公开(公告)号：KR100584199B1

公开(公告)日：2006-05-29

申请号：KR1020040009482

申请日：2004-02-13

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 김윤수 ,  김창균 ,  정택모 ,  김인정

IPC: C07F7/28

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1의 티타늄 질화물 선구 물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 티타늄 질화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 티타늄 질화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.

상기 식에서,
2개의 R은 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기이고,
4개의 R'은 각각 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 알킬실릴기이다.

公开(公告)号：KR1020050081300A

公开(公告)日：2005-08-19

申请号：KR1020040009482

申请日：2004-02-13

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 김윤수 ,  김창균 ,  정택모 ,  김인정

IPC: C07F7/28

CPC classification number: C07F7/28 ,  C23C16/34 ,  C23C16/45525

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1의 티타늄 질화물 선구 물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 티타늄 질화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 티타늄 질화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.

상기 식에서,
2개의 R은 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기이고,
4개의 R'은 각각 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 알킬실릴기이다.

公开(公告)号：KR1020050071770A

公开(公告)日：2005-07-08

申请号：KR1020040000080

申请日：2004-01-02

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 김윤수 ,  김창균 ,  정택모 ,  김인정 ,  윤종욱 ,  장홍석 ,  김민찬

IPC: C07C215/08

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1 로 표시되는 전자 주개로 기능화된 아미노알코올 화합물 및 이를 공기 분위기의 수용액 중에서 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기능화된 아미노알코올 화합물은 금속과 결합되어 안정하고 휘발성이 향상된 금속 알콕사이드 착화합물을 제공하며, 이를 이용하여 질이 좋은 금속 또는 금속 산화물 박막을 제조할 수 있다.

상기 식에서,
R
1 은 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기, 또는 Y(CH
2 )
m CH(R
* )-(여기에서, Y는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알콕시기 또는 디(C
1 -C
4 알킬)아민이고, R
* 는 수소, 또는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기이며, m은 1 내지 3의 정수이다) 이고,
R
2 는 수소, 또는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기이며,
R'는 서로 같거나 상이하며, 플루오르를 포함하거나 포함하지 않는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기 또는 알킬실릴기이다.

公开(公告)号：KR100584200B1

公开(公告)日：2006-05-29

申请号：KR1020040009484

申请日：2004-02-13

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 김윤수 ,  김창균 ,  정택모 ,  김인정

IPC: C07F7/28

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1의 티타늄 산화물 선구 물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 합성하는 티타늄 산화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 티타늄 산화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.

상기 식에서,
2개의 R은 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기이고,
2개의 R'은 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 CR"
2 CH
2 NR
*
2 (여기에서, R" 및 R
* 는 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기이다) 이다.

公开(公告)号：KR100554524B1

公开(公告)日：2006-03-03

申请号：KR1020040048917

申请日：2004-06-28

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 김윤수 ,  김창균 ,  정택모 ,  안기석 ,  장홍석 ,  김인정 ,  김현진

IPC: C07F9/00 ,  H01L21/20

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1로 표시한 탄탈럼 질화물 선구 물질과 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 탄탈럼 질화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 높아 양질의 탄탈럼 질화물 박막을 제조하는 데 유리하게 이용할 수 있다.

RN=Ta(NR'
2 )
n (OCR"
2 CH
2 NR
*
2 )
3-n
상기 식에서, R은 이소프로필기거나 t-부틸기고, R'은 메틸, 에틸, 이소프로필, t-부틸 또는 알킬실릴 기고, R"은 C
1 -C
4 선형 또는 분지형 알킬기고, R
＊ 는 C
1 -C
4 선형 또는 분지형 알킬 또는 알킬실릴 기고, n은 0, 1 또는 2다.

Abstract translation: 本发明涉及一种玻璃，以获得氮化钽前体和作为其涉及用于制备过程中，氮化钽前体是热稳定的，并增加了根据由下式表示的本发明的质量氮化钽薄膜的挥发性（1） 可以用来制作。

公开(公告)号：KR100576946B1

公开(公告)日：2006-05-10

申请号：KR1020040000080

申请日：2004-01-02

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 김윤수 ,  김창균 ,  정택모 ,  김인정 ,  윤종욱 ,  장홍석 ,  김민찬

IPC: C07C215/08

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1 로 표시되는 전자 주개로 기능화된 아미노알코올 화합물 및 이를 공기 분위기의 수용액 중에서 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기능화된 아미노알코올 화합물은 금속과 결합되어 안정하고 휘발성이 향상된 금속 알콕사이드 착화합물을 제공하며, 이를 이용하여 질이 좋은 금속 또는 금속 산화물 박막을 제조할 수 있다.

