公开(公告)号：TWI426155B

公开(公告)日：2014-02-11

申请号：TW096137980

申请日：2007-10-11

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 樊都魯黎亞 凱爾 ,  FONDURULIA, KYLE ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  莫西斯 維埃茲E. ,  VERGHESE, MOHITH E. ,  懷特 卡爾L. ,  WHITE, CARL L.

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4481 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/4402

公开(公告)号：TWI506721B

公开(公告)日：2015-11-01

申请号：TW098142134

申请日：2009-12-09

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 懷特 卡爾L ,  WHITE, CARL L. ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  李德 朱歐 ,  REED, JOE

IPC: H01L21/683

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/4585 ,  H01L21/67011 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68771

公开(公告)号：TWI557261B

公开(公告)日：2016-11-11

申请号：TW100113130

申请日：2011-04-15

Applicant: ASM美國公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 方杜魯利亞 凱勒 ,  FONDURULIA, KYLE ,  席羅 艾瑞克 ,  SHERO, ERIC ,  佛吉斯 摩希茲E ,  VERGHESE, MOHITH E. ,  懷特 卡爾L ,  WHITE, CARL L.

IPC: C23C16/448