公开(公告)号：WO2013165212A1

公开(公告)日：2013-11-07

申请号：PCT/KR2013/003866

申请日：2013-05-03

Applicant: 한국화학연구원

Inventor： 박보근 ,  정택모 ,  김창균 ,  조지쉐비메리 ,  이영국 ,  임종선 ,  정석종 ,  전동주 ,  안기석 ,  이선숙

IPC: C07F3/00 ,  C23C16/18

CPC classification number: C07F3/003 ,  C07F3/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/409 ,  C23C16/44 ,  C23C16/45525

Abstract: 본 발명은 베타디케톤네이트 화합물을 포함하는 신규의 스트론튬 전구체에 관한 것으로, 상기 스트론튬 전구체는 열적으로 안정하고 휘발성이 좋으므로 양질의 스트론튬 박막을 형성할 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及包含β-二酮化合物的新型锶前体，其中由于其热稳定性和高挥发性，锶前体可以形成高品质的锶薄膜。