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1.发明申请나노전사 프린팅 방법 및 이를 이용하여 제작되는 SERS 기판， SERS 바이얼 및 SERS 패치 审中-公开NANOTRANSFER印刷方法和SERS基材，SERS VIAL和SERS PATCH制造使用相同
公开(公告)号：WO2016068538A1
公开(公告)日：2016-05-06
申请号：PCT/KR2015/011082
申请日：2015-10-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 일실시예에 따른 나노전사 프린팅 방법은 표면 패턴이 형성된 템플릿 기판 상에 고분자 박막을 코팅하는 단계; 상기 고분자 박막 및 접착 필름을 이용하여 상기 고분자 박막을 복제 박막 몰드로 제작하는 단계; 상기 복제 박막 몰드 상에 나노구조체를 형성하는 단계; 상기 접착 필름과 상기 복제 박막 몰드간 접착력을 선택적으로 약화시키는 단계; 및 상기 나노구조체를 대상 물체에 전사하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 根据实施方案的纳米转印印刷方法包括以下步骤：用聚合物薄膜涂覆其上形成有表面图案的模板基材; 使用聚合物薄膜和粘合膜从聚合物薄膜制造复制薄膜模具; 在复制薄膜模具上形成纳米结构; 选择性地削弱粘合膜和复制薄膜模具之间的粘合力; 并将纳米结构转移到目标物体上。
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公开(公告)号：KR101816800B1
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：KR1020150128862
申请日：2015-09-11
Abstract: 본발명은지지체가필요없는금속나노선및 3차원금속나노촉매의제조방법에관한것으로 (A) 요철이형성된트렌치기판에하이드록시가치환된제1 고분자를코팅후 오븐에서처리하는단계; (B) 오븐처리된트렌치기판상면에실리콘이적어도한쪽블록에포함된블록공중합체를코팅하는단계; (C) 블록공중합체가코팅된트렌치기판을어닐링하는단계; (D) 어닐링된트렌치기판을이온에칭(RIE)하여패턴을형성하며블록공중합체를산화실리콘(SiOx)로전환하는단계; (E) 산화실리콘패턴을하이드록시가치환된제2 고분자로코팅후 오븐에서처리하는단계; (F) 오븐처리된산화실리콘패턴상면에아크릴수지를코팅하는단계; (G) 산화실리콘패턴과코팅된아크릴수지를분리하여아크릴수지의일면에패턴과동일한형상으로다수개의음각이형성되는단계; (H) 다수개의음각사이에위치한아크릴수지의직선기둥을따라금속나노선을증착시키는단계; 및 (I) 금속나노선이증착된아크릴수지의금속나노선이기판에위치하도록부착한후 아크릴수지를제거하여지지체가없는금속나노선을제조하는단계;를포함함으로써, 3차원나노촉매를제조할수 있으며카본지지체가없어열화현상을최소화하고얇은두께로인해물질의이동거리감소와물배출이원활하다.
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公开(公告)号：KR1020170031401A
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：KR1020150128862
申请日：2015-09-11
Abstract: 본발명은지지체가필요없는금속나노선및 3차원금속나노촉매의제조방법에관한것으로 (A) 요철이형성된트렌치기판에하이드록시가치환된제1 고분자를코팅후 오븐에서처리하는단계; (B) 오븐처리된트렌치기판상면에실리콘이적어도한쪽블록에포함된블록공중합체를코팅하는단계; (C) 블록공중합체가코팅된트렌치기판을어닐링하는단계; (D) 어닐링된트렌치기판을이온에칭(RIE)하여패턴을형성하며블록공중합체를산화실리콘(SiOx)로전환하는단계; (E) 산화실리콘패턴을하이드록시가치환된제2 고분자로코팅후 오븐에서처리하는단계; (F) 오븐처리된산화실리콘패턴상면에아크릴수지를코팅하는단계; (G) 산화실리콘패턴과코팅된아크릴수지를분리하여아크릴수지의일면에패턴과동일한형상으로다수개의음각이형성되는단계; (H) 다수개의음각사이에위치한아크릴수지의직선기둥을따라금속나노선을증착시키는단계; 및 (I) 금속나노선이증착된아크릴수지의금속나노선이기판에위치하도록부착한후 아크릴수지를제거하여지지체가없는금속나노선을제조하는단계;를포함함으로써, 3차원나노촉매를제조할수 있으며카본지지체가없어열화현상을최소화하고얇은두께로인해물질의이동거리감소와물배출이원활하다.
