감광성 수지막의 제조 방법, 및 그 제조 방법에 의해 제조된 감광성 수지막
    8.
    发明公开
    감광성 수지막의 제조 방법, 및 그 제조 방법에 의해 제조된 감광성 수지막 有权
    用相同方法制造感光树脂薄膜和感光树脂薄膜的方法

    公开(公告)号:KR1020150028583A

    公开(公告)日:2015-03-16

    申请号:KR1020130107398

    申请日:2013-09-06

    CPC classification number: G03F7/0392 G03F7/028 G03F7/40 Y10S430/1055

    Abstract: (A) 알칼리 가용성 수지, 가교제, 광산 발생제, 및 용매를 포함하는 포지티브형 감광성 수지 조성물을 기판 상에 도포하는 단계; (B) 상기 도포된 포지티브형 감광성 수지 조성물을 건조한 후, 150℃ 내지 200℃에서 사전 가열하는 단계(Pre baking); (C) 상기 사전 가열 후 노광하는 단계; (D) 상기 노광 후 현상하는 단계; 및 (E) 상기 현상 후 경화하는 단계를 포함하는 감광성 수지막의 제조 방법, 및 상기 방법에 따라 제조된 감광성 수지막을 제공한다.

    Abstract translation: 本发明提供一种感光性树脂薄膜和通过该感光性树脂薄膜制造的感光性树脂薄膜的制造方法,其特征在于,包括以下工序:(A)涂布含有碱溶性树脂的正型感光性树脂组合物, 药剂,光致酸产生剂和溶剂; (B)将涂布的正型感光性树脂组合物干燥并在150〜200℃下进行预烘烤; (C)加热并将其暴露于光; (D)发展; 和(E)硬化相同。

    감광성 수지막의 제조 방법, 및 그 제조 방법에 의해 제조된 감광성 수지막
    10.
    发明授权
    감광성 수지막의 제조 방법, 및 그 제조 방법에 의해 제조된 감광성 수지막 有权
    用相同方法制造感光树脂薄膜和感光树脂薄膜的方法

    公开(公告)号:KR101702510B1

    公开(公告)日:2017-02-03

    申请号:KR1020130107398

    申请日:2013-09-06

    Abstract: (A) 알칼리가용성수지, 가교제, 광산발생제, 및용매를포함하는포지티브형감광성수지조성물을기판상에도포하는단계; (B) 상기도포된포지티브형감광성수지조성물을건조한후, 150℃내지 200℃에서사전가열하는단계(Pre baking); (C) 상기사전가열후 노광하는단계; (D) 상기노광후 현상하는단계; 및 (E) 상기현상후 경화하는단계를포함하는감광성수지막의제조방법, 및상기방법에따라제조된감광성수지막을제공한다.

    Abstract translation: 本发明提供一种感光性树脂薄膜和通过该感光性树脂薄膜制造的感光性树脂薄膜的制造方法,其特征在于,包括以下工序:(A)涂布含有碱溶性树脂的正型感光性树脂组合物, 药剂,光致酸产生剂和溶剂; (B)将涂布的正型感光性树脂组合物干燥并在150〜200℃下进行预烘烤; (C)加热并将其暴露于光; (D)发展; 和(E)硬化相同。

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