公开(公告)号：KR1020070070487A

公开(公告)日：2007-07-04

申请号：KR1020050133102

申请日：2005-12-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 배종환 ,  황인복 ,  임장빈 ,  김광남

IPC: H01L21/68

Abstract: A substrate transfer apparatus is provided to prevent a gas existing in a front opening unified pod from being diffused outwardly by using a gas suction part. A load port(110) supports a receptacle receiving plural substrates(10). A substrate transfer chamber(120) is located between the load port and a substrate processing module, and has a substrate transfer robot for transferring the substrate and an entrance for the receptacle and the substrate. A gas suction part is provided at the entrance to sucking gas which is leaked between the receptacle and the substrate transfer chamber. The gas suction part has a frame with plural gas sucking holes and a pump connected to the gas sucking holes.

Abstract translation: 提供了一种基板传送装置，用于防止存在于前开口统一的盒中的气体通过使用气体吸入部而向外扩散。 负载端口（110）支撑容纳多个基板（10）的插座。 衬底传送室（120）位于负载端口和衬底处理模块之间，并且具有用于传送衬底和用于插座和衬底的入口的衬底传送机器人。 在吸入口的入口处设置有气体吸入部，该吸入气体在容器和基板输送室之间泄漏。 吸气部具有带有多个吸气孔的框架和与气体吸入孔连接的泵。

公开(公告)号：KR1020050068021A

公开(公告)日：2005-07-05

申请号：KR1020030099064

申请日：2003-12-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박해중 ,  임상만 ,  배종환

IPC: H01L21/3065

Abstract: 진공 제어 장치는 로봇 암의 블레이드들 사이에 형성된 다수개의 슬롯들로 진공을 제공하기 위한 진공 펌프를 포함한다. 진공 펌프에서 발생된 진공을 각 슬롯들로 독립적으로 전달하기 위한 다수개의 진공 라인들이 진공 펌프와 각 슬롯들 사이에 연결된다. 각 진공 라인에는 진공의 흐름을 제어하기 위한 밸브들이 개별적으로 설치된다. 각 슬롯에는 각 진공 라인을 통해 제공되는 진공의 압력을 측정하는 압력 센서들이 배치된다. 압력 센서들에서 감지된 진공 압력에 따라 밸브를 제어하는 제어부가 압력 센서들에 전기적으로 연결된다. 로봇 암의 각 슬롯들로 진공을 개별적으로 제공할 수가 있게 되므로써, 진공 손실이 방지된다. 따라서, 진공 부족으로 웨이퍼가 로봇 암에서 추락하는 사고가 방지된다.

公开(公告)号：KR1020080005662A

公开(公告)日：2008-01-15

申请号：KR1020060064263

申请日：2006-07-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강태우 ,  임장빈 ,  배종환 ,  이병삼 ,  김대운

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67201

Abstract: An apparatus for attaching or detaching a cover of a chamber is provided to prevent a shower head attached to a bottom surface of the cover from being damaged by preventing the cover and a container body from being collided with each other at the time of attaching or detaching the cover. An apparatus(100) for attaching or detaching a cover(14) of a chamber includes a supporting unit(110) and a driving unit(120). The supporting unit is attached to the cover attachable to or detachable from a container body(12). The supporting unit is attached to the container body. The driving unit linearly moves the supporting unit so as to attach or detach the cover to or from the container body. Plural driving units are arranged along the circumference of the container body at a predetermined interval. The supporting unit is projected to the outside of the cover. The supporting unit and the driving unit are attachable or detachable.

Abstract translation: 提供一种用于安装或拆卸室的盖子的装置，以防止在安装或拆卸时防止盖子和容器主体相互碰撞而附着在盖的底表面上的淋浴头被损坏 封面。 用于安装或拆卸腔室的盖子（14）的装置（100）包括支撑单元（110）和驱动单元（120）。 支撑单元附接到可附接到容器主体（12）上或从容器主体（12）拆卸的盖子。 支撑单元附接到容器主体。 驱动单元直线地移动支撑单元，以将盖与容器主体相连或者分离。 多个驱动单元以预定间隔沿容器主体的圆周布置。 支撑单元投影到盖的外侧。 支撑单元和驱动单元是可附接或可拆卸的。

公开(公告)号：KR100141642B1

公开(公告)日：1998-08-17

申请号：KR1019950001738

申请日：1995-01-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우병구 ,  홍순호 ,  김동기 ,  배종환

IPC: H04W84/00

Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
무선호출시스템에서 무선호출 호를 처리하는 방법에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
무선호출시스템에서 수용 능력을 높이기 위해 비트전송율을 높이는 것이 구현하기가 곤란하고 많은 가입자들을 수용하는데에는 한계가 있으며 호처리에 많은 시간이 소요되는 것을 개선한다.
3. 발명의 해결방법의 요지
할당된 무선주파수 채널과 프레임에 따른 계층별로 큐를 구성하고, 일정시간 동안 발생되는 무선호출호를 프레임별 큐에 저장하며, 프레임별 큐를 호 데이타의 유무에 대응하여 미리 설정된 순서로 검색하여, 검색한 순서대로 호 데이타를 엔코딩 포맷으로 포맷팅한다.
4. 발명의 중요한 용도
무선호출 시스템에서 호처리에 소요되는 시간을 단축시켜 보다 보다 많은 가입자들을 효율적으로 수용토록 한다.

公开(公告)号：KR1019960030729A

公开(公告)日：1996-08-17

申请号：KR1019950001738

申请日：1995-01-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우병구 ,  홍순호 ,  김동기 ,  배종환

IPC: H04W84/00

Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
무선호출시스템에서 무선호출 호를 처리하는 방법에 관한 것이다.
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
무선호출시스템에서 수용 능력을 높이기 위해 비트전송율을 높이는 것이 구현하기가 곤란하고 많은 가입자들을 수용하는데에는 한계가 있으며 호처리에 많은 시간이 소요되는 것을 개선한다.
3. 발명의 해결방법의 요지
할당된 무선주파수 채널과 프레임에 따른 계층별로 큐를 구성하고, 일정시간 동안 발생되는 무선호출호를 프레임별 큐에 저장하며, 프레임별 큐를 호 데이타의 유무에 대응하여 미리 설정된 순서로 검색하여, 검색한 순서대로 호 데이타를 엔코딩 포맷으로 포맷팅한다.
4. 발명의 중요한 용도
무선호출 시스템에서 호처리에 소요되는 시간을 단축시켜 보다 보다 많은 가입자들을 효율적으로 수용토록 한다.