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公开(公告)号：KR100473791B1
公开(公告)日：2005-03-08
申请号：KR1020020052591
申请日：2002-09-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 주사형 전자현미경 (scanning electron microscope; SEM) 나노니들 조작기 (nanoneedle manipulator)를 이용하여, 모체 팁의 형상에 상관없이, 상기 모체 팁에 고정되는 탄소나노튜브(canbon nanotube) 또는 나노와이어 (nanowire)와 같은 나노니들(nanoneedle) 의 방향 및 상기 모체 팁의 끝으로부터 도출되는 나노니들의 길이가 조절된, 주사형 탐침 현미경(scanning probe microscope; SPM)용 나노니들팁(nanoneedle tip)과 그 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁 제조장치는, 모체 팁을 고정하고 자유도가 상대적으로 큰 모체 팁 스테이지와, 그 모체 팁에 부착될 나노니들을 고정하고, 자유도가 상대적으로 큰 나노니들 스테이지를 포함하고, 상기 스테이지들 및 상기 스테이지들을 구성하는 복수개의 요소들이 수동적으로 수평, 수 직 및 회전되면서 주사형 탐침 현미경용 나노니들팁을 제조하는 데에 특징이 있다.
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Patent Agency Ranking2.发明公开이온빔을 이용한 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해제조되는 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ 나노니들탐침 有权用于制造SPM纳米级探针的方法和使用离子束和SPM NANNEEDLE探针和CD-SPM纳米级探针的关键尺寸SPM纳米级探针的方法
公开(公告)号：KR1020060045876A
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：KR1020050036631
申请日：2005-05-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 이온빔, 특히 집속된 이온빔(focused ion beam)을 이용하여 SPM(scanning probe microscope)의 나노니들 탐침(nanoneedle probe)을 제조하는 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁(tip)에 부착되는 나노니들의 지향 방향을 용이하게 조절할 수 있고 탐침의 팁에 부착되는 나노니들을 지향 방향으로 용이하게 펼(straightening) 수 있는 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명은 또한 이온빔, 특히 집속된 이온빔을 이용하여 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침(critical dimension SPM nanoneedle probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁에 부착되는 나노니들 선단부의 일정 부분을 SPM 탐침의 팀에 부착되어 뻗어 나온 나노니들의 원래 방향과는 다른 임의의 방향으로 특정 각도만큼 휨으로써 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명에 따른 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 나노니들이 부착되는 상기 탐침의 팁을 이온빔이 조사되는 방향으로 향하도록 위치시키는 단계와, 상기 나노니들이 부착된 상기 탐침의 팁 방향으로 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 상기 이온빔과 평행하게 정렬시키는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 탐침의 팁에 부착되는 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리는 단계와, 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 이온빔을 조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 하는 단계를 포함한다.-
公开(公告)号：KR1020040021135A
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：KR1020020052591
申请日：2002-09-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A nano needle tip and an apparatus and a method for manufacturing the same are provided to precisely adjust a length of a nano needle and a direction of the nano needle fixed to a nano needle tip. CONSTITUTION: A nano needle manipulator(100) includes a bottom plate(110), a parent tip stage(120) installed on the bottom plate(110), and a nano needle tip stage(130) installed on the bottom plate(110) in opposition to the parent tip stage(120). The parent tip stage(120) includes a first parent tip stage element(10), a second parent element(11) moved in an x-direction on the first parent tip stage element(10), a third parent element(12) moved in a z-direction on the second parent element(11), a fourth parent element(13) finely moved in the x-direction on the third parent element(12), and a fifth parent element(14) rotated with respect to x-y plane on the fourth parent element(13).
