-09-26
申请号：PCT/KR2019/002592
申请日：2019-03-06
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 개시는 기계 학습 알고리즘을 활용하는 인공지능(AI) 시스템 및 그 응용에 관련된 것이다. 전자 장치가 개시된다. 본 전자 장치는 DNN(Deep Neural Network)에 기반하여 이미지 처리에 이용되는 복수의 필터에 대한 파라미터를 결정하도록 학습된 인공지능 모델이 저장된 저장부, 인공지능 모델을 통해, 입력된 이미지에 대한 이미지 처리에 이용되는 복수의 필터 각각에 대한 파라미터를 결정하고, 결정된 파라미터를 바탕으로 복수의 필터를 통해 입력된 이미지에 대한 필터링을 수행하여, 입력된 이미지에 대한 이미지 처리를 수행하는 프로세서를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020170066080A
公开(公告)日：2017-06-14
申请号：KR1020150172658
申请日：2015-12-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H05H1/46
CPC classification number: H01L21/324 , H01J37/32082 , H01J37/32633 , H01J37/32715 , H01J37/32834 , H01L21/3003 , H01L21/67115 , H01L21/68757
Abstract: 본발명은배플플레이트, 플라스마챔버, 및기판처리방법에관한것으로서, 더욱구체적으로는기판이안착될수 있는서셉터(susceptor); 및상기서셉터를둘러싸고반응공간을정의하는챔버하우징을포함하는플라스마챔버를제공한다. 상기플라스마챔버는상기서셉터의주위를환상(環狀)으로둘러싸는배플플레이트를포함할수 있다. 상기배플플레이트는도전성물질의제 1 층및 비도전성물질의제 2 층을포함하고, 상기제 2 층이상기제 1 층보다상기반응공간에더 가까이위치할수 있다. 본발명의배플플레이트를이용하면아크발생이방지되거나현저하게감소하여파티클오염이줄어들고, 또한더 높은파워를인가할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 挡板，等离子体室和基板处理方法技术领域本发明涉及挡板，等离子体室和基板处理方法，并且更具体地涉及挡板，等离子体室和基板处理方法。 还有一个包围感受器并限定反应空间的腔室。 等离子体室可以包括环形地围绕感受器的挡板。 挡板可以包括第一层导电材料和第二层非导电材料，并且可以比覆盖基层的第二层更靠近反应空间。 当使用本发明的挡板时，防止或显着减少电弧产生，从而减少颗粒污染并且可以施加更高的功率。
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公开(公告)号：KR1020160021958A
公开(公告)日：2016-02-29
申请号：KR1020140107130
申请日：2014-08-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H05H1/46
CPC classification number: H01J37/32192 , H01J37/3244 , H01J37/32853 , H01J2237/332 , H01J2237/334 , H01J2237/335 , H01L21/0262 , H01L21/302 , H01L21/31058 , H01L21/324 , H01L21/3247
Abstract: 본발명은플라즈마처리장치및 기판처리방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른플라즈마처리장치는내부공간을형성하는공정챔버; 상기내부공간의가스를플라즈마로여기하는마이크로파인가유닛; 상기챔버의내측벽에형성되어, 상기내부공간의상부로제 1 공정가스를분사하는제 1 노즐; 상기챔버의내측벽에형성되어, 상기내부공간의하부로제 2 공정가스를분사하는제 2 노즐을포함한다.
