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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102027138B1
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：KR1020130076812
申请日：2013-07-02
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/0236
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公开(公告)号：KR101539907B1
公开(公告)日：2015-08-06
申请号：KR1020150010717
申请日：2015-01-22
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/0236 , H01L31/18 , H01L31/0392 , H01L31/0224
CPC classification number: H01L31/02366 , Y02E10/50 , H01L31/022466 , H01L31/0392 , H01L31/18
Abstract: 본발명은패턴화된태양전지용유리기판식각방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른패턴화된태양전지용유리기판식각방법은불산을포함하는식각용액으로유리기판을식각하는식각단계; 및상기식각단계에서생성된부산물을염산을포함하는세척액으로세척하는세척단계를포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于太阳能电池的图案化玻璃基板的蚀刻方法。 根据本发明实施例的用于太阳能电池的图案化玻璃基板的蚀刻方法包括：蚀刻步骤，通过包含氢氟酸的蚀刻溶液蚀刻玻璃基板; 以及通过使用包含盐酸的清洗溶液清洗在蚀刻步骤中产生的副产物的清洁步骤。
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公开(公告)号：KR1020150004456A
公开(公告)日：2015-01-13
申请号：KR1020130076812
申请日：2013-07-02
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/04 , H01L31/0236 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/04 , H01L31/0236 , H01L31/18
Abstract: 멀티 스케일의 요철이 형성된 태양 전지 기판의 제조방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 멀티 스케일의 요철이 형성된 태양 전지 기판의 제조방법은 유리 기판을 준비하는 단계; 상기 유리 기판 상에 제1마스크층를 증착하는 단계; 상기 제1마스크층 상에 포토레지스트를 코팅하는 단계; 상기 포토레지스트 상에 일정 패턴이 형성된 제2마스크를 위치시키고, 상기 패턴에 맞게 상기 포토레지스트를 광식각하는 단계; 상기 제2마스크를 제거하고, 상기 포토레지스트에서 광식각된 부분과 접촉되는 상기 제1마스크층의 부분을 젝하는 단계; 상기 포토레지스트를 제거하고, 상기 식각된 제1마스크층의 부분과 접촉되는 상기 유리 기판의 표면 부분을 습식 식각하여 상기 유리 기판의 표면에 제1요철을 형성하는 단계; 상기 제1요철이 형성된 부분을 연무화 식각하여 상기 유리 기판의 표면에 제2요철을 형성하는 단계; 및 상기 제1마스크층를 제거하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 公开了一种具有多尺度不平坦区域的太阳能电池基板的制造方法。 制造具有多尺度不平坦区域的太阳能电池基板的方法包括以下步骤：制备玻璃基板; 在玻璃基板上沉积第一掩模层; 在第一掩模层上涂覆光致抗蚀剂; 在光致抗蚀剂上定位具有预定图案的第二掩模，并根据图案对光刻胶进行光刻; 去除第二掩模并去除与光致抗蚀剂的光刻区域接触的第一掩模层的区域; 通过湿法蚀刻与第一掩模层的蚀刻区域接触的玻璃基板的表面积，去除光致抗蚀剂并在玻璃基板的表面上形成第一不平坦区域; 通过蒸镀蚀刻所述第一凹凸部而形成第二凹凸区域; 并移除第一掩模层。
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4.发明授权
公开(公告)号：KR101506116B1
公开(公告)日：2015-03-26
申请号：KR1020140062175
申请日：2014-05-23
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L31/046 , H01L31/18 , H01L31/04 , H01L21/027
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/046 , H01L21/027 , H01L31/04 , H01L31/18
Abstract: 본 발명은 패턴화된 태양전지용 유리기판을 제조하는 방법 및 패턴화된 태양전지용 유리기판을 이용한 태양전지 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 패턴화된 태양전지용 유리기판을 제조하는 방법은, 유리 기판을 준비하는 단계; 상기 유리 기판 상에 마스크층을 증착하는 단계; 상기 마스크층 상에 포토레지스트를 코팅하는 단계; 상기 포토레지스트 상에 패턴이 형성된 마스크를 위치시키고 포토리소그래피 공정을 통해 패터닝하는 단계; 패터닝된 포토레지스트를 마스크로 이용하여 상기 마스크층을 패터닝하는 단계; 상기 패터닝된 포토레지스트를 제거하고, 상기 패터닝된 마스크층을 이용하여 유리 기판의 표면 부분을 식각하여 상기 유리 기판의 표면에 요철을 형성하는 단계; 및 상기 마스크층을 제거하는 단계를 포함한다.Abstract translation: 本发明涉及一种太阳能电池用图案化玻璃基板的制造方法及使用太阳能电池用图案化玻璃基板的太阳能电池的制造方法。 根据本发明实施例的制造用于太阳能电池的图案化玻璃基板的方法包括以下步骤：制备玻璃基板; 在玻璃基板上沉积掩模层; 在掩模层上涂覆光致抗蚀剂; 在光致抗蚀剂上定位具有图案的掩模并通过光刻工艺图案化光致抗蚀剂; 通过使用图案化的光致抗蚀剂作为掩模来图案化掩模层; 通过使用图案化的掩模层蚀刻玻璃基板的表面，去除图案化的光致抗蚀剂并且在玻璃基板的表面上进行纹理化; 并去除掩模层。
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公开(公告)号：KR101484442B1
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：KR1020140012507
申请日：2014-02-04
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 태양전지용 유리 기판 제조방법이 개시된다. 태양전지용 유리 기판 제조방법은 유리 기판 상에 제1 마스크층을 형성하는 단계; 상기 제1 마스크층을 패터닝하여 상기 제1 마스크층에 규칙적으로 배열되고 상기 유리 기판을 노출시키는 복수의 제1 원형 개구를 형성하는 단계; 및 상기 패터닝된 상기 제1 마스크층을 마스크로 이용하여 상기 유리 기판의 표면을 식각하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 公开了一种太阳能电池用玻璃基板的制造方法。 该方法包括以下步骤：在玻璃基板上形成第一掩模层; 图案化第一掩模层以形成多个第一圆形开口，其规则地布置在第一掩模层上以暴露玻璃基板; 并通过使用图案化的第一掩模层作为掩模来蚀刻玻璃基板的表面。
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