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公开(公告)号：KR1020150119603A
公开(公告)日：2015-10-26
申请号：KR1020140045147
申请日：2014-04-16
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G01N27/407 , B82B3/00 , C23C14/22 , G01N15/00 , G01N27/4071 , G01N31/10 , H01L23/00
Abstract: 본발명은복합형어레이기체센서에관한것으로, 기판; 상기기판의상면에균일하게형성된히터; 상기히터와연결되어상기히터를구동시키는히터전극; 상기히터및 히터전극을감싸며상기기판상부에형성된절연층; 상기절연층상면에서로일정한간격으로이격되어형성되는복수개의감지전극및 감지전극어레이; 및상기복수개의감지전극위에각각형성되는복수개의기체감지부를포함하고, 상기복수개의기체감지부는산화물박막센서모듈, 나노구조체센서모듈, 금속촉매가형성된박막센서모듈, 및금속촉매가형성된나노구조체모듈로이루어진군에서선택된서로다른 2개이상의모듈인, 복합형 One-Chip 기체센서어레이를제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种混合阵列气体传感器，并提供一种混合式单片式气体传感器阵列，其包括：基板; 均匀地形成在所述基板的上表面上的加热器; 加热器电极，连接到用于操作加热器的加热器; 绝缘层，其覆盖所述加热器和所述加热器电极，并且形成在所述基板的上部单元上; 多个感测电极和感测电极阵列，其通过在绝缘层的上表面上以一定间隔隔开形成; 以及分别形成在感测电极上的多个气体检测单元。 气体检测单元是选自由氧化物薄膜传感器模块，纳米结构传感器模块，具有金属催化剂的薄膜传感器模块和具有金属催化剂的纳米结构模块组成的组中的两个或更多个模块。
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公开(公告)号：KR1020110109109A
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：KR1020100028684
申请日：2010-03-30
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B82B3/00
Abstract: 고분자 미세 구형체를 이용하여 제작된 공허 반구체 형태의 3차원 구조 산화물 박막 가스 센서는 기존의 평면 박막 가스 센서에 비해 2~4배 정도 높은 감응도를 나타낸다. 이렇게 2~4배 정도의 감응도 향상을 가지는 이유는 공허 반구체 형태의 3차원구조 산화물 박막에서 그 표면적이 평면 박막에 비해 2~4배이기 때문이다. 다시 말해서 표면적 증가가 그에 상응하는 감응도 향상으로 나타나게 된 것이다. 하지만, 공허 반구체 형태의 산화물 박막 가스 센서가 고감도 유해공기차단 시스템이나 환경모니터링 시스템에 이용되기 위해서는 2~4배 보다 더 큰 감응도 향상이 필요한 실정이다. 가령 산화물 나노입자 구형체를 이용하면 평면 박막 가스 센서 대비 5배 이상의 감응도 향상을 가져올 수 있다. 본 발명에서는 간단한 플라즈마 처리를 이용하여 공허 반구체 산화물 박막의 나노구조 형상을 제어하고 이를 통해 가스 센서 박막의 감응도를 획기적으로 향상시켰다. 본 발명에서 개발된 나노구조 공허 반구체 TiO
2 가스 센서는 종래에 보고된 TiO
2 가스 센서보다 더 높은 CO 가스 감응도와 빠른 응답속도 및 회복 속도를 보여준다.-
公开(公告)号：KR101755269B1
公开(公告)日：2017-07-10
申请号：KR1020160018425
申请日：2016-02-17
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 가스센싱장치는, 입력된가스에반응하여센서데이터를출력하도록구성된센서부; 하나이상의단일가스에대해상기센서부에서출력된센서데이터인제1 벡터를포함하는데이터베이스가저장된저장부; 및상기데이터베이스에기초하여, 하나이상의혼합가스에대응되는제2 벡터를포함하는확장데이터베이스를생성하고, 상기센서부의대상가스에대한센서데이터를상기확장데이터베이스와비교함으로써상기대상가스를검지하도록구성된검지부를포함한다. 상기가스센싱장치에의하면, 단일가스에대한데이터베이스만으로단일가스와혼합가스를모두인지하고분류할수 있다.