Abstract translation: 等离子体处理装置及基板处理装置技术领域本发明涉及等离子体处理装置及基板处理装置。 根据本发明的实施例，等离子体处理装置包括：形成内部空间的处理室; 微波施加单元，其通过等离子体激发内部空间中的气体; 形成在所述室的内壁上的第一喷嘴，以将第一处理气体喷射到所述内部空间的上部; 以及形成在所述室的内壁上的第二喷嘴，以将第二处理气体喷射到所述内部空间的下部。 因此，本发明有效地处理基板。
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公开(公告)号：KR100630722B1
公开(公告)日：2006-10-02
申请号：KR1020040101535
申请日：2004-12-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06F11/26
Abstract: 반도체 칩의 고장 진단의 매칭 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 매칭 방법은, 공통 부분, 예측 실패, 잘못된 예측의 경우는 테스트 결과와 시뮬레이션 결과를 비교하여 그 차이를 고려하여 계산하고, 완전일치 공통 부분의 경우에는 출력 단자의 수를 고려하여 가중치를 두어 계산한다. 본 발명에 따른 매칭 방법은, 고장 진단의 정확도를 높임으로써 결함의 위치를 찾는 노력과 비용을 줄일 수 있고, 수율의 증가로 이어져 막대한 경제적 이득을 올릴 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050112371A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：KR1020040037429
申请日：2004-05-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/45544 , C23C16/45565
Abstract: 웨이퍼 내 균일성 및 단차 도포성을 향상시킬 수 있는 샤워헤드 및 이를 갖는 원자층 증착 장치에서, 상기 샤워헤드는 하부면 및 중심축을 갖는 원반 형상의 본체와 상기 본체의 내부에 상기 중심축과 인접하며 수직 방향으로 연장되어 상기 본체의 외부로부터 제1 반응 가스를 공급하기 위한 제1 라인을 갖는다. 또한 상기 제1 라인의 하부로부터 수평 방향으로 연장되어 상기 제1 반응 가스를 전달하기 위한 제2 라인들, 상기 제1 라인과 제2 라인들의 연결 부위로부터 상기 제2 라인들을 따라 반경 방향으로 소정거리 이격된 부위에서 상기 하부면까지 연장되고 상기 이격된 부위로부터 상기 하부면의 중심을 향하는 소정의 경사각을 갖는 제1 분사라인들 및 상기 제1 분사라인들과 상기 제2 라인들의 연결 부위로부터 제2 라인들을 따라 반경 방향으로 연장된 부위에서 상기 하부면까지 수직 방향으로 연장되는 제2 분사라인들을 갖는다. 따라서, 웨이퍼 중앙부로 반응 가스를 공급할 수 있는 동시에 중앙부로의 직접적인 반응 가스 플로우를 약화시켜 웨이퍼 내 균일성 및 단차 도포성을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020050066241A
公开(公告)日：2005-06-30
申请号：KR1020030097504
申请日：2003-12-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 본 발명은 반도체 제조 설비에 사용되는 나선형 주름관에 관한 것이다. 종래의 환상형 주름관은 유체 부산물이 주름 사이에 축적되어 유체의 흐름을 방해하고 세정 작업이 원활하게 이루어지지 않는 문제점이 있었다. 본 발명에 따른 나선형 주름관은 주름이 배관의 둘레를 따라 나선형으로 선회하면서 이어지도록 형성된다. 따라서, 주름관의 장점인 유연성을 겸비하면서도, 부산물 축적이 효율적으로 방지되고 유체의 이송 흐름이 원활하게 이루어지며 세정 작업을 통한 부산물 제거가 용이하다.
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公开(公告)号：KR1020010070121A
公开(公告)日：2001-07-25
申请号：KR1020000057890
申请日：2000-10-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04L12/28
CPC classification number: H04Q11/0478 , H04L2012/5635
Abstract: PURPOSE: A method is provided to be capable of securing minimum cell loss and maximum link utilization degree regardless of reciprocation time delay of an ABR(Available Bit Rate) loop. CONSTITUTION: A packet switched network includes a plurality of interconnected nodes(4,6,8,10), and each node connects a plurality of sources for transferring and receiving data and a data queue for storing data transferred from the sources. The data queue is related to current queue length and target value. Each node estimates the number of local bottleneck virtual lines using a minimum transfer rate to be secured and a data transfer rate from a corresponding source. The data transfer rate is allotted to each source based on a differential value of the current queue length, a difference between the current queue length and target value, and the estimated number of local bottleneck virtual lines, and the data transfer rate is allotted through a feedback signal transferred to each source.
Abstract translation: 目的：提供一种能够确保最小信元丢失和最大链路利用率的方法，而不管ABR（可用比特率）循环的往复时间延迟。 构成：分组交换网络包括多个互连节点（4,6,8,10），并且每个节点连接用于传送和接收数据的多个源以及用于存储从源传送的数据的数据队列。 数据队列与当前队列长度和目标值相关。 每个节点使用要保护的最小传输速率和来自相应源的数据传输速率来估计本地瓶颈虚拟线路的数量。 基于当前队列长度的差值，当前队列长度和目标值之间的差异以及本地瓶颈虚拟线路的估计数量，将数据传输速率分配给每个源，并通过一个 反馈信号传输到每个源。
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