레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치 및 이를 이용한 점진적으로 크기가 변화하는 나노패턴의 제조방법
    1.
    发明授权
    레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치 및 이를 이용한 점진적으로 크기가 변화하는 나노패턴의 제조방법 有权
    激光全息照相装置及使用其的尺寸梯度纳米图案的制造方法

    公开(公告)号:KR101527396B1

    公开(公告)日:2015-06-09

    申请号:KR1020140070028

    申请日:2014-06-10

    Abstract: 본발명은대면적에효율적으로나노스케일의패턴을형성할수 있는레이저홀로그래픽리소그래피장치및 이를이용한점진적으로크기가변화하는나노패턴의제조방법을위하여, 레이저광원, 상기레이저광원으로부터조사된레이저빔의노이즈를제거하고동시에빔 사이즈를확장시키는공간필터, 상기공간필터로부터확장된레이저빔이조사될수 있으며, 웨이퍼홀더및 반사거울이부가된, 웨이퍼스테이지및 상기웨이퍼홀더상에위치하며, 상기공간필터로부터바로입사되는제 1 평행광및 상기반사거울에의하여입사하는제 2 평행광이입사될수 있는, 가변밀도필터를포함하는, 레이저홀로그래픽리소그래피장치를제공한다.

    Abstract translation: 对于激光全息光刻设备和使用其的尺寸梯度纳米图案的制造方法,激光全息光刻设备包括激光束源,空间滤光器,其消除从激光束源发射的激光束的噪声并且扩展 光束尺寸同时可以从空间滤光片发射扩展的激光束并且具有晶片保持器和后反射镜的晶片台和位于晶片保持器上的可变浓度滤光器,并且透射发射的第一平行射线 从空间滤光器和从后视镜发射的第二平行光线。

    단결정 AlN 성장 방법
    2.
    发明公开
    단결정 AlN 성장 방법 无效
    单晶AlN生长方法

    公开(公告)号:KR1020170091965A

    公开(公告)日:2017-08-10

    申请号:KR1020160012916

    申请日:2016-02-02

    Abstract: 상온과같은저온에서도스퍼터링과같은 PVD 방법을이용해단결정 AlN을성장시킬수 있는방법을제공한다. 본발명에따른단결정 AlN 성장방법은기판위에상기기판과 AlN 사이의격자상수차이를줄여주는금속층을형성하는단계; 및상기금속층위에 PVD 방법으로단결정 AlN을성장시키는단계를포함한다.

    Abstract translation: 提供了即使在低温如室温下也使用诸如溅射的PVD方法生长单晶AlN的方法。 根据本发明的另一方面,提供了一种生长单晶AlN的方法,包括:在衬底上形成金属层以减小衬底和AlN之间的晶格常数的差异; 并通过PVD在金属层上生长单晶AlN。

    반도체 자외선 발광소자
    3.
    发明公开
    반도체 자외선 발광소자 审中-实审
    半导体超紫外线发光器件

    公开(公告)号:KR1020170021974A

    公开(公告)日:2017-03-02

    申请号:KR1020150116301

    申请日:2015-08-18

    CPC classification number: H01L33/08 H01L33/06 H01L33/12 H01L33/20 H01L33/32

    Abstract: 본발명의일 실시예는, 기판과, 상기기판상에배열된복수의나노로드를갖는제1 AlN 층과, 복수의나노로드사이에보이드가존재하도록제1 AlN 층상에배치된제2 AlN 층과, 상기제2 AlN 층상에배치되며, 제1 도전형 AlGaN 층을갖는제1 도전형질화물층과, 상기제1 도전형질화물층상에배치되며, AlInGaN(0≤x+y≤1, 0≤y

    Abstract translation: 一种半导体紫外线发射装置,包括:基板; 缓冲层,其设置在所述基板上并且包括多个纳米棒,在所述多个纳米棒之间形成有多个空隙; 第一导电氮化物层,设置在所述缓冲层上并具有第一导电AlGaN层; 设置在第一导电氮化物层上并具有包括Al x In y Ga 1-x-y N(0≤x+y≤1,0≤y<0.15)的量子阱的有源层)。 以及设置在所述有源层上并具有第二导电AlGaN层的第二导电氮化物层,其中所述多个纳米棒满足3.5≤n(λ)×D /λ≤5.0,其中λ表示由所述活性物质产生的光的波长 层,n(λ)表示波长为λ的多个纳米棒的折射率,D表示多个纳米棒的直径。

    도어의 래치 장치
    4.
    发明授权
    도어의 래치 장치 有权
    门锁装置

    公开(公告)号:KR101291466B1

    公开(公告)日:2013-07-30

    申请号:KR1020120059993

    申请日:2012-06-04

    Abstract: PURPOSE: A door latch device is provided to prevent a collision between a user and a hinged door opened by an opponent when the user opens the door or stands around the door. CONSTITUTION: A door latch device includes a latch unit (100), a connection driving unit (300), a first slide unit, and a second slide unit. The latch unit includes a first latch bolt (110a) and a second latch bolt (110b) possible to move forward and backward. The connection driving unit includes a first knob shaft (340a) and a second knob shaft which are rotated by receiving power from outside; a first slide hooking bracket (310) converting a rotational motion of the first knob shaft into a linear motion; and a second slide hooking bracket converting a rotational motion of the second knob shaft into a linear motion. The first slide unit connects the first slide hooking bracket to the first latch bolt. The second slide unit connects the second slide hooking bracket to the second latch bolt.

    Abstract translation: 目的:提供一种门锁装置,用于当用户打开门或站在门周围时,防止使用者和对方打开的铰链门之间的碰撞。 构成:门闩装置包括闩锁单元(100),连接驱动单元(300),第一滑动单元和第二滑动单元。 闩锁单元包括可能向前和向后移动的第一闩锁螺栓(110a)和第二闩锁螺栓(110b)。 连接驱动单元包括通过从外部接收动力而旋转的第一旋钮轴(340a)和第二旋钮轴; 将所述第一旋钮轴的旋转运动转换为直线运动的第一滑动支架(310) 以及将所述第二旋钮轴的旋转运动转换为直线运动的第二滑动支架。 第一滑动单元将第一滑动支架支撑到第一闩锁螺栓。 第二滑动单元将第二滑动支架支撑在第二闩锁螺栓上。

Patent Agency Ranking