Abstract translation: 该气体传感装置包括：传感器单元，被配置为响应于输入的气体输出传感器数据; 存储单元，用于存储数据库，所述数据库包括针对至少一种单一气体从传感器单元输出的传感器数据输入1矢量; 以及检测单元，被配置为通过基于数据库将传感器单元的目标气体的传感器数据与扩展数据库进行比较并且生成包括与至少一种混合气体对应的第二矢量的扩展数据库来检测目标气体， 它包括。 根据该气体传感设备，可以通过单个气体数据库来识别单个气体和混合气体并对其进行分类。
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公开(公告)号：KR1020130066047A
公开(公告)日：2013-06-20
申请号：KR1020110132714
申请日：2011-12-12
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/407 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A high-sensitivity transparent gas sensor and a manufacturing method thereof are provided to improve sensitivity by a nano columnar structure, thereby obtaining excellent gas sensitivity. CONSTITUTION: A high-sensitivity transparent gas sensor comprises a transparent substrate(10), a transparent electrode(20), and a transparent gas sensing layer(30). The transparent electrode is formed on the transparent substrate. The transparent gas sensing layer is formed on the transparent electrode. The transparent gas sensing layer includes nano columns(32) formed on the transparent electrode and a nano columnar structure including gas spreading gaps(34) formed between the nano columns.
Abstract translation: 目的：提供一种高灵敏度透明气体传感器及其制造方法，以通过纳米柱状结构提高灵敏度，从而获得优异的气体敏感性。 构成：高灵敏度透明气体传感器包括透明基板（10），透明电极（20）和透明气体感测层（30）。 透明电极形成在透明基板上。 透明气体感测层形成在透明电极上。 透明气体感测层包括形成在透明电极上的纳米柱（32）和包括在纳米柱之间形成的气体扩散间隙（34）的纳米柱状结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101766376B1
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：KR1020150164611
申请日：2015-11-24
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 가스센싱장치는, 입력된가스에반응하여센서데이터를출력하도록구성된센서부; 하나이상의단일가스에대해상기센서부에서출력된센서데이터인제1 벡터를포함하는데이터베이스가저장된저장부; 및상기데이터베이스에기초하여, 하나이상의혼합가스에대응되는제2 벡터를포함하는확장데이터베이스를생성하고, 상기센서부의대상가스에대한센서데이터를상기확장데이터베이스와비교함으로써상기대상가스를검지하도록구성된검지부를포함한다. 상기가스센싱장치에의하면, 단일가스에대한데이터베이스만으로단일가스와혼합가스를모두인지하고분류할수 있다.
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公开(公告)号：KR101210494B1
公开(公告)日：2012-12-10
申请号：KR1020100028684
申请日：2010-03-30
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: B82B3/00
Abstract: 고분자미세구형체를이용하여제작된속이빈 반구체형태의 3차원구조산화물박막가스센서는기존의평면박막가스센서에비해 2~4배정도높은감응도를나타낸다. 이렇게 2~4배정도의감응도향상을가지는이유는속이빈 반구체형태의 3차원구조산화물박막에서그 표면적이평면박막에비해 2~4배이기때문이다. 다시말해서표면적증가가그에상응하는감응도향상으로나타나게된 것이다. 하지만, 속이빈 반구체형태의산화물박막가스센서가고감도유해공기차단시스템이나환경모니터링시스템에이용되기위해서는 2~4배보다더 큰감응도향상이필요한실정이다. 가령산화물나노입자구형체를이용하면평면박막가스센서대비 5배이상의감응도향상을가져올수 있다. 본발명에서는간단한플라즈마처리를이용하여속이빈 반구체산화물박막의나노구조형상을제어하고이를통해가스센서박막의감응도를획기적으로향상시켰다. 본발명에서개발된나노구조속이빈 반구체 TiO가스센서는종래에보고된 TiO가스센서보다더 높은 CO 가스감응도와빠른응답속도및 회복속도를보여준다.