Abstract translation: 本发明包括涂料的步骤和在该（A）权利要求1的再羟基取代的聚合物上的金属纳米线的制造方法和三维纳米金属催化剂形成的基板的凹凸的沟槽不必支持在烘箱中处理; （B）在烘箱处理的沟槽衬底的上表面上的至少一个块中涂覆含有硅的嵌段共聚物; （C）将涂有嵌段共聚物的沟槽衬底退火; （D）对经退火的沟槽衬底进行离子蚀刻（RIE）以形成图案并将所述嵌段共聚物转化为氧化硅（SiOx）; （E）用被羟基取代的第二聚合物涂覆氧化硅图案并在烘箱中处理; （F）在经烘箱处理的氧化硅图案的顶表面上涂覆丙烯酸树脂; （G）除去氧化硅图案，并用相同的形状上具有多个凹形式的丙烯酸类树脂的一侧的图案涂布丙烯酸类树脂的步骤; （H）沿位于多个凹刻角之间的丙烯酸树脂的直柱沉积金属纳米线; 产生通过包括三维纳米催化剂;（I）和，以制备随后的金属或金属纳米线路径连接，以便被定位在所述基底上，以除去所述丙烯酸类树脂不具有沉积的丙烯酸类树脂的金属纳米线的支撑 它没有碳质支撑并使腐蚀最小化，薄的厚度减少了材料的移动距离和平稳的排水。
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公开(公告)号：KR1020160051487A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：KR1020140159159
申请日：2014-11-14
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 패턴이형성된템플릿기판상에고분자박막을코팅하는단계; 상기고분자박막에접착필름을접착시켜상기템프릿기판으로부터떼어냄으로써상기고분자박막을복제박막몰드로제작하는단계; 상기복제박막몰드상에기능성물질을증착하여나노구조체를형성하는단계; 및유기용매증기를이용하여상기접착필름과상기복제박막몰드간접착력을선택적으로약화시키는단계;를포함하는것을특징으로하는나노구조체제조방법이제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及纳米结构的制造方法。 更具体地说，纳米结构的制造方法包括以下步骤：在其上形成图案的模板衬底上涂覆聚合物涂层; 通过将粘合剂膜附着到聚合物涂层上并从聚合物涂层上分离聚合物涂层，从聚合物涂层制造复制涂层模具; 通过在复制涂层模具上沉积功能材料形成纳米结构; 并且使用有机溶剂蒸气选择性地弱化粘合剂膜和复制涂布模具之间的粘合强度。
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公开(公告)号：KR101202506B1
公开(公告)日：2012-11-16
申请号：KR1020110015021
申请日：2011-02-21
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L27/115 , H01L21/8247
Abstract: 절연 나노입자를 이용한 상변화 메모리 소자, 플렉서블 상변화 메모리 소자 및 그 제조방법이 제공된다.
