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公开(公告)号：WO2016013898A1
公开(公告)日：2016-01-28
申请号：PCT/KR2015/007709
申请日：2015-07-24
Applicant: 한국해양대학교 산학협력단 , 한국표준과학연구원 , 연세대학교 산학협력단
IPC: H01S3/10
CPC classification number: H01S3/10
Abstract: 본 발명은 주파수 변조가 가능한 고효율 THz 트랜스시버에 대한 것이다. 본 발명에 따른 주파수 변조가 가능한 고효율 THz 트랜스시버는, 활성층(active layer); 상기 활성층의 일측 상부에 위치하는 광전도 안테나; 상기 광전도 안테나 상에 형성된 나노격자안테나(NGA); 상기 활성층의 타측 하부에 위치하는 반도체 기판; 및 상기 기판 상부면과 활성층 사이의 경계면에 위치하는 표면 플라즈몬 결합기(SPC)를 포함하되, 상기 활성층은 인듐 갈륨비소(InGaAs) 박막 또는 InGaAs/InAlAs 다층양자우물층(MQW layer)을 포함하는 이종적층박막으로 형성되고, 상기 광전도 안테나는, 일정 길이 평행하게 연장 형성된 금속 평행 전송선로; 상기 금속 평행 전송선로의 중앙 영역에서 내측으로 마주보도록 대칭되게 돌출된 중앙돌출부; 및 상기 금속 평행 전송선로의 양단에 대칭되게 연장 형성된 전극패드를 포함하여 형성된다. 상기 NGA는 상기 광전도 안테나의 중앙돌출부에 위치하고, 적어도 하나 이상의 패턴이 패터닝되어 연속적으로 배열될 수 있다. 상기 SPC는 상기 활성층 하부면에 위치할 수도 있으며 다수개의 패턴들이 동심원을 이루도록 주기적으로 패터닝하여 형성될 수 있으며, 다른 형태로도 가능하며, 금속재질로 형성될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 주파수 변조가 가능한 고효율 THz 트랜스시버는 개별 소자로 구성된 THz파 송신기(Tx) 또는 수신기(Rx)에 적용하거나, 단일기판 상의 하나의 광전도 안테나로 THz파를 발생 및 검출하는 THz 트랜스시버에 적용할 수 있으며 단일기판 상에 일정간격 이격되어 집적된 Tx 및 Rx에 적용될 수 있도록 구성함으로써, 개별소자 또는 단일소자 내에서 THz파를 전송하고 검출할 수 있다. 상기한 구성에 의해 본 발명에 따른 주파수 변조가 가능한 고효율 THz 트랜스시버는 NGA 및 SPC를 집적하여 THz파의 생성 출력과 측정 감도를 높일 수 있고, 동시에 일정한 밴드폭으로 발생된 THz파가 표면 플라즈몬 공명 구조를 통과하면서 주파수가 변조될 수 있도록 구성함으로써 주파수 선택성을 가질 수 있는 효과가 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够进行频率调制的高效率THz接收机。 根据本发明的能够进行频率调制的高效率THz接收机包括：有源层; 位于有源层一侧的上部的感光天线; 在光电导天线上形成的纳米光栅天线（NGA）; 位于有源层的另一侧的下部的半导体衬底; 以及位于基板上表面和有源层之间的边界表面上的表面等离子体激元耦合器（SPC），其中有源层形成为铟镓砷（InGaAs）薄膜或包含InGaAs / InAlAs的不同层叠薄膜 多量子阱（MQW）层，光电导天线包括：以一定长度平行延伸的平行金属传输线; 对称地突出以在平行金属传输线的中心区域面向内的中心突起; 以及在平行金属传输线的两端对称延伸的电极焊盘。 NGA定位在光电导天线的中心突起上，并且可以具有图案化并连续地布置在其上的至少一个图案。 SPC可以位于有源层的下表面上，可以通过周期性地图案化形成其中的多个图案以形成同心圆，可以具有其它形式的图案，并且可以由金属材料形成。 此外，根据本发明的能够进行频率调制的高效率THz接收机被配置为被应用于包括分立器件的THz波接收器（Tx）或接收器（Rx），或被应用于THz收发器 用于在单个衬底上使用单个光电导天线产生和检测THz波，并将其施加到以一定间隔间隔并集成在单个衬底上的Tx和Rx，从而能够传输和检测在 分立设备或单个设备。 由于所述结构，根据本发明的能够进行频率调制的高效率THz接收机可以通过集成NGA和SPC来增加THz波的产生和输出和测量灵敏度。 同时，高效率的THz接收机被配置为使得可以调制频率，同时在一定带宽上产生的太赫兹波通过表面等离子体共振结构，从而能够具有频率选择性。
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公开(公告)号：WO2016010345A1
公开(公告)日：2016-01-21
申请号：PCT/KR2015/007307
申请日：2015-07-14
Applicant: 한국해양대학교 산학협력단 , 연세대학교 산학협력단 , 한국표준과학연구원
IPC: H01S5/10
CPC classification number: H01S5/10
