公开(公告)号：WO2019240482A1

公开(公告)日：2019-12-19

申请号：PCT/KR2019/007046

申请日：2019-06-12

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  김진태 ,  정낙관 ,  심섭 ,  안종기 ,  강고루 ,  송제범 ,  김하영

IPC: G01N25/02 ,  G01N1/02 ,  H01L51/56 ,  H01L21/48

Abstract: 본 발명에서는 로드락 챔버를 이용하여 장시간 열안정성 평가 시 대기와의 접촉을 방지하고, 테스트를 연속적으로 진행하면서 원하는 시간마다 샘플링이 가능한 고온 보관 장치가 개시된다. 재료가 수용되는 보관 용기; 보관 용기의 내부로부터 외부로 연장되는 액추에이터; 보관 용기의 상부에 배치되며, 보관 용기와 액추에이터를 고정하는 홀더; 보관 용기의 일부를 감싸도록 배치되어 재료를 증발시키는 가열부; 및 홀더와 연결되는 로드락 챔버를 포함하고, 액추에이터는, 구동에 의해 보관 용기의 내부를 왕복 이동하는 로드부를 포함하고, 로드락 챔버는 이송 부재를 포함하여 증발된 재료가 증착될기판을 홀더의 내부로 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)하는 고온 보관장치가 개시된다.

公开(公告)号：KR102155569B1

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：KR1020190075824

申请日：2019-06-25

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  김진태 ,  심섭 ,  김하영 ,  최은미

IPC: H01L51/00 ,  H01L51/56

公开(公告)号：KR101988394B1

公开(公告)日：2019-06-12

申请号：KR1020180068617

申请日：2018-06-15

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  김진태 ,  정낙관 ,  심섭 ,  안종기 ,  강고루 ,  송제범 ,  김하영

IPC: G01N25/02 ,  G01N1/02 ,  H01L51/56 ,  H01L21/48