본 발명에 따른 절연 나노입자를 이용한 상변화 메모리 소자는 전극 및 상기 전극과 접촉하며, 상기 전극으로부터 발생한 열에 따라 상변화가 발생하는 상변화층을 포함하는 상변화 메모리 소자에 있어서, 상기 전극과 결정화 및 비정질화가 일어나는 상변화층 사이에는 자기조립 블록공중합체로부터 형성된 절연 나노입자가 구비되는 것을 특징으로 한다.-
Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR1020160150282A
公开(公告)日：2016-12-29
申请号：KR1020160172759
申请日：2016-12-16
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L45/06 , B82Y10/00 , H01L45/1233 , H01L45/143 , H01L45/144
Abstract: 절연나노입자를이용한상변화메모리소자, 플렉서블상변화메모리소자및 그제조방법이제공된다. 본발명에따른절연나노입자를이용한상변화메모리소자는전극및 상기전극과접촉하며, 상기전극으로부터발생한열에따라상변화가발생하는상변화층을포함하는상변화메모리소자에있어서, 상기전극과결정화및 비정질화가일어나는상변화층사이에는자기조립블록공중합체로부터형성된절연나노입자가구비되는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101632504B1
公开(公告)日：2016-06-21
申请号：KR1020140159159
申请日：2014-11-14
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 패턴이형성된템플릿기판상에고분자박막을코팅하는단계; 상기고분자박막에접착필름을접착시켜상기템프릿기판으로부터떼어냄으로써상기고분자박막을복제박막몰드로제작하는단계; 상기복제박막몰드상에기능성물질을증착하여나노구조체를형성하는단계; 및유기용매증기를이용하여상기접착필름과상기복제박막몰드간접착력을선택적으로약화시키는단계;를포함하는것을특징으로하는나노구조체제조방법이제공된다.
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公开(公告)号：KR1020120095602A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：KR1020110015021
申请日：2011-02-21
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L27/115 , H01L21/8247
CPC classification number: H01L45/06 , B82Y10/00 , H01L45/1233 , H01L45/143 , H01L45/144
Abstract: PURPOSE: A phase change memory device, a flexible phase change memory device, and a manufacturing method thereof using insulated nano particles are provided to reduce a reset current by decreasing a contact area between a phase change layer and an electrode. CONSTITUTION: A brush layer(11) is laminated on a substrate(10). The coated brush layer is coated with block copolymer solutions. A coated block copolymer(12) is self-assembled by an annealing process. A specific polymer block(13) is removed among the self-assembled block copolymer by patterning process.
Abstract translation: 目的：提供相变存储器件，柔性相变存储器件及其使用绝缘纳米粒子的制造方法，通过减小相变层和电极之间的接触面积来减小复位电流。 构成：将刷层（11）层叠在基板（10）上。 涂覆的刷层涂覆有嵌段共聚物溶液。 涂覆的嵌段共聚物（12）通过退火工艺自组装。 通过图案化方法在自组装嵌段共聚物中除去特定的聚合物嵌段（13）。
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公开(公告)号：KR100264397B1
公开(公告)日：2000-08-16
申请号：KR1019980014545
申请日：1998-04-23
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01B21/00
Abstract: PURPOSE: A parallel wire sensor device for accurately measuring space 6 degrees of freedom is provided to simultaneously measure position and azimuth of measuring object on a space by measuring length of 6 wires connected parallel to a measuring part of T-character simultaneously moving with the measuring object. CONSTITUTION: A parallel wire sensor device for accurately measuring space 6 degrees of freedom includes a base plate(20) which is a reference plane of a coordinate system in a space, a wire bundle(50) having a wire pulley part, an encoder part and a spherical bearing arranged on 6 points maintaining a predetermined interval from the base plate in an X-Y axis direction, a plurality of wires(31,32,33,34,35,36) wound on the wire pulley of the wire bundle and extending in a longitudinal direction, a measuring part(40) where bearings are connected on brackets without twisted in a parallel structure where two wires forms a pair. The measuring part is fixed to the object and the encoder part measures the length of the wires connecting the wire bundle and the measuring part when the object is moved.
Abstract translation: 目的：提供一种用于精确测量空间6自由度的平行线传感器装置，通过测量与测量部分同时移动的T字符测量部分平行连接的6根线的长度，同时测量空间上测量对象的位置和方位角 目的。 构成：用于精确测量空间6自由度的平行线传感器装置包括：基板（20），其是空间中坐标系的参考平面;线束（50），具有线滑轮部分;编码器部分 以及在XY轴方向上与基板保持预定间隔的6个点配置的球形轴承，多个线（31,32,33,34,35,36），其缠绕在线束的线滑轮上并延伸 在长度方向上的测量部件（40），其中轴承在支架上连接而不以两条线形成一对的平行结构扭曲。 测量部件固定在物体上，编码器部分测量当物体移动时连接线束和测量部件的电线的长度。
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