Abstract: 본 발명은 테라헤르츠(terahertz, THz) 대역에서 동작하는 무전압 트랜스시버에 대한 것이다. 본 발명에 따른 THz 대역에서 동작하는 무전압 트랜스시버는, 기판; 상기 기판상에 위치하고, THz파는 전송하고 바이어스 전압을 사용하지 않는 송신기(Tx); 및 상기 Tx와 일정 간격 이격되게 위치하고 THz파를 검출하는 수신기(Rx)를 포함하되, 상기 Tx는 일정한 두께 및 선폭을 가지는 금속 선로로 구성되고, 상기 Rx는, 상기 기판 상에 위치하는 제2 활성층; 및 상기 제2 활성층 상에 위치하는 광전도 안테나를 포함한다. 상기한 구성에 의해 본 발명에 따른 THz 대역에서 동작하는 무전압 트랜스시버는 바이어스 전압을 사용하지 않아 신호대 잡음비가 현저히 개선되고, 피크전력이 낮은 레이저 펄스를 사용할 수 있으며, 인체를 대상으로 해야 하는 의료진단용 장비에 적용되는 경우에도 안전하게 사용될 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及在太赫兹（THz）频带中操作的零电压收发器。 根据本发明的在THz频带工作的零电压收发器包括：基板; 设置在基板上的发射机Tx，发射THz波而不使用偏置电压; 接收机Rx，其以发射机Tx的一定间隔设置并检测太赫兹波，其中发射机Tx包括具有一定厚度和线宽的金属线，并且接收机Rx包括设置在衬底上的第二有源层; 以及设置在第二有源层上的光电导天线。 通过这样的结构，根据本发明的工作在THz频带的零电压收发器不使用偏置电压，从而显着提高信噪比，可以使用具有低峰值功率的激光脉冲，并且可以安全地使用 即使适用于人体使用的医疗诊断设备。
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公开(公告)号：WO2009096728A3
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/KR2009/000451
申请日：2009-01-30
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 포토 마스크 수리방법을 개시한다. 수리용 원자현미경 탐침이 포토 마스크의 결함 부분에 위치하도록 하고, 상기 수리용 원자현미경 탐침을 왕복 동작시키는 것에 의하여 상기 포토 마스크의 결함 부분을 제거하고, 상기 수리용 원자현미경 탐침에 의한 상기 포토 마스크의 수리 과정을 전자현미경으로 관찰하고, 그리고 상기 수리용 원자현미경 탐침과는 다른 관측용 원자현미경 탐침을 사용하여 수리 후의 상기 포토 마스크의 형상을 인-시츄(in-situ)로 확인한다.
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公开(公告)号：KR1020060122377A
公开(公告)日：2006-11-30
申请号：KR1020050044794
申请日：2005-05-27
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J1/304 , B82Y40/00 , C01B2202/02 , C01B2202/04 , C01B2202/06 , H01J9/025 , H01J2201/30469 , H01J2329/00 , H01J2329/0455
Abstract: A field emission display having a carbon nano tube emitter and a manufacturing method thereof are provided to improve uniformity of luminance by maximizing electron emission efficiency of a carbon nano tube. A lower substrate(101) is prepared. A cathode electrode(102) is formed on the lower substrate. A carbon nano tube emitter(103) is provided on the cathode electrode. A gate dielectric(104) is formed to surround the carbon nano tube emitter. A gate electrode(105) is formed on the gate dielectric. A whole surface plate(107) is provided to cover the gate electrode from an upper portion thereof at a certain space by the gate electrode and a spacer(106). An anode electrode(108) is formed under the whole surface plate to be faced to the gate electrode. A phosphor layer(109), which emits a light by electrons irradiated from the carbon nano tube, is formed on the anode electrode.