Abstract translation: 目的：提供纳米针尖及其制造方法及其制造方法，以精确地调整纳米针的长度和固定于纳米针尖的纳米针的方向。 构造：纳米针机械手（100）包括底板（110），安装在底板（110）上的母端台（120）和安装在底板（110）上的纳米针尖台（130） 与父级末端阶段（120）相反。 母端台（120）包括第一母顶端元件（10），在第一母顶端元件（10）上在x方向上移动的第二母元件（11），第三母元件（12）移动 在第二母体元件（11）上的z方向上，在第三母体元件（12）上沿x方向精细移动的第四母体元件（13）和相对于xy旋转的第五母体元件（14） 在第四母体元素（13）上的平面。
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公开(公告)号：KR100679620B1
公开(公告)日：2007-02-06
申请号：KR1020050006561
申请日：2005-01-25
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 AFM(Atomic Force Microscope)의 나노튜브 탐침(nanotube-probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노튜브 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 나노튜브가 부착되는 탐침의 팁(tip)과 나노튜브 사이의 이종접합(heterojunction)에 의해 나노튜브가 탐침의 팁에 보다 견고하게 고착되고, 이종접합에 의해 탐침과 나노튜브 사이의 전도성을 개선 수 있으며, 기존의 나노튜브 탐침과는 달리 탐침의 팁에 부착되는 나노튜브에 불순물이 부착되는 것을 근원적으로 방지하여 기존의 나노튜브 탐침보다 우수한 스캐닝 영상을 얻을 수 있는, AFM의 나노튜브 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노튜브 탐침에 관한 것이다. 본 발명에 따른 AFM의 나노튜브 탐침의 제조 방법은, 상기 나노튜브를 상기 탐침의 팁(tip)에 부착시키는 단계와, 상기 나노튜브가 부착된 상기 탐침을 금속 기판 위에 올려 놓는 단계와, 상기 탐침이 올려져 있는 상기 금속 기판에 레이저(laser)를 조사하여 상기 금속 기판을 가열하는 단계를 포함한다.
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5.发明授权이온빔을 이용한 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해제조되는 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ 나노니들탐침 有权用于制造SPM纳米级探针的方法和使用离子束和SPM NANNEEDLE探针和CD-SPM纳米级探针的关键尺寸SPM纳米级探针的方法
公开(公告)号：KR100679619B1
公开(公告)日：2007-02-06
申请号：KR1020050036631
申请日：2005-05-02
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 이온빔, 특히 집속된 이온빔(focused ion beam)을 이용하여 SPM(scanning probe microscope)의 나노니들 탐침(nanoneedle probe)을 제조하는 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁(tip)에 부착되는 나노니들의 지향 방향을 용이하게 조절할 수 있고 탐침의 팁에 부착되는 나노니들을 지향 방향으로 용이하게 펼(straightening) 수 있는 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명은 또한 이온빔, 특히 집속된 이온빔을 이용하여 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침(critical dimension SPM nanoneedle probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁에 부착되는 나노니들 선단부의 일정 부분을 SPM 탐침의 팀에 부착되어 뻗어 나온 나노니들의 원래 방향과는 다른 임의의 방향으로 특정 각도만큼 휨으로써 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.
본 발명에 따른 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 나노니들이 부착되는 상기 탐침의 팁을 이온빔이 조사되는 방향으로 향하도록 위치시키는 단계와, 상기 나노니들이 부착된 상기 탐침의 팁 방향으로 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 상기 이온빔과 평행하게 정렬시키는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 탐침의 팁에 부착되는 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리는 단계와, 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 이온빔을 조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 하는 단계를 포함한다.-
公开(公告)号：KR1020060085743A
公开(公告)日：2006-07-28
申请号：KR1020050006561
申请日：2005-01-25
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 AFM(Atomic Force Microscope)의 나노튜브 탐침(nanotube-probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노튜브 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 나노튜브가 부착되는 탐침의 팁(tip)과 나노튜브 사이의 이종접합(heterojunction)에 의해 나노튜브가 탐침의 팁에 보다 견고하게 고착되고, 이종접합에 의해 탐침과 나노튜브 사이의 전도성을 개선 수 있으며, 기존의 나노튜브 탐침과는 달리 탐침의 팁에 부착되는 나노튜브에 불순물이 부착되는 것을 근원적으로 방지하여 기존의 나노튜브 탐침보다 우수한 스캐닝 영상을 얻을 수 있는, AFM의 나노튜브 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노튜브 탐침에 관한 것이다. 본 발명에 따른 AFM의 나노튜브 탐침의 제조 방법은, 상기 나노튜브를 상기 탐침의 팁(tip)에 부착시키는 단계와, 상기 나노튜브가 부착된 상기 탐침을 금속 기판 위에 올려 놓는 단계와, 상기 탐침이 올려져 있는 상기 금속 기판에 레이저(laser)를 조사하여 상기 금속 기판을 가열하는 단계를 포함한다.
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