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公开(公告)号：KR1020170060321A
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：KR1020150164611
申请日：2015-11-24
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 가스센싱장치는, 입력된가스에반응하여센서데이터를출력하도록구성된센서부; 하나이상의단일가스에대해상기센서부에서출력된센서데이터인제1 벡터를포함하는데이터베이스가저장된저장부; 및상기데이터베이스에기초하여, 하나이상의혼합가스에대응되는제2 벡터를포함하는확장데이터베이스를생성하고, 상기센서부의대상가스에대한센서데이터를상기확장데이터베이스와비교함으로써상기대상가스를검지하도록구성된검지부를포함한다. 상기가스센싱장치에의하면, 단일가스에대한데이터베이스만으로단일가스와혼합가스를모두인지하고분류할수 있다.
Abstract translation: 该气体传感装置包括：传感器单元，被配置为响应于输入的气体输出传感器数据; 存储单元，用于存储数据库，所述数据库包括针对至少一种单一气体从传感器单元输出的传感器数据输入1矢量; 以及检测单元，被配置为通过基于数据库将传感器单元的目标气体的传感器数据与扩展数据库进行比较并且生成包括与至少一种混合气体对应的第二矢量的扩展数据库来检测目标气体， 它包括。 根据该气体传感设备，可以通过单个气体数据库来识别单个气体和混合气体并对其进行分类。
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公开(公告)号：KR101344738B1
公开(公告)日：2013-12-26
申请号：KR1020110132714
申请日：2011-12-12
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N27/407 , B82Y40/00
Abstract: 본발명은고감도투명가스센서및 그제조방법에관한것이다. 본발명은투명기판; 상기투명기판상에형성된투명전극; 및상기투명전극상에형성된투명가스감지층을포함하고, 상기투명가스감지층은투명전극상에형성된나노기둥과, 상기나노기둥의사이에형성된가스확산공극을포함하는나노주상구조를가지는투명가스센서를제공한다. 또한, 본발명은투명기판상에투명전극을형성하는제1단계; 상기투명전극상에투명가스감지층을형성하는제2단계를포함하고, 상기제2단계에서는투명가스감지층을투명전극상에형성된나노기둥과, 상기나노기둥의사이에형성된가스확산공극을포함하는나노주상구조를가지도록형성하는투명가스센서의제조방법을제공한다. 본발명에따르면, 투명성을확보하여투명전자기기나유리창등의투명제품에설치가가능하고, 감도가뛰어나외부에서어떠한열을가하지않을경우에도우수한가스감응도를갖는다. 그리고소비전력이낮아휴대폰과같은모바일기기에도장착이가능하다.
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公开(公告)号：KR1020110098395A
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：KR1020100017988
申请日：2010-02-26
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 실리콘 반도체 소자 제조 공정에 적용이 가능한 고신뢰성의 대면적 고감도 세라믹 가스 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 산화물 박막 가스 센서는 그 동작 원리가 간편하고 동작전압이 낮으며 부피가 작은 장점 때문에 여러 가지 다른 방식의 가스 센서를 대체할 수 있을 것으로 큰 기대를 모으고 있으나, 감지막의 박막화에 따른 감응도의 저하 문제가 상용화에 걸림돌이 되어왔다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 기존에 고분자 미세 구형체를 이용하여 공허 반구체 형태의 3차원구조 세라믹 박막을 제조하는 방법이 제시되어 있으나, 실리콘 반도체 공정에 적용이 가능할 만한 수준의 고신뢰성 공정이 개발되지 않았다는 문제점이 있었다. 본 발명에서는 간단한 플라즈마 표면처리와 스핀 코팅을 통해 실리콘 반도체 공정에 적용가능한 고신뢰성의 대면적 미세구형체 템플릿 제조공정을 확립하였다.
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