公开(公告)号：KR101181225B1

公开(公告)日：2012-09-10

申请号：KR1020110001400

申请日：2011-01-06

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  박형식 ,  이영석 ,  김선용 ,  장경수 ,  조재현 ,  김상호 ,  안시현

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명은 AZO막을 포함하는 태양전지의 제조방법에 관한 것으로, 태양광이 입사하는 반대 측에 형성된 투명전도막층을 포함하는 태양전지의 제조방법에 있어서, 알루미늄이 첨가된 산화아연 타겟을 이용한 스퍼터링에 의하여 상기 투명전도막층을 형성하는 공정을 포함하며, 상기 스퍼터링이 150℃~200℃의 온도범위에서 진행되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 최적화된 조건에서 AZO막을 형성함으로써, 후면전극 또는 후면반사막으로 AZO막을 사용한 태양전지를 제공하는 효과가 있다.
또한, 후면전극 또는 후면반사막으로 AZO막을 사용하여 태양전지의 효율이 향상되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020170073902A

公开(公告)日：2017-06-29

申请号：KR1020150182659

申请日：2015-12-21

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  이영석 ,  김상호 ,  오동현 ,  김현성

IPC: H01L31/072 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/036 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0224

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 미세결정실리콘산화물을이용한이종접합태양전지가개시된다. 미세결정실리콘산화물을이용한이종접합태양전지는하부전극; 하부전극상에배치되고미세결정실리콘산화물로이루어진하부도핑층; 상기하부도핑층상에배치된광전변환부; 상기광전변환부상에배치된상부도핑층; 상기상부도핑층상에배치된투명전도막을포함한다.

Abstract translation: 公开了一种使用微晶氧化硅的异质结太阳能电池。 使用微晶氧化硅的异质结太阳能电池具有下电极; 设置在下电极上并由微晶氧化硅制成的下掺杂层; 设置在下掺杂层上的光电转换单元; 设置在光电转换部分上的上掺杂层; 以及设置在上掺杂层上的透明导电膜。

公开(公告)号：KR1020120079998A

公开(公告)日：2012-07-16

申请号：KR1020110001400

申请日：2011-01-06

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  박형식 ,  이영석 ,  김선용 ,  장경수 ,  조재현 ,  김상호 ,  안시현

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/04 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  H01L31/18

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a solar battery is provided to improve solar battery efficiency by using an AZO film as a back side electrode and a back side reflection film. CONSTITUTION: A crystalline silicon wafer layer(100) is composed of a crystalline silicon wafer doped to a P-type or an N-type. An amorphous silicon layer(200) is formed at the front side or the rear side of the crystalline silicon wafer layer. A passivation layer(300) is located between the crystalline silicon wafer layer and the amorphous silicon layer. A front electrode(400) is formed to the side in which sunlight is entered. A transparency conductive film layer(500) is formed to the opposite side in which the sunlight is entered.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造太阳能电池的方法，通过使用AZO膜作为背面电极和背面反射膜来提高太阳能电池的效率。 构成：晶体硅晶片层（100）由掺杂到P型或N型的晶体硅晶片组成。 在晶体硅晶片层的前侧或后侧形成非晶硅层（200）。 钝化层（300）位于晶体硅晶片层和非晶硅层之间。 在进入太阳光的一侧形成前电极（400）。 透明导电膜层（500）形成在进入太阳光的相对侧。

公开(公告)号：KR101506116B1

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：KR1020140062175

申请日：2014-05-23

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  박형식 ,  김선보 ,  안시현 ,  신종훈 ,  박진주 ,  이영석 ,  조재현 ,  김상호 ,  박철민 ,  정준희

IPC: H01L31/046 ,  H01L31/18 ,  H01L31/04 ,  H01L21/027

CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/046 ,  H01L21/027 ,  H01L31/04 ,  H01L31/18

Abstract: 본 발명은 패턴화된 태양전지용 유리기판을 제조하는 방법 및 패턴화된 태양전지용 유리기판을 이용한 태양전지 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 패턴화된 태양전지용 유리기판을 제조하는 방법은, 유리 기판을 준비하는 단계; 상기 유리 기판 상에 마스크층을 증착하는 단계; 상기 마스크층 상에 포토레지스트를 코팅하는 단계; 상기 포토레지스트 상에 패턴이 형성된 마스크를 위치시키고 포토리소그래피 공정을 통해 패터닝하는 단계; 패터닝된 포토레지스트를 마스크로 이용하여 상기 마스크층을 패터닝하는 단계; 상기 패터닝된 포토레지스트를 제거하고, 상기 패터닝된 마스크층을 이용하여 유리 기판의 표면 부분을 식각하여 상기 유리 기판의 표면에 요철을 형성하는 단계; 및 상기 마스크층을 제거하는 단계를 포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种太阳能电池用图案化玻璃基板的制造方法及使用太阳能电池用图案化玻璃基板的太阳能电池的制造方法。 根据本发明实施例的制造用于太阳能电池的图案化玻璃基板的方法包括以下步骤：制备玻璃基板; 在玻璃基板上沉积掩模层; 在掩模层上涂覆光致抗蚀剂; 在光致抗蚀剂上定位具有图案的掩模并通过光刻工艺图案化光致抗蚀剂; 通过使用图案化的光致抗蚀剂作为掩模来图案化掩模层; 通过使用图案化的掩模层蚀刻玻璃基板的表面，去除图案化的光致抗蚀剂并且在玻璃基板的表面上进行纹理化; 并去除掩模层。

公开(公告)号：KR101831533B1

公开(公告)日：2018-02-22

申请号：KR1020160176342

申请日：2016-12-22

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 이준신 ,  이영석 ,  김상호 ,  오동현 ,  박진주

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/068

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/0684 ,  H01L31/18

Abstract: 본발명은투명전도막상에전극을형성하는방법에관한것이고, 또한본 발명은실리콘이종접합태양전지에전극을형성하는방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른투명전도막상에전극을형성하는방법은, 투명전도막(Transparent Conductive Oxide) 상에산화막을형성하는단계; 레이저스크라이빙(laser scribing)을이용하여전극을형성할위치에서상기투명전도막의일부및 상기산화막을식각하는단계; 상기식각된빈 공간에전극을형성하는계; 및상기산화막을제거하는단계를포함한다.