Abstract translation: 提供具有碳纳米管发射体的场发射显示器及其制造方法，以通过使碳纳米管的电子发射效率最大化来提高亮度的均匀性。 制备下基板（101）。 阴极电极（102）形成在下基板上。 碳纳米管发射体（103）设置在阴极上。 形成栅电介质（104）以围绕碳纳米管发射体。 栅极电极（105）形成在栅极电介质上。 提供整个表面板（107）以通过栅电极和间隔件（106）在一定空间从其上部覆盖栅电极。 阳极电极（108）形成在整个表面板下面以面对栅电极。 在阳极上形成由碳纳米管照射的电子发射光的荧光体层（109）。
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5.发明公开이온빔을 이용한 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해제조되는 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ 나노니들탐침 有权用于制造SPM纳米级探针的方法和使用离子束和SPM NANNEEDLE探针和CD-SPM纳米级探针的关键尺寸SPM纳米级探针的方法
公开(公告)号：KR1020060045876A
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：KR1020050036631
申请日：2005-05-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 이온빔, 특히 집속된 이온빔(focused ion beam)을 이용하여 SPM(scanning probe microscope)의 나노니들 탐침(nanoneedle probe)을 제조하는 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁(tip)에 부착되는 나노니들의 지향 방향을 용이하게 조절할 수 있고 탐침의 팁에 부착되는 나노니들을 지향 방향으로 용이하게 펼(straightening) 수 있는 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명은 또한 이온빔, 특히 집속된 이온빔을 이용하여 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침(critical dimension SPM nanoneedle probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁에 부착되는 나노니들 선단부의 일정 부분을 SPM 탐침의 팀에 부착되어 뻗어 나온 나노니들의 원래 방향과는 다른 임의의 방향으로 특정 각도만큼 휨으로써 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명에 따른 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 나노니들이 부착되는 상기 탐침의 팁을 이온빔이 조사되는 방향으로 향하도록 위치시키는 단계와, 상기 나노니들이 부착된 상기 탐침의 팁 방향으로 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 상기 이온빔과 평행하게 정렬시키는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 탐침의 팁에 부착되는 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리는 단계와, 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 이온빔을 조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 하는 단계를 포함한다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020040021135A
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：KR1020020052591
申请日：2002-09-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A nano needle tip and an apparatus and a method for manufacturing the same are provided to precisely adjust a length of a nano needle and a direction of the nano needle fixed to a nano needle tip. CONSTITUTION: A nano needle manipulator(100) includes a bottom plate(110), a parent tip stage(120) installed on the bottom plate(110), and a nano needle tip stage(130) installed on the bottom plate(110) in opposition to the parent tip stage(120). The parent tip stage(120) includes a first parent tip stage element(10), a second parent element(11) moved in an x-direction on the first parent tip stage element(10), a third parent element(12) moved in a z-direction on the second parent element(11), a fourth parent element(13) finely moved in the x-direction on the third parent element(12), and a fifth parent element(14) rotated with respect to x-y plane on the fourth parent element(13).
Abstract translation: 目的：提供纳米针尖及其制造方法及其制造方法，以精确地调整纳米针的长度和固定于纳米针尖的纳米针的方向。 构造：纳米针机械手（100）包括底板（110），安装在底板（110）上的母端台（120）和安装在底板（110）上的纳米针尖台（130） 与父级末端阶段（120）相反。 母端台（120）包括第一母顶端元件（10），在第一母顶端元件（10）上在x方向上移动的第二母元件（11），第三母元件（12）移动 在第二母体元件（11）上的z方向上，在第三母体元件（12）上沿x方向精细移动的第四母体元件（13）和相对于xy旋转的第五母体元件（14） 在第四母体元素（13）上的平面。
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公开(公告)号：KR1020160008709A
公开(公告)日：2016-01-25
申请号：KR1020140088578
申请日：2014-07-14
Applicant: 한국해양대학교 산학협력단 , 한국표준과학연구원 , 연세대학교 산학협력단
IPC: H01S5/10
CPC classification number: H01S5/10
