公开(公告)号：NL2009189A

公开(公告)日：2013-02-19

申请号：NL2009189

申请日：2012-07-16

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KUNNEN JOHAN ,  HOUBEN MARTIJN ,  LAURENT THIBAULT ,  ABEELEN HENDRIKUS ,  DASSEN ARMAND ,  DERKS SANDER

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL2003470A

公开(公告)日：2010-04-08

申请号：NL2003470

申请日：2009-09-11

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： COMPEN RENE ,  LEENAARS RENE WILHELMUS ANTONIUS HUBERTUS ,  VERMEULEN MARCUS MARTINUS PETRUS ADRIANUS ,  JEUNINK ANDRE ,  LOOPSTRA ERIK ,  OTTENS JOOST ,  SMITS PETER ,  ABEELEN HENDRIKUS ,  MEULENDIJKS ANTONIUS ,  HOUBEN MARTIJN

IPC: G03F7/20