상기 식에서,
R
1 은 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기, 또는 Y(CH
2 )
m CH(R
* )-(여기에서, Y는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알콕시기 또는 디(C
1 -C
4 알킬)아민이고, R
* 는 수소, 또는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기이며, m은 1 내지 3의 정수이다) 이고,
R
2 는 수소, 또는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기이며,
R'는 서로 같거나 상이하며, 플루오르를 포함하거나 포함하지 않는 선형 또 는 분지형 C
1 -C
4 알킬기 또는 알킬실릴기이다.

公开(公告)号：KR1020050081302A

公开(公告)日：2005-08-19

申请号：KR1020040009484

申请日：2004-02-13

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 김윤수 ,  김창균 ,  정택모 ,  김인정

IPC: C07F7/28

CPC classification number: C07F7/28 ,  C23C16/405 ,  C23C16/45525

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1의 티타늄 산화물 선구 물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 합성하는 티타늄 산화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 티타늄 산화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.

상기 식에서,
2개의 R은 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기이고,
2개의 R'은 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 CR"
2 CH
2 NR
*
2 (여기에서, R" 및 R
* 는 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기이다) 이다.

公开(公告)号：KR100590051B1

公开(公告)日：2006-06-19

申请号：KR1020040116259

申请日：2004-12-30

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 이영국 ,  김윤수 ,  김창균 ,  정택모 ,  김인정

IPC: C07F5/00

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 란탄계 산화물 선구물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 란탄계 산화물 선구물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 란탄계 산화물 박막 제조에 유리하게 사용될 수 있다.

상기 식에서,
M은 란탄(La), 에르븀(Er), 프라세오디뮴(Pr) 또는 세륨(Ce)이고,
R 및 R'은 각각 독립적으로 C
1 -C
4 선형 또는 분지형 알킬이며,
Y는 -OR" 또는 -NR"
2 (여기서, R"는 C
1 -C
4 선형 또는 분지형 알킬임)이다.

Abstract translation: 本发明涉及涉及一种氧化镧前体，和由下式表示的制造方法（1），根据本发明的氧化镧的前体是热稳定的并且波动得以改善氧化镧的薄膜可以在制造中有利地使用 有。

公开(公告)号：KR1020060042614A

公开(公告)日：2006-05-15

申请号：KR1020040091344

申请日：2004-11-10

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 이영국 ,  김윤수 ,  김창균 ,  정택모 ,  안기석 ,  김인정

IPC: C07F5/00 ,  C07F7/00 ,  C07F9/00

CPC classification number: C07F5/00 ,  C23C16/40 ,  H01L21/205

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1의 란탄족 화합물 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 합성하는 란탄족 화합물은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 란탄계 산화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.

상기 식에서,
M은 세륨, 프라세오디뮴, 란탄 또는 어븀이고,
R 및 R'은 각각 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기이며,
Y는 OR" 또는 NR
2 " (여기서, R"은 C
1 -C
4 선형 또는 분지형 알킬기임)이다.

公开(公告)号：KR1020060000060A

公开(公告)日：2006-01-06

申请号：KR1020040048917

申请日：2004-06-28

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 김윤수 ,  김창균 ,  정택모 ,  안기석 ,  장홍석 ,  김인정 ,  김현진

IPC: C07F9/00 ,  H01L21/20

CPC classification number: C07F9/00 ,  C23C16/34 ,  C23C16/45525 ,  H01L21/20

Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1로 표시한 탄탈럼 질화물 선구 물질과 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 탄탈럼 질화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 높아 양질의 탄탈럼 질화물 박막을 제조하는 데 유리하게 이용할 수 있다.

RN=Ta(NR'
2 )
n (OCR"
2 CH
2 NR
*
2 )
3-n
상기 식에서, R은 이소프로필기거나 t-부틸기고, R'은 메틸, 에틸, 이소프로필, t-부틸 또는 알킬실릴 기고, R"은 C
1 -C
4 선형 또는 분지형 알킬기고, R
＊ 는 C
1 -C
4 선형 또는 분지형 알킬 또는 알킬실릴 기고, n은 0, 1 또는 2다.