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公开(公告)号：WO2020141669A1
公开(公告)日：2020-07-09
申请号：PCT/KR2019/007463
申请日：2019-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , C23C16/448 , H01L21/687
Abstract: 본 발명은 액상 전구체 디개서에 관한 것으로, 디개싱(degassing)시킬 액상 전구체가 수용되는 수용공간을 형성하는 캐니스터; 캐니스터와 진공라인을 통해 연결되고, 캐니스터에서 액상 전구체가 수용된 수용공간 내에 진공상태를 설정하여 주는 진공펌프; 및 캐니스터 내 수용공간에 마련되며, 수용공간 내에 수용된 액상 전구체가 수용공간 내 빈 공간인 디개싱 공간 상에 노출되는 표면적을 증대시켜주는 노출 표면적 증대수단이 마련되어 있어, 액상 전구체의 디개싱 효율을 증대시켜주며, 액상 전구체의 증기압에 대한 측정 정확성을 증진시켜줄 수 있는 기술이 개시된다.
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公开(公告)号：WO2019240482A1
公开(公告)日：2019-12-19
申请号：PCT/KR2019/007046
申请日：2019-06-12
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명에서는 로드락 챔버를 이용하여 장시간 열안정성 평가 시 대기와의 접촉을 방지하고, 테스트를 연속적으로 진행하면서 원하는 시간마다 샘플링이 가능한 고온 보관 장치가 개시된다. 재료가 수용되는 보관 용기; 보관 용기의 내부로부터 외부로 연장되는 액추에이터; 보관 용기의 상부에 배치되며, 보관 용기와 액추에이터를 고정하는 홀더; 보관 용기의 일부를 감싸도록 배치되어 재료를 증발시키는 가열부; 및 홀더와 연결되는 로드락 챔버를 포함하고, 액추에이터는, 구동에 의해 보관 용기의 내부를 왕복 이동하는 로드부를 포함하고, 로드락 챔버는 이송 부재를 포함하여 증발된 재료가 증착될기판을 홀더의 내부로 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)하는 고온 보관장치가 개시된다.
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公开(公告)号：KR102204607B1
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR1020180173328
申请日：2018-12-31
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , C23C16/448
Abstract: 본발명은반도체제조공정에이용되는액상전구체의디개싱에관한것으로, 본발명에따르면, 디개싱(degassing)시킬액상전구체가수용되는수용공간을형성하는캐니스터; 상기캐니스터와진공라인을통해연결되고, 상기캐니스터에서상기액상전구체가수용된상기수용공간내에진공상태를설정하여주는진공펌프; 및상기캐니스터에장착되며, 상기액상전구체를상기수용공간내 빈공간인디개싱공간상에분산시켜주는분산수단; 을포함하므로, 액상전구체의디개싱(degassing)효율을증대시켜주며, 액상전구체의증기압에대한측정정확성을증진시켜줄수 있는기술이개시된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102204536B1
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR1020180174058
申请日：2018-12-31
Abstract: 본발명은캡슐형점도측정기, 액상전구체디개서및 이들을포함하는액상전구체매니지먼트시스템에관한것으로, 본발명에따르면, 액상전구체를디개싱시키기위하여마련되는액상전구체디개서; 상기액상전구체디개서내에배치되어상기액상전구체의점도를측정하고, 측정된점도측정정보를상기액상전구체디개서로전달하는캡슐형점도측정기; 및상기액상전구체디개서와전기적으로연결되어상기액상전구체디개서또는상기캡슐형점도측정기의작동을제어하며, 상기캡슐형점도측정기가측정하여얻은상기점도측정정보를상기액상전구체디개서로부터전달받는중앙제어기기; 를포함하고, 상기캡슐형점도측정기는내측에소정의공간이마련된하우징바디; 주변의액상전구체의점도를측정하기위하여마련되는점도측정모듈; 상기점도측정모듈측으로부터상기액상전구체의점도에관하여측정된점도측정정보를전달받아서외부로송신하는통신모듈; 및상기점도측정모듈또는상기통신모듈이작동할수 있도록전원을공급하여주는전원모듈; 을포함하므로디개서내에수용된액상전구체에대한점도를더욱정확하게측정하고관리를할 수있는기술이개시된다.
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公开(公告)号：KR102204627B1
公开(公告)日：2021-01-20
申请号：KR1020180173329
申请日：2018-12-31
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , C23C16/448 , H01L21/687
Abstract: 본발명은반도체제조공정등에이용되는액상전구체디개서에관한것으로, 본발명에따르면, 디개싱(degassing)시킬액상전구체가수용되는수용공간을형성하는캐니스터; 상기캐니스터와진공라인을통해연결되고, 상기캐니스터에서상기액상전구체가수용된상기수용공간내에진공상태를설정하여주는진공펌프; 상기캐니스터내의상기수용공간내에배치되며, 상면에공급된상기액상전구체가원심력에의해상면상에고르게분산도포된후 테두리측으로이동되도록회전하는스핀디스크(spin disk); 및상기스핀디스크를회전시켜주는회전수단; 을포함하므로, 액상전구체의디개싱효율을증대시켜주며, 액상전구체의증기압에대한측정의정확성을향상시켜줄수 있는기술이개시된다.
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公开(公告)号：KR102005728B1
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：KR1020170135345
申请日：2017-10-18
Applicant: 한국표준과학연구원 , 한양대학교 산학협력단
IPC: H01L21/285 , H01L21/02
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