Abstract: 본발명은테라헤르츠(terahertz, THz) 대역에서동작하는무전압트랜스시버에대한것이다. 본발명에따른 THz 대역에서동작하는무전압트랜스시버는, 기판; 상기기판상에위치하고, THz파는전송하고바이어스전압을사용하지않는송신기(Tx); 및상기 Tx와일정간격이격되게위치하고 THz파를검출하는수신기(Rx)를포함하되, 상기 Tx는일정한두께및 선폭을가지는금속선로로구성되고, 상기 Rx는, 상기기판상에위치하는제2 활성층; 및상기제2 활성층상에위치하는광전도안테나를포함한다. 상기한구성에의해본 발명에따른 THz 대역에서동작하는무전압트랜스시버는바이어스전압을사용하지않아신호대잡음비가현저히개선되고, 피크전력이낮은레이저펄스를사용할수 있으며, 인체를대상으로해야하는의료진단용장비에적용되는경우에도안전하게사용될수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及在太赫兹（THz）频带中操作的零电压收发器。 根据本发明的在THz频带工作的零电压收发器包括：基板; 位于基板上的发射器（Tx）发射太赫兹波，不使用偏置电压; 以及接收器（Rx），其被定位成在一定距离处与Tx分离并且检测太赫兹波。 Tx包括具有一定厚度和线宽的金属线。 Rx包括位于衬底上的第二有源层; 以及位于第二有源层上的感光天线。 根据本发明的在THz频带工作的零电压收发器不使用偏置电压，从而显着提高信号与噪声的比率，可以使用具有低峰值功率的激光脉冲，并且即使应用于 用于人体的医疗诊断设备。
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公开(公告)号：KR1020070052844A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：KR1020050110592
申请日：2005-11-18
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: B82B3/0061 , B01J19/081 , B82B3/0076 , B82Y15/00
Abstract: 본 발명은 입자빔(particle beam)을 이용한 나노 크기 물질(nanometer-scale material)의 변형 방법 및 그러한 방법을 이용하여 제조되는 나노 공구(nano-tool)에 관한 것이다. 본 발명에 따른 입자빔을 이용한 나노 크기 물질의 변형 방법은 나노 크기 물질에 입자빔을 조사하여 상기 나노 크기 물질을 상기 입자빔의 방향으로 휘게 하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR100679620B1
公开(公告)日：2007-02-06
申请号：KR1020050006561
申请日：2005-01-25
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 AFM(Atomic Force Microscope)의 나노튜브 탐침(nanotube-probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노튜브 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 나노튜브가 부착되는 탐침의 팁(tip)과 나노튜브 사이의 이종접합(heterojunction)에 의해 나노튜브가 탐침의 팁에 보다 견고하게 고착되고, 이종접합에 의해 탐침과 나노튜브 사이의 전도성을 개선 수 있으며, 기존의 나노튜브 탐침과는 달리 탐침의 팁에 부착되는 나노튜브에 불순물이 부착되는 것을 근원적으로 방지하여 기존의 나노튜브 탐침보다 우수한 스캐닝 영상을 얻을 수 있는, AFM의 나노튜브 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노튜브 탐침에 관한 것이다. 본 발명에 따른 AFM의 나노튜브 탐침의 제조 방법은, 상기 나노튜브를 상기 탐침의 팁(tip)에 부착시키는 단계와, 상기 나노튜브가 부착된 상기 탐침을 금속 기판 위에 올려 놓는 단계와, 상기 탐침이 올려져 있는 상기 금속 기판에 레이저(laser)를 조사하여 상기 금속 기판을 가열하는 단계를 포함한다.
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10.发明授权이온빔을 이용한 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해제조되는 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ 나노니들탐침 有权用于制造SPM纳米级探针的方法和使用离子束和SPM NANNEEDLE探针和CD-SPM纳米级探针的关键尺寸SPM纳米级探针的方法
公开(公告)号：KR100679619B1
公开(公告)日：2007-02-06
申请号：KR1020050036631
申请日：2005-05-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 이온빔, 특히 집속된 이온빔(focused ion beam)을 이용하여 SPM(scanning probe microscope)의 나노니들 탐침(nanoneedle probe)을 제조하는 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁(tip)에 부착되는 나노니들의 지향 방향을 용이하게 조절할 수 있고 탐침의 팁에 부착되는 나노니들을 지향 방향으로 용이하게 펼(straightening) 수 있는 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명은 또한 이온빔, 특히 집속된 이온빔을 이용하여 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침(critical dimension SPM nanoneedle probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁에 부착되는 나노니들 선단부의 일정 부분을 SPM 탐침의 팀에 부착되어 뻗어 나온 나노니들의 원래 방향과는 다른 임의의 방향으로 특정 각도만큼 휨으로써 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명에 따른 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 나노니들이 부착되는 상기 탐침의 팁을 이온빔이 조사되는 방향으로 향하도록 위치시키는 단계와, 상기 나노니들이 부착된 상기 탐침의 팁 방향으로 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 상기 이온빔과 평행하게 정렬시키는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 탐침의 팁에 부착되는 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리는 단계와, 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 이온빔을 조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 하는 단계를 포함한다.
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